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大口径非球面系统的共基准加工与检验
被引量：
9
1
作者
王孝坤
薛栋林
张学军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期743-748,共6页
针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点,提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法,对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究。当光学系统的主镜和第三镜面形的RMS值优于λ/10(λ=632.8nm)时,对主镜和第三镜进行共基准装...
针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点,提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法,对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究。当光学系统的主镜和第三镜面形的RMS值优于λ/10(λ=632.8nm)时,对主镜和第三镜进行共基准装调和测试,并进行背板一体化装嵌,然后利用离子束对其进行一体化共基准加工。结合工程实例,对一大口径非球面系统口径为724mm×247mm的非球面主镜和口径为632mm×205mm的第三镜进行了共基准加工与检测,最终利用离子束共基准一体化精抛光得到主镜和第三镜面形的RMS值分别为0.019λ和0.017λ,满足光学成像。
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关键词
光学加工
光学检测
非球面
三镜消像散系统
共基准
离子束加工
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职称材料
大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术
被引量：
13
2
作者
王孝坤
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2016年第1期130-136,共7页
针对大口径离轴凸非球面面形检测的困难,本文将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接干涉技术相结合,提出了凸非球面系统拼接检测方法。对该方法的基本原理和具体实现过程进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型。当离轴三...
针对大口径离轴凸非球面面形检测的困难,本文将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接干涉技术相结合,提出了凸非球面系统拼接检测方法。对该方法的基本原理和具体实现过程进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型。当离轴三反光学系统的主镜和三镜加工完成以后,对整个系统进行装调和测试,并依次测定光学系统各视场的波像差分布,通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值可以求解得到大口径非球面全口径的面形信息,从而为非球面后续加工和系统的装调提供了依据和保障。结合工程实例,对一口径为287 mm×115 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工,经过两个周期的加工和测试,其面形分布的RMS值接近1/30λ(λ=632.8 nm)。
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关键词
光学检测
大口径非球面
三镜消像散系统
波像差检验
子孔径拼接干涉技术
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职称材料
题名
大口径非球面系统的共基准加工与检验
被引量：
9
1
作者
王孝坤
薛栋林
张学军
机构
中国科学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期743-748,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61036015)
文摘
针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点,提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法,对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究。当光学系统的主镜和第三镜面形的RMS值优于λ/10(λ=632.8nm)时,对主镜和第三镜进行共基准装调和测试,并进行背板一体化装嵌,然后利用离子束对其进行一体化共基准加工。结合工程实例,对一大口径非球面系统口径为724mm×247mm的非球面主镜和口径为632mm×205mm的第三镜进行了共基准加工与检测,最终利用离子束共基准一体化精抛光得到主镜和第三镜面形的RMS值分别为0.019λ和0.017λ,满足光学成像。
关键词
光学加工
光学检测
非球面
三镜消像散系统
共基准
离子束加工
Keywords
optical fabrication
optical testing
aspheric surface
Three Mirror Astigmatism(TMA)
common reference
Ion Beam Figuring(IBF)
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术
被引量：
13
2
作者
王孝坤
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2016年第1期130-136,共7页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(No.O8663NJ090)
国家重大基础研究计划(973计划)资助项目(No.2011CB0132005)
国家自然科学基金重点资助项目(No.61036015)~~
文摘
针对大口径离轴凸非球面面形检测的困难,本文将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接干涉技术相结合,提出了凸非球面系统拼接检测方法。对该方法的基本原理和具体实现过程进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型。当离轴三反光学系统的主镜和三镜加工完成以后,对整个系统进行装调和测试,并依次测定光学系统各视场的波像差分布,通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值可以求解得到大口径非球面全口径的面形信息,从而为非球面后续加工和系统的装调提供了依据和保障。结合工程实例,对一口径为287 mm×115 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工,经过两个周期的加工和测试,其面形分布的RMS值接近1/30λ(λ=632.8 nm)。
关键词
光学检测
大口径非球面
三镜消像散系统
波像差检验
子孔径拼接干涉技术
Keywords
optical testing
large aspheric surface
three mirror astigmatism （ TMA ）
wave aberration testing
subaperture stitching interferometry （SSI）
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大口径非球面系统的共基准加工与检验
王孝坤
薛栋林
张学军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术
王孝坤
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2016
13
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