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大面积矩形感性耦合等离子体源的三维流体力学模拟
被引量：
1
1
作者
赵明亮
张钰如
+2 位作者
高飞
宋远红
王友年
《力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第12期2891-2899,共9页
利用自主开发的三维流体力学模型程序,对面向平板显示工艺和光伏工艺的大面积矩形感性耦合氩等离子体源进行了数值模拟.该模型自洽地求解了带电粒子以及中性粒子的流体方程和感应电场的波动方程.利用此模型,研究了气压、功率以及线圈形...
利用自主开发的三维流体力学模型程序,对面向平板显示工艺和光伏工艺的大面积矩形感性耦合氩等离子体源进行了数值模拟.该模型自洽地求解了带电粒子以及中性粒子的流体方程和感应电场的波动方程.利用此模型,研究了气压、功率以及线圈形状对各种等离子体参数的三维空间分布和均匀性的影响.研究结果表明,当放电气压较低时(4 mTorr),电子密度的空间分布比较均匀,且电子密度的最大值出现在腔室的中心区域.感性沉积功率密度、激发态氩原子密度以及电子温度的最大值出现在线圈的下方.随着放电功率的增加,即从1000 W增加到4000 W,电子密度显著提高,但电子密度的空间分布变化不大.随着放电气压的升高,电子密度的均匀性明显下降,即电子密度的最大值主要局域在线圈下方.这是因为在较高的气压下,带电粒子与背景气体的碰撞增加,因此使得带电粒子的密度分布变得局域.此外,文章还研究了不同的线圈结构对于等离子体均匀性的影响.结果表明当气压较高(20 mTorr)时,使用3×3阵列线圈产生的等离子体的均匀性优于盘香型线圈,即通过改变线圈结构可以实现对等离子体均匀性的调控.文章的研究成果有助于加深对大面积矩形感性耦合等离子体放电特性的认知,这对于优化平板显示工艺以及光伏工艺至关重要.
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关键词
大面积矩形感性耦合等离子体源
三维流体力学模拟
平板显示工艺
光伏工艺
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职称材料
基于流路设计的斜隔板引流喷射换热器研究
被引量：
1
2
作者
李传玺
张婷
+3 位作者
郭凯
尹海蛟
刘辉
刘春江
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CSCD
北大核心
2018年第1期41-49,共9页
为提高原油加热等壳程蒸汽冷凝换热工况的换热效果,本文基于流路设计提出了一种斜隔板层间引流喷射型换热器,并采用数值模拟方法进行分析.分别探究了斜隔板倾角、进口流速、层间引流喷射、换热单元层数对换热性能的影响,获得了换热器综...
为提高原油加热等壳程蒸汽冷凝换热工况的换热效果,本文基于流路设计提出了一种斜隔板层间引流喷射型换热器,并采用数值模拟方法进行分析.分别探究了斜隔板倾角、进口流速、层间引流喷射、换热单元层数对换热性能的影响,获得了换热器综合性能(JF因子)与倾斜角、进口流速的经验关联式.结果表明:壳程斜隔板结构能够提高换热器的JF因子,且倾斜角和进口流速的适当增大有利于换热器性能的提高;多段引流喷射能利用进料气引流上一层的乏汽,提高上层乏汽热品位;斜隔板引流喷射结构放大效应小,有利于工业生产.
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关键词
管壳式换热器
换热强化
壳程蒸汽冷凝
三维
模型的
流体力学
模拟
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职称材料
题名
大面积矩形感性耦合等离子体源的三维流体力学模拟
被引量：
1
1
作者
赵明亮
张钰如
高飞
宋远红
王友年
机构
大连理工大学物理学院
出处
《力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第12期2891-2899,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(11935005).
文摘
利用自主开发的三维流体力学模型程序,对面向平板显示工艺和光伏工艺的大面积矩形感性耦合氩等离子体源进行了数值模拟.该模型自洽地求解了带电粒子以及中性粒子的流体方程和感应电场的波动方程.利用此模型,研究了气压、功率以及线圈形状对各种等离子体参数的三维空间分布和均匀性的影响.研究结果表明,当放电气压较低时(4 mTorr),电子密度的空间分布比较均匀,且电子密度的最大值出现在腔室的中心区域.感性沉积功率密度、激发态氩原子密度以及电子温度的最大值出现在线圈的下方.随着放电功率的增加,即从1000 W增加到4000 W,电子密度显著提高,但电子密度的空间分布变化不大.随着放电气压的升高,电子密度的均匀性明显下降,即电子密度的最大值主要局域在线圈下方.这是因为在较高的气压下,带电粒子与背景气体的碰撞增加,因此使得带电粒子的密度分布变得局域.此外,文章还研究了不同的线圈结构对于等离子体均匀性的影响.结果表明当气压较高(20 mTorr)时,使用3×3阵列线圈产生的等离子体的均匀性优于盘香型线圈,即通过改变线圈结构可以实现对等离子体均匀性的调控.文章的研究成果有助于加深对大面积矩形感性耦合等离子体放电特性的认知,这对于优化平板显示工艺以及光伏工艺至关重要.
关键词
大面积矩形感性耦合等离子体源
三维流体力学模拟
平板显示工艺
光伏工艺
Keywords
large-area rectangular inductively coupled plasma source
three-dimensional fluid simulation
flat panel display process
photovoltaic process
分类号
O531 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
基于流路设计的斜隔板引流喷射换热器研究
被引量：
1
2
作者
李传玺
张婷
郭凯
尹海蛟
刘辉
刘春江
机构
天津大学化工学院
化学工程联合国家重点实验室(天津大学)
出处
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CSCD
北大核心
2018年第1期41-49,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(21406157)
中国博士后科学基金资助项目(2016M601263)~~
文摘
为提高原油加热等壳程蒸汽冷凝换热工况的换热效果,本文基于流路设计提出了一种斜隔板层间引流喷射型换热器,并采用数值模拟方法进行分析.分别探究了斜隔板倾角、进口流速、层间引流喷射、换热单元层数对换热性能的影响,获得了换热器综合性能(JF因子)与倾斜角、进口流速的经验关联式.结果表明:壳程斜隔板结构能够提高换热器的JF因子,且倾斜角和进口流速的适当增大有利于换热器性能的提高;多段引流喷射能利用进料气引流上一层的乏汽,提高上层乏汽热品位;斜隔板引流喷射结构放大效应小,有利于工业生产.
关键词
管壳式换热器
换热强化
壳程蒸汽冷凝
三维
模型的
流体力学
模拟
Keywords
shell-and-tube heat exchanger
heat transfer enhancement
steam condensation in shell side
computational fluid dynamics simulation for 3D model
分类号
TK172 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大面积矩形感性耦合等离子体源的三维流体力学模拟
赵明亮
张钰如
高飞
宋远红
王友年
《力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于流路设计的斜隔板引流喷射换热器研究
李传玺
张婷
郭凯
尹海蛟
刘辉
刘春江
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CSCD
北大核心
2018
1
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职称材料
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