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三维点扩散函数层距与图像复原的关系
被引量：
1
1
作者
梁日柳
陈华
+1 位作者
莫春球
聂雄
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2016年第3期810-815,共6页
为研究三维点扩散函数层距与图像复原的关系,对数字共焦光学显微成像系统3D-PSF的构成、3D-PSF不同层距与图像复原效果的关系进行理论分析。通过仿真实验,研究了不同放大倍数的3D-PSF,在不同层距,相同层数和径向大小的情况下与图像复原...
为研究三维点扩散函数层距与图像复原的关系,对数字共焦光学显微成像系统3D-PSF的构成、3D-PSF不同层距与图像复原效果的关系进行理论分析。通过仿真实验,研究了不同放大倍数的3D-PSF,在不同层距,相同层数和径向大小的情况下与图像复原效果的关系。实验表明:层距小于0.6μm时,放大倍数为40倍,图像在层距为0.5μm处取得最佳复原效果,放大倍数为20倍和10倍时,图像在层距为0.025μm处取得较好的复原效果。研究结果为在细胞切片的采集和三维显微图像复原实际应用中对3D-PSF的层距选取提供了理论依据和选取方法。
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关键词
三维点扩散函数
图像复原
层距
采样
改善信噪比
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职称材料
欠过补偿离焦误差对显微干涉测量高深宽比结构深度的影响
2
作者
刘秋言
高志山
+4 位作者
鲍帅
乔文佑
霍霄
袁群
郭珍艳
《光子学报》
北大核心
2025年第6期21-32,共12页
在主动补偿型显微干涉技术测量硅基高深宽比结构时,当物镜焦面与沟槽底部未重合,由于变形镜被施加了欠补偿或过补偿的离焦量,尽管可以得到清晰的底部成像,但物镜焦面偏离沟槽底部,导致干涉信号包络偏移,进而影响深度及其他关键形貌参数...
在主动补偿型显微干涉技术测量硅基高深宽比结构时,当物镜焦面与沟槽底部未重合,由于变形镜被施加了欠补偿或过补偿的离焦量,尽管可以得到清晰的底部成像,但物镜焦面偏离沟槽底部,导致干涉信号包络偏移,进而影响深度及其他关键形貌参数的测量精度。为此,本研究基于时域有限差分法与角谱衍射理论构建了三维点扩散函数模型,并利用该模型设计逆滤波器以模拟变形镜的像差补偿过程。通过仿真定量分析了欠补偿和过补偿离焦误差对深度测量的影响,提出了离焦像差补偿的容差判据。随后,通过主动补偿型近红外显微干涉系统进行了实验,以验证仿真提出的容差判据在实际测量中的有效性,并明确离焦误差对测量精度的影响。结果表明,当离焦误差小于±3λ时,深度测量的相对误差低于1%,对测量结果的影响可忽略。
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关键词
近红外显微干涉
深度测量
三维点扩散函数
高深宽比结构
离焦补偿
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职称材料
基于马尔科夫约束最大后验概率三维显微图像复原算法
被引量：
1
3
作者
陈华
金伟其
+1 位作者
苏秉华
王霞
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期634-638,共5页
提出了基于马尔科夫约束的最大后验概率三维显微图像复原算法(3D MPMAP算法).该算法根据显微图像三维的特点,构造三维PSF,对二维邻域进行三维拓展,对正则化参量进行简化,实现了三维显微图像的复原.实验结果表明,各种信噪比的仿真三维显...
提出了基于马尔科夫约束的最大后验概率三维显微图像复原算法(3D MPMAP算法).该算法根据显微图像三维的特点,构造三维PSF,对二维邻域进行三维拓展,对正则化参量进行简化,实现了三维显微图像的复原.实验结果表明,各种信噪比的仿真三维显微图像的散焦信息干扰得到很大程度的排除,复原图像频谱得到较大的恢复,清晰度明显提高.实际生物样本三维显微图像也获得了满意的复原效果.
