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双光子三维微细加工技术及实验系统的开发
被引量：
22
1
作者
蒋中伟
袁大军
+4 位作者
祝安定
夏安东
黄文浩
褚家如
刘允萍
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第3期234-238,共5页
介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光...
介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光强的平方成正比 ,所以具有极高瞬时光强的飞秒激光器和可以对光束进行强聚焦的显微镜装置成为系统的关键部件 ,对此进行了详细的说明。最后 ,给出了部分利用上述加工系统所获得的初步实验结果。
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关键词
双光子激发
光聚合
飞秒激光器
三维
微器件
三维微细加工技术
双光子
微细
加工
实验系统
激光
加工
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职称材料
题名
双光子三维微细加工技术及实验系统的开发
被引量：
22
1
作者
蒋中伟
袁大军
祝安定
夏安东
黄文浩
褚家如
刘允萍
机构
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第3期234-238,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目 (No .5 0 2 75 14 0 )
文摘
介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光强的平方成正比 ,所以具有极高瞬时光强的飞秒激光器和可以对光束进行强聚焦的显微镜装置成为系统的关键部件 ,对此进行了详细的说明。最后 ,给出了部分利用上述加工系统所获得的初步实验结果。
关键词
双光子激发
光聚合
飞秒激光器
三维
微器件
三维微细加工技术
双光子
微细
加工
实验系统
激光
加工
Keywords
two photon excitation
photoploymerization
femtosecond laser
three dimensional microdevice
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双光子三维微细加工技术及实验系统的开发
蒋中伟
袁大军
祝安定
夏安东
黄文浩
褚家如
刘允萍
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003
22
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