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飞秒激光切割与微细电阻滑焊组合制备三维金属微结构
被引量：
11
1
作者
徐斌
伍晓宇
+4 位作者
凌世全
吴世云
罗烽
杜晨林
孙秀泉
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期1811-1823,共13页
提出了一种采用飞秒激光切割结合微细电阻滑焊制备3D金属微结构的工艺方法(微型化双工位金属箔叠层制造法,(Micro-DLOM)),并通过制备具有复杂形状的3D微型腔模具验证了该工艺方法的可行性。首先,以厚度为10μm的0Cr18Ni9不锈钢箔为基材,...
提出了一种采用飞秒激光切割结合微细电阻滑焊制备3D金属微结构的工艺方法(微型化双工位金属箔叠层制造法,(Micro-DLOM)),并通过制备具有复杂形状的3D微型腔模具验证了该工艺方法的可行性。首先,以厚度为10μm的0Cr18Ni9不锈钢箔为基材,在110mW的飞秒激光功率、100μm/s的切割速度和0.75μm的切割补偿量下获得二维微结构,并分析了激光功率和切割速度对切割精度的影响;然后,利用微细电阻滑焊对多层二维微结构进行热扩散焊接,通过多层二维微结构的叠加拟合形成具有曲面特征的微型腔,并对焊接区进行了X射线衍射(XRD)分析。分析发现:微细电阻滑焊所产生的热量仅使焊接区主要物相的相对含量发生了变化,而没有使该区域产生新的物相。与UV-LIGA工艺相比,本工艺可以加工具有自由曲面特征的三维微结构,并且单层钢箔越薄,成形精度越高;与飞秒激光分层平面扫描烧蚀工艺相比,本工艺仅需切割每层二维结构的轮廓,提高了成形效率;与微细电火花加工工艺相比,虽然所成形的微型腔表面粗糙度相对较差,但却省去了制备微电极的工艺步骤,并且不存在微电极工作过程中的损耗问题,所以可以加工深宽比不受限制的微模具。
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关键词
三维金属微结构
DLOM
微细电阻焊
飞秒激光切割
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职称材料
UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构
被引量：
13
2
作者
杜立群
莫顺培
+1 位作者
张余升
刘冲
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期363-368,共6页
为了制作三维金属微结构,研究了UV-LIGA和微细电火花加工技术组合的工艺方法。使用UV-LIGA技术制作了准三维金属微结构,然后,对该微结构进行微细电火花加工制作三维金属微结构。使用提出的方法制作出了局部为梯形凸台和锥形凹槽三维微...
为了制作三维金属微结构,研究了UV-LIGA和微细电火花加工技术组合的工艺方法。使用UV-LIGA技术制作了准三维金属微结构,然后,对该微结构进行微细电火花加工制作三维金属微结构。使用提出的方法制作出了局部为梯形凸台和锥形凹槽三维微结构的镍模具,给出了梯形凸台和锥形凹槽的尺寸。分析了微细电火花加工中放电参数对表面粗糙度的影响,在工作电压为65V,标称电容为100pF时得到了Ra为0.08μm的微细电火花加工表面。研究结果表明,使用该方法可实现三维金属微结构的制作;通过减小工作电压和标称电容的方法可降低微细电火花加工的表面粗糙度。
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关键词
三维金属微结构
UV-LIGA
微细电火花加工
组合制作
表面粗糙度
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职称材料
无掩模定域性电沉积三维微结构的工艺研究
3
作者
吴建辉
吴蒙华
+1 位作者
王元刚
贾卫平
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期29-35,共7页
在无掩模定域性电沉积增材制造三维金属微结构的工艺试验过程中,针对成型质量、速度与可重复性的基本要求,采用控制单一变量法和正交实验法研究了极间电压、脉冲占空比、极间距等主要工艺参数对实验结果的影响。研究结果表明:极间电压...
