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FIB-SEM双束技术简介及其部分应用介绍
被引量：
23
1
作者
付琴琴
单智伟
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2016年第1期81-89,共9页
聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展...
聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质学等众多领域。本文介绍了双束系统中的一些关键概念及基本原理并综述了其在材料科学领域的一些典型应用,包括透射电镜(TEM)样品制备,微纳尺度力学测试样品制备以及材料三维成像及分析。
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关键词
FIB-SEM双束系统
TEM样品制备
微纳尺度力学测试样品制备
三维成像及分析
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职称材料
题名
FIB-SEM双束技术简介及其部分应用介绍
被引量：
23
1
作者
付琴琴
单智伟
机构
西安交通大学材料学院微纳尺度材料行为研究中心
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2016年第1期81-89,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51231005)
文摘
聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质学等众多领域。本文介绍了双束系统中的一些关键概念及基本原理并综述了其在材料科学领域的一些典型应用,包括透射电镜(TEM)样品制备,微纳尺度力学测试样品制备以及材料三维成像及分析。
关键词
FIB-SEM双束系统
TEM样品制备
微纳尺度力学测试样品制备
三维成像及分析
Keywords
FIB-SEM dual-beam system
TEM sample preparation
micro and nano-scale mechanical test sample preparaiton
three-dimensional characterization
分类号
TH83 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
FIB-SEM双束技术简介及其部分应用介绍
付琴琴
单智伟
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2016
23
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