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表面三维微观形貌检测技术及其发展 被引量:3
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作者 蒋剑峰 何永辉 赵万生 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第12期1418-1420,共3页
从表面特征衡量的角度阐述三维参数评定的客观性及合理性,强调三维微观形貌测量的重要性。介绍当前表面三维微观形貌检测的多种测量方法及其特点,并阐述该测量技术的发展及趋势。
关键词 表面特征衡量 三维微观形貌 测量 参数评定
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分组并行的轻量化实时微观三维形貌重建方法 被引量:2
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作者 闫涛 高浩轩 +2 位作者 张江峰 钱宇华 张临垣 《软件学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第4期1717-1731,共15页
微观三维形貌重建作为精密制造领域生产制造的关键环节,其重建过程依赖于高分辨率稠密图像的采集.而面对复杂应用场景的高时效性需求,高分辨率稠密图像的输入会导致运算量与计算复杂度呈几何倍增加,无法实现高效率低延时的实时微观三维... 微观三维形貌重建作为精密制造领域生产制造的关键环节,其重建过程依赖于高分辨率稠密图像的采集.而面对复杂应用场景的高时效性需求,高分辨率稠密图像的输入会导致运算量与计算复杂度呈几何倍增加,无法实现高效率低延时的实时微观三维形貌重建.针对上述现状,提出一种分组并行的轻量级实时微观三维形貌重建方法 GPLWS-Net.GPLWS-Net以U型网络为基础构造轻量化主干网络,以并行分组式查询加速三维形貌重建过程,并针对神经网络结构进行重参数化设计避免重建微观结构的精度损失.另外,为弥补现有微观三维重建数据集的缺失,公开了一组多聚焦微观三维重建数据集(Micro3D),其标签数据利用多模态数据融合的方式获取场景高精度的三维结构.结果表明,所提出的GPLWS-Net网络不仅可以保证重建精度,而且在三组公开数据集中相比于其他5类深度学习方法平均耗时降低39.15%,在Micro3D数据集中平均耗时降低50.55%,能够实现复杂微观场景的实时三维形貌重建. 展开更多
关键词 微观三维形貌重建 轻量化神经网络 分组并行
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用扫描白光干涉术检测合金韧窝断口微观三维形貌 被引量:11
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作者 邹文栋 黄长辉 +2 位作者 郑玱 徐周珏 董娜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1612-1619,共8页
运用扫描白光干涉法对30CrMnSiA合金韧窝断口复杂的三维表面微观形貌进行了检测。系统采用Linnik干涉结构,并通过基于扫描空间余弦傅里叶频域分析的算法重建断口表面三维形貌。实验中扫描行程达120μm,纵向检测精度优于5 nm,余弦傅里叶... 运用扫描白光干涉法对30CrMnSiA合金韧窝断口复杂的三维表面微观形貌进行了检测。系统采用Linnik干涉结构,并通过基于扫描空间余弦傅里叶频域分析的算法重建断口表面三维形貌。实验中扫描行程达120μm,纵向检测精度优于5 nm,余弦傅里叶分析表现出很强的位相提取和噪声抑制能力,韧窝断口微观形貌的三维重建效果理想。采用小岛法对获得的三维形貌数据进行分形维数测算,在40%~70%相对切割高度处,断口表面分形维数为1.630 4~1.643 2,平均值为1.641 7,标准差为0.012 0。结果显示,30CrMnSiA合金韧窝断口微观形貌具有典型的分形特征。实验表明,扫描白光干涉术是检测断口微观三维形貌的一种有效方法,具有纵向精度高,测程范围大,重构效率高等特点。 展开更多
关键词 扫描白光干涉 合金韧窝断口 空间频域 微观三维形貌
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理疗激光束能量分布的微观形貌测量
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作者 于复生 艾兴 张国雄 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1390-1392,共3页
利用投影光栅显微法对治疗近视眼的激光光束的能量分布进行了测量.结果表明激光光束的能量在小范围内并不是均匀的高斯分布,而是重重叠叠的无规则的峰谷分布。
关键词 光学测量 投影光栅显微法 理疗激光器 激光光束能量分布 三维微观形貌
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阴极弧离子镀AlCrN涂层原子力显微镜分析 被引量:1
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作者 付贵忠 孔德军 +1 位作者 张垒 叶存冬 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期477-482,共6页
利用阴极离子镀法在TiC基金属陶瓷刀具上制备了AlCrN涂层,通过扫描电镜观察了表面形貌,并用原子力显微镜分析了三维表面微观形貌,获得表面粗糙度相关评定参数,同时对高度、层次、粒度、功率谱密度等进行了分析。结果表明,表面粗糙度均... 利用阴极离子镀法在TiC基金属陶瓷刀具上制备了AlCrN涂层,通过扫描电镜观察了表面形貌,并用原子力显微镜分析了三维表面微观形貌,获得表面粗糙度相关评定参数,同时对高度、层次、粒度、功率谱密度等进行了分析。结果表明,表面粗糙度均方根偏差TiC基体为85.8 nm,AlCrN涂层为175 nm,AlCrN涂层与TiC基体表面相对平整,阴极离子镀对表面粗糙度影响较小;AlCrN涂层表面高度值相对分散,支承系数大;AlCrN涂层平均颗粒直径1432 nm,而TiC基体为1460 nm,根据Hall-Petch关系,AlCrN涂层的显微硬度远远高于TiC基体的显微硬度;AlCrN涂层和TiC基体功率谱分布无规律,材料表面均表现为各向异性。 展开更多
关键词 TiC基金属陶瓷刀具 AlCrN涂层 原子力显微镜 三维表面微观形貌 功率谱密度
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