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火焰水解淀积Si02膜的退火研究: 1; 作者张乐天王昕 +4 位作者吴远大邢华李爱武郑伟张玉书《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第0Z2期239-243,共5页; 本文采用火焰水解法在Si衬底上淀积了用于光波导下包层材料的SiO2膜，然后将其放入高温炉在空气中进行不同温度的退火处理。我们利用原子力量微镜（AFM）、X射线光电子能谱（XPS），X射线衍射仪（XRD）及可变入射角椭圆偏振仪（VASE）对... 展开更多; 关键词硅衬底光波导 SIO2膜退火处理下包层材料淀积火焰水解光通信波分复用系统二氧化硅膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	火焰水解淀积Si02膜的退火研究	张乐天王昕吴远大邢华李爱武郑伟张玉书	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2002	0	在线阅读下载PDF 职称材料

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