在无掩模定域性电沉积增材制造三维金属微结构的工艺试验过程中,针对成型质量、速度与可重复性的基本要求,采用控制单一变量法和正交实验法研究了极间电压、脉冲占空比、极间距等主要工艺参数对实验结果的影响。研究结果表明:极间电压的大小对微区域电沉积速率一致性、脉冲电流占空比对微沉积速率大小、极间距大小对微沉积区域电场线分布均有不同程度的影响。通过正交实验优化得到的工艺参数为:极间电压2 V、脉冲电流占空比0.4、极间距20μm、脉冲频率2 kHz,三坐标工作台X和Y轴移动速度均为1μm/s、Z轴移动速度5μm/s。通过优化工艺参数取得较好的沉积效果,沉积速率可达300μm^3/s,获得的镍质简单三维微结构,最大深宽比12:1。
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关键词
电镀
无掩模
定域性电沉积
增材制造
三维金属微结构
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职称材料
题名
飞秒激光切割与微细电阻滑焊组合制备三维金属微结构
被引量：
11
1
作者
徐斌
伍晓宇
凌世全
吴世云
罗烽
杜晨林
孙秀泉
机构
深圳大学机电与控制工程学院深圳市模具先进制造技术重点实验室
深圳大学电子科学与技术学院深圳市激光工程重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期1811-1823,共13页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51175348)
深港创新圈计划资助项目(No.ZYB200907090135A)
广东省教育厅重点实验室开放基金资助项目(No.201002)
文摘
提出了一种采用飞秒激光切割结合微细电阻滑焊制备3D金属微结构的工艺方法(微型化双工位金属箔叠层制造法,(Micro-DLOM)),并通过制备具有复杂形状的3D微型腔模具验证了该工艺方法的可行性。首先,以厚度为10μm的0Cr18Ni9不锈钢箔为基材,在110mW的飞秒激光功率、100μm/s的切割速度和0.75μm的切割补偿量下获得二维微结构,并分析了激光功率和切割速度对切割精度的影响;然后,利用微细电阻滑焊对多层二维微结构进行热扩散焊接,通过多层二维微结构的叠加拟合形成具有曲面特征的微型腔,并对焊接区进行了X射线衍射(XRD)分析。分析发现:微细电阻滑焊所产生的热量仅使焊接区主要物相的相对含量发生了变化,而没有使该区域产生新的物相。与UV-LIGA工艺相比,本工艺可以加工具有自由曲面特征的三维微结构,并且单层钢箔越薄,成形精度越高;与飞秒激光分层平面扫描烧蚀工艺相比,本工艺仅需切割每层二维结构的轮廓,提高了成形效率;与微细电火花加工工艺相比,虽然所成形的微型腔表面粗糙度相对较差,但却省去了制备微电极的工艺步骤,并且不存在微电极工作过程中的损耗问题,所以可以加工深宽比不受限制的微模具。
关键词
三维金属微结构
DLOM
微细电阻焊
飞秒激光切割
Keywords
3D metal micro-structure
Double-staged Laminated Object Manufacturing（DLOM）
micro resistance welding
femtosecond laser cutting
分类号
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构
被引量：
13
2
作者
杜立群
莫顺培
张余升
刘冲
机构
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期363-368,共6页
基金
国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13)
国家自然科学基金资助项目(No.50675025
No.50775020)
文摘
为了制作三维金属微结构,研究了UV-LIGA和微细电火花加工技术组合的工艺方法。使用UV-LIGA技术制作了准三维金属微结构,然后,对该微结构进行微细电火花加工制作三维金属微结构。使用提出的方法制作出了局部为梯形凸台和锥形凹槽三维微结构的镍模具,给出了梯形凸台和锥形凹槽的尺寸。分析了微细电火花加工中放电参数对表面粗糙度的影响,在工作电压为65V,标称电容为100pF时得到了Ra为0.08μm的微细电火花加工表面。研究结果表明,使用该方法可实现三维金属微结构的制作;通过减小工作电压和标称电容的方法可降低微细电火花加工的表面粗糙度。
关键词
三维金属微结构
UV-LIGA
微细电火花加工
组合制作
表面粗糙度
Keywords
3D metal microstructure
UV-LIGA
micro Electrical Discharge Mechining（EDM）
surface roughness
分类号
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
无掩模定域性电沉积三维微结构的工艺研究
3
作者
吴建辉
吴蒙华
王元刚
贾卫平
机构
大连大学机械工程学院
出处
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期29-35,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(51741501,51875071).
文摘
在无掩模定域性电沉积增材制造三维金属微结构的工艺试验过程中,针对成型质量、速度与可重复性的基本要求,采用控制单一变量法和正交实验法研究了极间电压、脉冲占空比、极间距等主要工艺参数对实验结果的影响。研究结果表明:极间电压的大小对微区域电沉积速率一致性、脉冲电流占空比对微沉积速率大小、极间距大小对微沉积区域电场线分布均有不同程度的影响。通过正交实验优化得到的工艺参数为:极间电压2 V、脉冲电流占空比0.4、极间距20μm、脉冲频率2 kHz,三坐标工作台X和Y轴移动速度均为1μm/s、Z轴移动速度5μm/s。通过优化工艺参数取得较好的沉积效果,沉积速率可达300μm^3/s,获得的镍质简单三维微结构,最大深宽比12:1。
关键词
电镀
无掩模
定域性电沉积
增材制造
三维金属微结构
Keywords
electroplate
mask-less
localized electrodepostion
additive manufacturing
3D metallic micro-structure
分类号
TQ153.43 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
飞秒激光切割与微细电阻滑焊组合制备三维金属微结构
徐斌
伍晓宇
凌世全
吴世云
罗烽
杜晨林
孙秀泉
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
11
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构
杜立群
莫顺培
张余升
刘冲
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
13
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
无掩模定域性电沉积三维微结构的工艺研究
吴建辉
吴蒙华
王元刚
贾卫平
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
0
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职称材料
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