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一种量化的激光位移传感器倾角误差补偿模型
被引量：
39
1
作者
孙彬
李兵
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期996-1004,共9页
激光位移传感器具有非接触、测量范围大、测量效率高等优点,广泛应用于精密检测领域。然而,倾角误差是影响激光位移传感器测量精度的主要因素之一,为了提高激光位移传感器的测量精度,有必要对其进行分析研究,推导出能够在工程中应用的...
激光位移传感器具有非接触、测量范围大、测量效率高等优点,广泛应用于精密检测领域。然而,倾角误差是影响激光位移传感器测量精度的主要因素之一,为了提高激光位移传感器的测量精度,有必要对其进行分析研究,推导出能够在工程中应用的可量化的倾角误差补偿模型。首先从激光三角法测量原理开始,深入分析了激光光束的光路和光强损失的原因,然后根据光路的几何特征建立了物像方程,从倾角误差机理推导出一种可量化的误差模型,最后用激光干涉仪和正弦规在四坐标测量仪上。对激光位移传感器进行了倾角误差实验,把测量得到的数据经误差模型修正后,可以将传感器的测量精度控制在10μm以内。结果表明,所提出的倾角误差模型准确有效,在对复杂曲面的测量应用中,具有一定的使用和推广价值。
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关键词
误差补偿
三角法测量原理
激光位移传感器
激光干涉仪
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职称材料
题名
一种量化的激光位移传感器倾角误差补偿模型
被引量：
39
1
作者
孙彬
李兵
机构
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期996-1004,共9页
基金
国家973计划(2013CB035704)
国家自然科学基金面上项目(51275398)
陕西省科技统筹创新工程计划重大科技成果转化引导专项(2013KTCG01-15)项目资助
文摘
激光位移传感器具有非接触、测量范围大、测量效率高等优点,广泛应用于精密检测领域。然而,倾角误差是影响激光位移传感器测量精度的主要因素之一,为了提高激光位移传感器的测量精度,有必要对其进行分析研究,推导出能够在工程中应用的可量化的倾角误差补偿模型。首先从激光三角法测量原理开始,深入分析了激光光束的光路和光强损失的原因,然后根据光路的几何特征建立了物像方程,从倾角误差机理推导出一种可量化的误差模型,最后用激光干涉仪和正弦规在四坐标测量仪上。对激光位移传感器进行了倾角误差实验,把测量得到的数据经误差模型修正后,可以将传感器的测量精度控制在10μm以内。结果表明,所提出的倾角误差模型准确有效,在对复杂曲面的测量应用中,具有一定的使用和推广价值。
关键词
误差补偿
三角法测量原理
激光位移传感器
激光干涉仪
Keywords
measurement error-compensation triangulation measurement principle laser displacement sensor laser interferometer
分类号
TH744 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
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被引量
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1
一种量化的激光位移传感器倾角误差补偿模型
孙彬
李兵
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
39
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