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三质量块MEMS三轴电容式加速度计的设计
被引量：
12
1
作者
李开富
蒋婷
+4 位作者
郭小伟
李绍荣
章龙管
张兴
牟松
《电子测量与仪器学报》
CSCD
北大核心
2021年第10期193-201,共9页
为解决电容式加速度计灵敏度低,交叉灵敏度高等性能问题,设计了一种新的三质量块MEMS三轴电容式加速度计,该三质量块加速度计能够测量x、y、z三个正交轴的外加加速度,单独的横向(x、y轴)和垂直轴(z轴)加速度计集成在同一SOI晶片上,并键...
为解决电容式加速度计灵敏度低,交叉灵敏度高等性能问题,设计了一种新的三质量块MEMS三轴电容式加速度计,该三质量块加速度计能够测量x、y、z三个正交轴的外加加速度,单独的横向(x、y轴)和垂直轴(z轴)加速度计集成在同一SOI晶片上,并键合在玻璃基板上,实现了低交叉灵敏度和高机械灵敏度。分析并建立加速度计结构的数学模型,并通过COMSOL仿真分析,优化获得了加速度计的结构和尺寸,设计出的该三质量块加速度计的垂直轴方向的位移灵敏度为1.53669μm/g,水平轴方向的位移灵敏度为6.78μm/g,交叉灵敏度均小于1%。
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关键词
三
质量块
三轴电容式加速度计
高机械灵敏度
低交叉灵敏度
SOI
在线阅读
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职称材料
一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计
被引量：
7
2
作者
曹新平
张大成
+2 位作者
黄如
张兴
王阳元
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期572-575,共4页
介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分...
介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分析工具 ANSYS对器件进行了模拟 ,模拟结果显示出器件设计的合理性。最后 。
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关键词
三
轴
差分
电容式
硅微
加
速度计
偏
轴
灵敏度
有限元模拟
模态
压膜阻尼
在线阅读
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职称材料
题名
三质量块MEMS三轴电容式加速度计的设计
被引量：
12
1
作者
李开富
蒋婷
郭小伟
李绍荣
章龙管
张兴
牟松
机构
中铁工程服务有限公司
电子科技大学
出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
北大核心
2021年第10期193-201,共9页
文摘
为解决电容式加速度计灵敏度低,交叉灵敏度高等性能问题,设计了一种新的三质量块MEMS三轴电容式加速度计,该三质量块加速度计能够测量x、y、z三个正交轴的外加加速度,单独的横向(x、y轴)和垂直轴(z轴)加速度计集成在同一SOI晶片上,并键合在玻璃基板上,实现了低交叉灵敏度和高机械灵敏度。分析并建立加速度计结构的数学模型,并通过COMSOL仿真分析,优化获得了加速度计的结构和尺寸,设计出的该三质量块加速度计的垂直轴方向的位移灵敏度为1.53669μm/g,水平轴方向的位移灵敏度为6.78μm/g,交叉灵敏度均小于1%。
关键词
三
质量块
三轴电容式加速度计
高机械灵敏度
低交叉灵敏度
SOI
Keywords
three mass block
triaxial capacitive accelerometer
high displacement sensitivity
low cross sensitivity
SOI
分类号
TN03 [电子电信—物理电子学]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计
被引量：
7
2
作者
曹新平
张大成
黄如
张兴
王阳元
机构
北京大学微电子所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期572-575,共4页
文摘
介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分析工具 ANSYS对器件进行了模拟 ,模拟结果显示出器件设计的合理性。最后 。
关键词
三
轴
差分
电容式
硅微
加
速度计
偏
轴
灵敏度
有限元模拟
模态
压膜阻尼
Keywords
Cross axis sensitivity Finite element method (FEM) Mode Squeeze film damping
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三质量块MEMS三轴电容式加速度计的设计
李开富
蒋婷
郭小伟
李绍荣
章龙管
张兴
牟松
《电子测量与仪器学报》
CSCD
北大核心
2021
12
在线阅读
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职称材料
2
一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计
曹新平
张大成
黄如
张兴
王阳元
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
7
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职称材料
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