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上海同步辐射光源工作点稳定性研究
被引量：
1
1
作者
吴旭
田顺强
张文志
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第9期1815-1820,共6页
上海同步辐射光源(SSRF)是一台第3代高性能同步辐射装置,已稳定运行超过10年。储存环的线性光学模型稳定是光源稳定运行的基础。工作点反馈系统可实时地校正工作点,并间接地以降维的方式反馈难以在线测量到的线性光学函数。工作点反馈...
上海同步辐射光源(SSRF)是一台第3代高性能同步辐射装置,已稳定运行超过10年。储存环的线性光学模型稳定是光源稳定运行的基础。工作点反馈系统可实时地校正工作点,并间接地以降维的方式反馈难以在线测量到的线性光学函数。工作点反馈系统在SSRF的稳定运行验证了此方法的可行性,该反馈系统不仅使得工作点稳定度显著提升,也使得束流发射度、注入效率以及束流寿命等重要参数的稳定度得到大幅提升。衍射极限储存环光源是现阶段被广泛研究和建设的新一代同步辐射光源,工作点反馈系统也将发挥更重要的作用。本文分析电子储存环线性光学函数和工作点的稳定性,回顾SSRF工作点反馈系统的实际运行情况,介绍工作点反馈系统在SSRF衍射极限环lattice(SSRF-U)的模拟。工作点反馈在SSRF的实际运行情况和在SSRF-U的模拟结果显示,该系统可将工作点稳定在±0.001范围内,可满足储存环光源稳定运行和线性差耦合共振圆束斑模式对工作点稳定度的需求。
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关键词
上海同步辐射光源
运行稳定性
线性光学
工作点反馈
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职称材料
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试
被引量：
1
2
作者
龚学鹏
卢启鹏
彭忠琦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期2142-2150,共9页
介绍了上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线的基本情况。为实现光束线的光束偏转和光路切换,完成了其偏转镜系统的研制。分析了偏转镜系统的功能,设计了偏转镜的调节机构、切换机构和冷却结构。论述了调节机构的关键运动,即镜箱外直线运...
介绍了上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线的基本情况。为实现光束线的光束偏转和光路切换,完成了其偏转镜系统的研制。分析了偏转镜系统的功能,设计了偏转镜的调节机构、切换机构和冷却结构。论述了调节机构的关键运动,即镜箱外直线运动转化为超高真空内旋转运动的实现过程;讨论了切换机构重复精度与承载能力之间的关系,并完成了精密丝杆的校核。采用镜子支撑方式和冷却方式集成的方案设计了冷却结构,并通过数值模拟分析了冷却结构和冷却效果。模拟结果表明镜子子午面形误差和弧矢面形误差分别约为6.5rad和7rad。应用激光干涉仪和光电自准直仪对调节机构和切换机构进行了测试,结果表明:调节机构的线性分辨力可达0.2μm,切换机构的重复精度满足设计要求。
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关键词
上海同步辐射光源
X射线干涉光刻
偏转镜
结构设计
精度测试
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职称材料
数字BPM系统中模拟调理电路的研究
被引量：
1
3
作者
严晗
赵雷
+7 位作者
刘树彬
陈凯
邬维浩
安琪
冷用斌
易星
阎映炳
赖龙伟
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期1048-1052,共5页
全数字化束流位置测量系统(Digital Beam Position Monitor,DBPM)将应用于上海同步辐射光源(Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF),其中模拟调理电路是DBPM系统重要组成部分。BPM探头输出的4路高频窄脉冲信号(重复频率499.654...
