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双光子三维微细加工技术及实验系统的开发被引量：22: 1; 作者蒋中伟袁大军 +4 位作者祝安定夏安东黄文浩褚家如刘允萍《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第3期234-238,共5页; 介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光... 展开更多; 关键词双光子激发光聚合飞秒激光器三维微器件三维微细加工技术双光子微细加工实验系统激光加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

飞秒激光三维微细加工技术被引量：6: 2; 作者刘立鹏周明 +2 位作者戴起勋潘传鹏蔡兰《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期93-96,共4页; 双光子吸收几率与光强度的平方成正比,因此,双光子吸收引发光致聚合局限在紧密聚焦的焦点区域,通过控制焦点的扫描运动可实现高精度三维加工。基于该原理,提出了一种利用飞秒激光进行微细加工的技术。根据此技术,建立了飞秒激光三维微... 展开更多; 关键词三维微细加工飞秒激光双光子吸收光聚合; 在线阅读下载PDF 职称材料

双光子三维微细加工重复率对表面形貌的影响: 3; 作者郭锐肖诗洲 +1 位作者刘剑锋黄文浩《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期553-557,共5页; 飞秒激光三维微细加工是一种集超快激光、CAD/CAM、光化学材料等技术于一体的新型加工方法,它采用单点扫描累积成型,由点成线,由线成面进行加工.要得到精细的三维微器件,不仅需要高加工分辨率,还须选用合适的扫描步距.我们采用不同重复... 展开更多; 关键词双光子激发三维微细加工重复率粗糙度飞秒激光; 在线阅读下载PDF 职称材料

微细电火花三维加工中电极损耗补偿新方法被引量：16: 4; 作者李剑忠栾纪杰 +2 位作者虞慧岚张余升余祖元《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期525-528,共4页; 为解决微细电火花三维加工中存在的电极损耗问题,提出了一种使线性补偿法与均匀损耗法相结合的新的补偿方法.加工实验结果表明,使用这一新补偿方法可明显提高三维微细电火花加工的加工效率和底面粗糙度,并且减少电极损耗.与均匀损耗法相... 展开更多; 关键词三维微细电火花加工电极损耗均匀损耗法线性补偿法; 在线阅读下载PDF 职称材料

三维微细电解加工微型腔侧壁缺陷的形成机理与改进机制: 5; 作者伍朝志伍晓宇 +1 位作者徐斌雷建国《电加工与模具》 2020年第5期27-30,35,共5页; 针对三维微细电解加工较大深度的微型腔时侧壁存在大量微孔缺陷的问题,采用一种三维叠层微电极振动辅助电解加工三维微型腔的方法,分别利用纯NaNO3电解液和含有均匀悬浮B4C粉末的NaNO3电解液进行微细电解加工实验,制备深度大于800μm、... 展开更多; 关键词三维微细电解加工振动辅助气膜微盲孔; 在线阅读下载PDF 职称材料

