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三维轮廓测量系统设计与试验分析
1
作者
孙云龙
史立凯
《造纸装备及材料》
2024年第6期18-20,共3页
针对微纳结构表面轮廓快速精准测量问题,文章设计了一套基于干涉显微法原理的三维轮廓测量系统。系统包括光学系统装置,精密扫描驱动装置和采集图像数据装置。以标准单刻线样板和标准台阶为测试对象,进行了测量能力和示值重复性试验,数...
针对微纳结构表面轮廓快速精准测量问题,文章设计了一套基于干涉显微法原理的三维轮廓测量系统。系统包括光学系统装置,精密扫描驱动装置和采集图像数据装置。以标准单刻线样板和标准台阶为测试对象,进行了测量能力和示值重复性试验,数据表明,系统垂直测量精度可达1nm,测量绝对误差范围在0.001~0.007μm,示值重复性为0.0966%。结果说明系统具有测量面积大、可靠性高和非接触等特点,可实现微纳结构表面轮廓的非破坏性、快速精准测量。
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关键词
三维轮廓测量系统
非接触
干涉显微法
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职称材料
题名
三维轮廓测量系统设计与试验分析
1
作者
孙云龙
史立凯
机构
江苏电子信息职业学院电子工程学院
出处
《造纸装备及材料》
2024年第6期18-20,共3页
基金
2022年淮安市创新能力建设计划项目“淮安市集成电路重点实验室”(HAP202203)
2021年淮安市自然科学研究计划(指导性)项目“基于手机信令的城市交通碳排放指标模型研究”(HABZ202124)
2021年学校科技创新团队项目“集成电路封装与测试科技创新团队”(JSEIY2021005)。
文摘
针对微纳结构表面轮廓快速精准测量问题,文章设计了一套基于干涉显微法原理的三维轮廓测量系统。系统包括光学系统装置,精密扫描驱动装置和采集图像数据装置。以标准单刻线样板和标准台阶为测试对象,进行了测量能力和示值重复性试验,数据表明,系统垂直测量精度可达1nm,测量绝对误差范围在0.001~0.007μm,示值重复性为0.0966%。结果说明系统具有测量面积大、可靠性高和非接触等特点,可实现微纳结构表面轮廓的非破坏性、快速精准测量。
关键词
三维轮廓测量系统
非接触
干涉显微法
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三维轮廓测量系统设计与试验分析
孙云龙
史立凯
《造纸装备及材料》
2024
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