全数字化束流位置测量系统(Digital Beam Position Monitor,DBPM)将应用于上海同步辐射光源(Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF),其中模拟调理电路是DBPM系统重要组成部分。BPM探头输出的4路高频窄脉冲信号(重复频率499.654 MHz,脉宽200 ps)通过模拟调理电路进行滤波及自动增益调整,然后送至ADC进行模数变换,在系统中的数字处理模块进行处理后最终得到束流X、Y方向位置信息。系统电子学测试表明:此DBPM系统在输入信号动态范围为-40～10 dBm情况下,X、Y方向位置分辨率好于10μm,满足逐圈(694 kHz数据更新率)位置分辨要求。
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关键词
上海同步辐射光源
全数字化束流位置测量系统
射频信号调理
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职称材料
题名
上海同步辐射光源工作点稳定性研究
被引量：
1
1
作者
吴旭
田顺强
张文志
机构
中国科学院上海高等研究院
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第9期1815-1820,共6页
文摘
上海同步辐射光源(SSRF)是一台第3代高性能同步辐射装置,已稳定运行超过10年。储存环的线性光学模型稳定是光源稳定运行的基础。工作点反馈系统可实时地校正工作点,并间接地以降维的方式反馈难以在线测量到的线性光学函数。工作点反馈系统在SSRF的稳定运行验证了此方法的可行性,该反馈系统不仅使得工作点稳定度显著提升,也使得束流发射度、注入效率以及束流寿命等重要参数的稳定度得到大幅提升。衍射极限储存环光源是现阶段被广泛研究和建设的新一代同步辐射光源,工作点反馈系统也将发挥更重要的作用。本文分析电子储存环线性光学函数和工作点的稳定性,回顾SSRF工作点反馈系统的实际运行情况,介绍工作点反馈系统在SSRF衍射极限环lattice(SSRF-U)的模拟。工作点反馈在SSRF的实际运行情况和在SSRF-U的模拟结果显示,该系统可将工作点稳定在±0.001范围内,可满足储存环光源稳定运行和线性差耦合共振圆束斑模式对工作点稳定度的需求。
关键词
上海同步辐射光源
运行稳定性
线性光学
工作点反馈
Keywords
Shanghai Synchrotron Radiation Facility
operation stability
linear optics
tune feedback
分类号
TL501 [核科学技术—核技术及应用]
TL507 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试
被引量：
1
2
作者
龚学鹏
卢启鹏
彭忠琦
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期2142-2150,共9页
基金
国家重大科学工程资助项目
上海光源工程资助项目(No.SS-06)
国家自然科学基金资助项目(No.11079035)
文摘
介绍了上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线的基本情况。为实现光束线的光束偏转和光路切换,完成了其偏转镜系统的研制。分析了偏转镜系统的功能,设计了偏转镜的调节机构、切换机构和冷却结构。论述了调节机构的关键运动,即镜箱外直线运动转化为超高真空内旋转运动的实现过程;讨论了切换机构重复精度与承载能力之间的关系,并完成了精密丝杆的校核。采用镜子支撑方式和冷却方式集成的方案设计了冷却结构,并通过数值模拟分析了冷却结构和冷却效果。模拟结果表明镜子子午面形误差和弧矢面形误差分别约为6.5rad和7rad。应用激光干涉仪和光电自准直仪对调节机构和切换机构进行了测试,结果表明:调节机构的线性分辨力可达0.2μm,切换机构的重复精度满足设计要求。
关键词
上海同步辐射光源
X射线干涉光刻
偏转镜
结构设计
精度测试
Keywords
Shanghai Synchrotron Radiation Facility
X-ray interference lithography
deflecting mirror
structure design
precision testing
分类号
TH744.1 [机械工程—光学工程]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
数字BPM系统中模拟调理电路的研究
被引量：
1
3
作者
严晗
赵雷
刘树彬
陈凯
邬维浩
安琪
冷用斌
易星
阎映炳
赖龙伟
机构
中国科学技术大学近代物理系
核探测与核电子学国家重点实验室(筹)
物理电子学安徽省重点实验室
中国科学院上海应用物理研究所
出处
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期1048-1052,共5页
基金
国家自然科学基金(10875119)
中国科学院知识创新工程重要方向性项目(KJCX2-YW-N27)
中国科学院"百人计划"择优支持科研项目支持
文摘
全数字化束流位置测量系统(Digital Beam Position Monitor,DBPM)将应用于上海同步辐射光源(Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF),其中模拟调理电路是DBPM系统重要组成部分。BPM探头输出的4路高频窄脉冲信号(重复频率499.654 MHz,脉宽200 ps)通过模拟调理电路进行滤波及自动增益调整,然后送至ADC进行模数变换,在系统中的数字处理模块进行处理后最终得到束流X、Y方向位置信息。系统电子学测试表明:此DBPM系统在输入信号动态范围为-40～10 dBm情况下,X、Y方向位置分辨率好于10μm,满足逐圈(694 kHz数据更新率)位置分辨要求。
关键词
上海同步辐射光源
全数字化束流位置测量系统
射频信号调理
Keywords
SSRF
DBPM
RF signal manipulation
分类号
TL54 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
上海同步辐射光源工作点稳定性研究
吴旭
田顺强
张文志
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试
龚学鹏
卢启鹏
彭忠琦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
数字BPM系统中模拟调理电路的研究
严晗
赵雷
刘树彬
陈凯
邬维浩
安琪
冷用斌
易星
阎映炳
赖龙伟
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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职称材料
已选择
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