LIGA相关技术及应用被引量：18: 6; 作者张永华丁桂甫 +1 位作者彭军蔡炳初《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期60-64,共5页; 微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展。介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用。; 关键词三维微细加工 LIGA技术准LIGA技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双光子三维微细加工技术及实验系统的开发被引量：22: 1; 作者蒋中伟袁大军祝安定夏安东黄文浩褚家如刘允萍; 机构中国科学技术大学精密机械与精密仪器系; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第3期234-238,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目 (No .5 0 2 75 14 0 ); 文摘介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光强的平方成正比 ,所以具有极高瞬时光强的飞秒激光器和可以对光束进行强聚焦的显微镜装置成为系统的关键部件 ,对此进行了详细的说明。最后 ,给出了部分利用上述加工系统所获得的初步实验结果。; 关键词双光子激发光聚合飞秒激光器三维微器件三维微细加工技术双光子微细加工实验系统激光加工; Keywords two photon excitation photoploymerization femtosecond laser three dimensional microdevice; 分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名飞秒激光三维微细加工技术被引量：6: 2; 作者刘立鹏周明戴起勋潘传鹏蔡兰; 机构江苏大学光子制造科学技术中心; 出处《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期93-96,共4页; 基金国家自然科学基金面上项目(50275069 50375068); 文摘双光子吸收几率与光强度的平方成正比,因此,双光子吸收引发光致聚合局限在紧密聚焦的焦点区域,通过控制焦点的扫描运动可实现高精度三维加工。基于该原理,提出了一种利用飞秒激光进行微细加工的技术。根据此技术,建立了飞秒激光三维微细加工系统,该系统包括光源系统、显微镜系统、实时监测系统和精密移动系统等。研究发现,该系统加工的直线线宽最小可达500nm;加工线宽与加工速度成反比;激光功率为2mW时,最大和最小临界加工速度分别为80μm/s和1μm/s;制备出线宽1μm,宽度5μm的“CHINA”复杂结构,以及杆间距、层间距均为5μm的三维木堆型光子晶体结构。实验证实,该技术是一种非常灵活的微细加工技术。; 关键词三维微细加工飞秒激光双光子吸收光聚合; Keywords Three-dimensional micro-fabrication Femtosecond laser Two-photon absorption Photo-polymerization; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双光子三维微细加工重复率对表面形貌的影响: 3; 作者郭锐肖诗洲刘剑锋黄文浩; 机构中国科学技术大学精密机械与精密仪器系; 出处《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期553-557,共5页; 基金国家自然科学基金(50275140 50335050) 中国科学院院长奖启动基金资助; 文摘飞秒激光三维微细加工是一种集超快激光、CAD/CAM、光化学材料等技术于一体的新型加工方法,它采用单点扫描累积成型,由点成线,由线成面进行加工.要得到精细的三维微器件,不仅需要高加工分辨率,还须选用合适的扫描步距.我们采用不同重复率工艺参数进行实验,并对得到的表面质量进行了分析,优化了微器件加工的重复率参数.还基于自由基浓度理论和曝光等效性原理,对重复率影响表面质量进行了仿真.加工系统采用飞秒激光光源:脉宽为80fs,中心波长为800nm,重复频率为80MHz,输出功率为400mW;使用数值孔径(NA=1.25)浸油物镜聚焦;三维扫描使用PZT移动台;材料是新型聚丙烯类S-3负性光刻胶.实验中采用步距0.1,0.2,0.3,0.4μm得到不同平面,并测得其表面粗糙度,分析了重复率对微器件表面质量的影响.; 关键词双光子激发三维微细加工重复率粗糙度飞秒激光; Keywords two photon excitation three-dimensional structure overlapping degree surface roughness femtosecond laser; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微细电火花三维加工中电极损耗补偿新方法被引量：16: 4; 作者李剑忠栾纪杰虞慧岚张余升余祖元; 机构大连理工大学机械工程学院无锡微研有限公司上海航天设备制造总厂; 出处《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期525-528,共4页; 基金 "八六三"国家高技术研究发展计划资助项目(重点项目2009AA044205); 文摘为解决微细电火花三维加工中存在的电极损耗问题,提出了一种使线性补偿法与均匀损耗法相结合的新的补偿方法.加工实验结果表明,使用这一新补偿方法可明显提高三维微细电火花加工的加工效率和底面粗糙度,并且减少电极损耗.与均匀损耗法相比,电极损耗长度可减少17.8%,表面粗糙度可降低9.9%,材料去除速率可提高10.1%.; 关键词三维微细电火花加工电极损耗均匀损耗法线性补偿法; Keywords 3D micro-EDM electrode wear uniform wear method（UWM） linear compensation method（LCM）; 分类号 TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名三维微细电解加工微型腔侧壁缺陷的形成机理与改进机制: 5; 作者伍朝志伍晓宇徐斌雷建国; 机构南京航空航天大学机电学院深圳大学机电与控制工程学院; 出处《电加工与模具》 2020年第5期27-30,35,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(51575360)。; 文摘针对三维微细电解加工较大深度的微型腔时侧壁存在大量微孔缺陷的问题,采用一种三维叠层微电极振动辅助电解加工三维微型腔的方法,分别利用纯NaNO3电解液和含有均匀悬浮B4C粉末的NaNO3电解液进行微细电解加工实验,制备深度大于800μm、具有复杂孤岛结构的三维微型腔,并聚焦研究三维微型腔侧壁缺陷的形成机理与改进机制。结果表明,在NaNO3电解液中添加B4C粉末后,可避免微细电解加工产生微盲孔与微孔条纹,侧壁质量得到明显提升。; 关键词三维微细电解加工振动辅助气膜微盲孔; Keywords 3D micro-ECM vibration-assisted gas film micro blind hole; 分类号 TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名LIGA相关技术及应用被引量：18: 6; 作者张永华丁桂甫彭军蔡炳初; 机构上海交通大学微纳米科学技术研究院西安电子科技大学微电子研究所; 出处《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期60-64,共5页; 基金信息产业部微电子技术项目(41308050116); 文摘微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展。介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用。; 关键词三维微细加工 LIGA技术准LIGA技术; Keywords 3-D micromachining LIGA technology quasi-LIGA technology; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	双光子三维微细加工技术及实验系统的开发	蒋中伟袁大军祝安定夏安东黄文浩褚家如刘允萍	《光学精密工程》 EI CAS CSCD	2003	22	在线阅读下载PDF 职称材料
2	飞秒激光三维微细加工技术	刘立鹏周明戴起勋潘传鹏蔡兰	《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	6	在线阅读下载PDF 职称材料
3	双光子三维微细加工重复率对表面形貌的影响	郭锐肖诗洲刘剑锋黄文浩	《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	微细电火花三维加工中电极损耗补偿新方法	李剑忠栾纪杰虞慧岚张余升余祖元	《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	16	在线阅读下载PDF 职称材料
5	三维微细电解加工微型腔侧壁缺陷的形成机理与改进机制	伍朝志伍晓宇徐斌雷建国	《电加工与模具》	2020	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	LIGA相关技术及应用	张永华丁桂甫彭军蔡炳初	《传感器技术》 CSCD 北大核心	2003	18	在线阅读下载PDF 职称材料