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关键词
图像复原
三维
显微图像
MPMAP算法
三维点扩散函数
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职称材料
题名
三维点扩散函数层距与图像复原的关系
被引量：
1
1
作者
梁日柳
陈华
莫春球
聂雄
机构
广西大学计算机与电子信息学院
出处
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2016年第3期810-815,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(61164019)
广西科学基金资助项目(2012GXNSFAA053216)
文摘
为研究三维点扩散函数层距与图像复原的关系,对数字共焦光学显微成像系统3D-PSF的构成、3D-PSF不同层距与图像复原效果的关系进行理论分析。通过仿真实验,研究了不同放大倍数的3D-PSF,在不同层距,相同层数和径向大小的情况下与图像复原效果的关系。实验表明:层距小于0.6μm时,放大倍数为40倍,图像在层距为0.5μm处取得最佳复原效果,放大倍数为20倍和10倍时,图像在层距为0.025μm处取得较好的复原效果。研究结果为在细胞切片的采集和三维显微图像复原实际应用中对3D-PSF的层距选取提供了理论依据和选取方法。
关键词
三维点扩散函数
图像复原
层距
采样
改善信噪比
Keywords
three dimensional point spread function（3D-PSF）
image restoration
layer distance
sampling
improved signal to noise ratio （ISNR）
分类号
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
欠过补偿离焦误差对显微干涉测量高深宽比结构深度的影响
2
作者
刘秋言
高志山
鲍帅
乔文佑
霍霄
袁群
郭珍艳
机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
出处
《光子学报》
北大核心
2025年第6期21-32,共12页
基金
国家自然科学基金(Nos.62327814,62175107,62205148)
国家重点研发计划(Nos.2022YFF0706302,2023YFF0720601)
江苏省高校青蓝工程。
文摘
在主动补偿型显微干涉技术测量硅基高深宽比结构时,当物镜焦面与沟槽底部未重合,由于变形镜被施加了欠补偿或过补偿的离焦量,尽管可以得到清晰的底部成像,但物镜焦面偏离沟槽底部,导致干涉信号包络偏移,进而影响深度及其他关键形貌参数的测量精度。为此,本研究基于时域有限差分法与角谱衍射理论构建了三维点扩散函数模型,并利用该模型设计逆滤波器以模拟变形镜的像差补偿过程。通过仿真定量分析了欠补偿和过补偿离焦误差对深度测量的影响,提出了离焦像差补偿的容差判据。随后,通过主动补偿型近红外显微干涉系统进行了实验,以验证仿真提出的容差判据在实际测量中的有效性,并明确离焦误差对测量精度的影响。结果表明,当离焦误差小于±3λ时,深度测量的相对误差低于1%,对测量结果的影响可忽略。
关键词
近红外显微干涉
深度测量
三维点扩散函数
高深宽比结构
离焦补偿
Keywords
Near-infrared microscopic interferometry
Depth measurement
Three-dimensional point spread function
High aspect ratio structures
Defocus compensation
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于马尔科夫约束最大后验概率三维显微图像复原算法
被引量：
1
3
作者
陈华
金伟其
苏秉华
王霞
机构
北京理工大学信息科学技术学院光电工程系
出处
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期634-638,共5页
基金
高等学校博士学科点专项科研基金资助课题(20020007006)
文摘
提出了基于马尔科夫约束的最大后验概率三维显微图像复原算法(3D MPMAP算法).该算法根据显微图像三维的特点,构造三维PSF,对二维邻域进行三维拓展,对正则化参量进行简化,实现了三维显微图像的复原.实验结果表明,各种信噪比的仿真三维显微图像的散焦信息干扰得到很大程度的排除,复原图像频谱得到较大的恢复,清晰度明显提高.实际生物样本三维显微图像也获得了满意的复原效果.
关键词
图像复原
三维
显微图像
MPMAP算法
三维点扩散函数
Keywords
image restoration
3D microscopic image
MPMAP algorithm
3D point-spread-function
分类号
TN911.73 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三维点扩散函数层距与图像复原的关系
梁日柳
陈华
莫春球
聂雄
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2016
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
欠过补偿离焦误差对显微干涉测量高深宽比结构深度的影响
刘秋言
高志山
鲍帅
乔文佑
霍霄
袁群
郭珍艳
《光子学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于马尔科夫约束最大后验概率三维显微图像复原算法
陈华
金伟其
苏秉华
王霞
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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职称材料
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