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复杂三维超微图形的复制加工技术的困难及对策被引量：5: 1; 作者田昭武田中群 +1 位作者林仲华谢兆雄《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期14-19,共6页; 现有用于批量复制的微加工技术较难用于加工复杂的三维图形元件（如微凹凸面镜、。微锥形齿轮等）。主要原因是：１．只能加工简单三维图形；２．只能控制刻蚀深度，刻蚀后的表面仍保留着刻蚀前的表面的粗糙度。针对上述问题，本课题组... 展开更多; 关键词微图形微加工技术约束刻蚀剂层技术三维图形刻蚀技术抗蚀剂高分辨图形图形元件连续曲面方向选择性; 在线阅读下载PDF 职称材料

镍表面三维微图形的复制加工被引量：2: 2; 作者刘柱方蒋利民 +5 位作者汤儆张力田中群田昭武刘品宽孙立宁《电化学》 CAS CSCD 2004年第3期249-253,共5页; 　运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工,以规整的三维齿状微结构作模板,获得可有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系,在Ni表面得到了与齿状结构互补的三维微结构并应用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)... 展开更多; 关键词镍三维微图形复制加工约束刻蚀剂层技术化学刻蚀捕捉体系微系统技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

柔性微图形成型技术研究: 3; 作者刘伟庭陈裕泉《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第4期480-482,486,共4页; 柔性微图形成型技术是微细加工技术的一个新的方向。介绍了一种新的柔性成型系统———三维定位压控微流系统 ,并用它制作了柔性微五边形。; 关键词柔性微图形成型技术微细加工技术三维定位压控微流系统柔性电子器件光刻技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

新型智能电化学微加工系统的研究被引量：4: 4; 作者刘品宽孙立宁 +2 位作者荣伟彬蒋利民田昭武《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第6期83-87,共5页; 约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻... 展开更多; 关键词智能电化学微加工系统约束刻蚀剂层技术压电陶瓷驱动器半导体三维超微图形复制加工技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名复杂三维超微图形的复制加工技术的困难及对策被引量：5: 1; 作者田昭武田中群林仲华谢兆雄; 机构厦门大学物理化学研究所; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期14-19,共6页; 基金国家自然科学基金; 文摘现有用于批量复制的微加工技术较难用于加工复杂的三维图形元件（如微凹凸面镜、。微锥形齿轮等）。主要原因是：１．只能加工简单三维图形；２．只能控制刻蚀深度，刻蚀后的表面仍保留着刻蚀前的表面的粗糙度。针对上述问题，本课题组首先提出用于三维超微图形复制加工的约束刻蚀剂层技术（ＣｏｎｆｉｎｅｄＥｔｃｈａｎｔＬａｙｅｒＴｅｃｈｎｉｑｕｅ，简称ＣＥＬＴ），该技术具有距离选择性并能控制保留量，可望用于批量复制加工微米乃至纳米级的复杂三维图形元件。; 关键词微图形微加工技术约束刻蚀剂层技术三维图形刻蚀技术抗蚀剂高分辨图形图形元件连续曲面方向选择性; 分类号 TH164 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名镍表面三维微图形的复制加工被引量：2: 2; 作者刘柱方蒋利民汤儆张力田中群田昭武刘品宽孙立宁; 机构厦门大学化学系固体表面物理化学国家重点实验室哈尔滨工业大学机器人研究所; 出处《电化学》 CAS CSCD 2004年第3期249-253,共5页; 基金科技部 863计划项目 (2 0 0 2AA40 41 70 )资助; 文摘　运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工,以规整的三维齿状微结构作模板,获得可有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系,在Ni表面得到了与齿状结构互补的三维微结构并应用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)表征刻蚀图案,证实CELT可用于金属表面Ni的三维微图形刻蚀加工.; 关键词镍三维微图形复制加工约束刻蚀剂层技术化学刻蚀捕捉体系微系统技术; Keywords Confined etchant layer technique (CELT), Nickel, 3D-microfabrication, Chemical etching, Electrochemistry; 分类号 TG176 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名柔性微图形成型技术研究: 3; 作者刘伟庭陈裕泉; 机构浙江大学生物传感器国家专业实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第4期480-482,486,共4页; 文摘柔性微图形成型技术是微细加工技术的一个新的方向。介绍了一种新的柔性成型系统———三维定位压控微流系统 ,并用它制作了柔性微五边形。; 关键词柔性微图形成型技术微细加工技术三维定位压控微流系统柔性电子器件光刻技术; Keywords softlithography flexible micropatterning flexible electronic device; 分类号 TN605 [电子电信—电路与系统] TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型智能电化学微加工系统的研究被引量：4: 4; 作者刘品宽孙立宁荣伟彬蒋利民田昭武; 机构哈尔滨工业大学机器人研究所厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室; 出处《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第6期83-87,共5页; 基金国家自然科学基金 ( 2 98330 70 50 1750 19)资助项目; 文摘约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻蚀加工 ,复制出微孔阵列 ,其排列周期与模板的微锥阵列的排列周期吻合得很好。; 关键词智能电化学微加工系统约束刻蚀剂层技术压电陶瓷驱动器半导体三维超微图形复制加工技术; Keywords Confined Etchant Layer Technique, Nanopositioning, Piezo actuator; 分类号 TH705 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料