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一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计
被引量：
7
1
作者
曹新平
张大成
+2 位作者
黄如
张兴
王阳元
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期572-575,共4页
介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分...
介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分析工具 ANSYS对器件进行了模拟 ,模拟结果显示出器件设计的合理性。最后 。
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关键词
三轴差分电容式硅微加速度计
偏
轴
灵敏度
有限元模拟
模态
压膜阻尼
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职称材料
三轴硅微静电加速度计的实验研究
被引量：
1
2
作者
王嫘
韩丰田
+1 位作者
董景新
刘云峰
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2011年第3期359-363,共5页
静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、环形敏感质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,...
静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、环形敏感质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,对加速度计的力/力矩平衡回路进行了分析。采用基于DSP的数字控制器,实现了环形敏感质量的五自由度稳定悬浮,在大气环境下测试了静电加速度计的性能。电测法测试结果表明静电加速度计的轴向量程4.22 g,噪声谱密度0.19 mg/Hz1/2;径向量程4.63 g,噪声谱密度0.44 mg/Hz1/2。
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关键词
硅
微
加
速度计
静电悬浮
体
硅
工艺
三
轴
加
速等计
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职称材料
全差分三轴MEMS电容加速度计的设计
被引量：
1
3
作者
张程浩
狄杰建
+2 位作者
刘昊
陈若愚
谭培培
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017年第3期25-29,共5页
采用刻蚀氧化硅牺牲层、沉淀多晶硅、再次刻蚀多晶硅的工艺,设计了基于单一敏感质量块的全差分三轴电容式加速度计。根据外界加速度激励对器件的不同位移作用,详细分析了三轴方向上加速度激励的交叉耦合影响。最后结合仿真结果得出:该...
采用刻蚀氧化硅牺牲层、沉淀多晶硅、再次刻蚀多晶硅的工艺,设计了基于单一敏感质量块的全差分三轴电容式加速度计。根据外界加速度激励对器件的不同位移作用,详细分析了三轴方向上加速度激励的交叉耦合影响。最后结合仿真结果得出:该器件具备结构简单紧凑、抗干扰能力强、灵敏度高、工艺简单等优点,在电子消费领域有很好的应用前景。
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关键词
全
差分
测量
三
轴
微
加
速度计
加
速度
耦合影响
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职称材料
题名
一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计
被引量：
7
1
作者
曹新平
张大成
黄如
张兴
王阳元
机构
北京大学微电子所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期572-575,共4页
文摘
介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分析工具 ANSYS对器件进行了模拟 ,模拟结果显示出器件设计的合理性。最后 。
关键词
三轴差分电容式硅微加速度计
偏
轴
灵敏度
有限元模拟
模态
压膜阻尼
Keywords
Cross axis sensitivity Finite element method (FEM) Mode Squeeze film damping
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
三轴硅微静电加速度计的实验研究
被引量：
1
2
作者
王嫘
韩丰田
董景新
刘云峰
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2011年第3期359-363,共5页
基金
自然科学基金(40174049)
航空科学基金(20100858005)
文摘
静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、环形敏感质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,对加速度计的力/力矩平衡回路进行了分析。采用基于DSP的数字控制器,实现了环形敏感质量的五自由度稳定悬浮,在大气环境下测试了静电加速度计的性能。电测法测试结果表明静电加速度计的轴向量程4.22 g,噪声谱密度0.19 mg/Hz1/2;径向量程4.63 g,噪声谱密度0.44 mg/Hz1/2。
关键词
硅
微
加
速度计
静电悬浮
体
硅
工艺
三
轴
加
速等计
Keywords
micromachined accelerometer
electrostatic suspension
bulk micromachining
tri-axis accelerometer
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
全差分三轴MEMS电容加速度计的设计
被引量：
1
3
作者
张程浩
狄杰建
刘昊
陈若愚
谭培培
机构
北方工业大学机械与材料学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017年第3期25-29,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51305005)
文摘
采用刻蚀氧化硅牺牲层、沉淀多晶硅、再次刻蚀多晶硅的工艺,设计了基于单一敏感质量块的全差分三轴电容式加速度计。根据外界加速度激励对器件的不同位移作用,详细分析了三轴方向上加速度激励的交叉耦合影响。最后结合仿真结果得出:该器件具备结构简单紧凑、抗干扰能力强、灵敏度高、工艺简单等优点,在电子消费领域有很好的应用前景。
关键词
全
差分
测量
三
轴
微
加
速度计
加
速度
耦合影响
Keywords
full-differential detection
tri-axis MEMS accelerometer
acceleration coupling effect
分类号
TH113 [机械工程—机械设计及理论]
TH162 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计
曹新平
张大成
黄如
张兴
王阳元
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
三轴硅微静电加速度计的实验研究
王嫘
韩丰田
董景新
刘云峰
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2011
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
全差分三轴MEMS电容加速度计的设计
张程浩
狄杰建
刘昊
陈若愚
谭培培
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017
1
在线阅读
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职称材料
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