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题名基于PDMS的光纤端面微纳结构转移法
被引量：1
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作者
侯天斐
赵复生
王斌
王硕
高天元
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机构
长春理工大学光电工程学院
中国科学院微电子研究所
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第3期631-636,共6页
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基金
中科院重点部署项目(ZDRW-XH-09-3)。
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文摘
微纳光纤传感器将微纳加工与光纤传感技术有机结合,具有重大的科研意义和产业化潜力。现有加工方法无法达到任意复杂三维结构可制备化,从而限制了微纳光纤传感器的发展。介绍了一种新型微纳加工方法,该方法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜上实现微纳结构的制备,之后将薄膜连同微纳结构一同转移到光纤端面,在光纤端面实现人为定义三维立体微纳结构。通过在扫描电镜下对制备的样品进行检测,确认PDMS薄膜及其上三维结构可被无损转移至光纤端面。该方法具有易制备、低成本且可加工三维微纳结构的特点。
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关键词
光纤
三维微纳结构
微纳加工
聚二甲基硅氧烷
干涉曝光
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Keywords
optical fiber
three-dimensional micro-nano structure
micro-nano processing
polydimethylsiloxane
interference exposure
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分类号
TN253
[电子电信—物理电子学]
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题名具有3D微纳结构PDMS阵列免疫传感芯片研制
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作者
宗羽
何巧红
陈恒武
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机构
浙江大学微分析系统研究所
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2012年第9期102-104,108,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(20890020)
浙江省自然科学基金资助项目(Y4100254)
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文摘
介绍了一种简便快速加工微阵列免疫传感芯片的新方法。采用化学刻蚀技术加工具有μm级山脉状起伏和nm级表面粗糙度结构(简称为3D微纳表面)的玻璃阳模,以该阳模为模板浇注法制得表面具有3D微纳表面结构的PDMS基片,再借助于物理吸附,将抗体直接固定于该PDMS表面,形成具有3D微纳结构的PDMS微阵列免疫传感器。利用光学显微镜和原子力显微镜对玻璃阳模和PDMS基片表面形貌进行表征,研究了PDMS表面微纳结构化处理对抗体吸附能力的影响。结果表明:3D微纳结构的PDMS由于具有大的比表面积,能显著增强抗体的吸附能力。将研制所得的3D微纳表面结构的PDMS芯片用于微阵列荧光免疫分析,其灵敏度是平板PDMS的5倍。
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关键词
聚二甲基硅氧烷
三维微纳结构
微阵列免疫传感器
微芯片
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Keywords
polydimethylsiloxane（PDMS）
3D micro/nano structure
microan＇ay immunosensors
microchip
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分类号
O657
[理学—分析化学]
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题名基于FIB辐照加工制备三维结构的动态过程
被引量：2
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作者
沈贇靓
瞿敏妮
王英
付学成
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机构
上海交通大学先进电子材料与器件平台
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出处
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2020年第2期44-47,共4页
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文摘
基于FIB直写及辐照技术加工制备了金膜的三维立体结构,并测量了薄膜结构形变量随辐照时间的变化,分析了其动态变化过程及机理。结果表明,金膜在离子束辐照下,金原子和镓离子相互作用,在金膜内部产生空位及位错,从而引起薄膜应力,经过一定的弛豫时间,应力发生释放,随后三维结构的形变量随着镓离子辐照剂量的增加缓慢变化。
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关键词
三维微纳结构
聚焦离子束
辐照
动态分析
金膜
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Keywords
three-dimensional micro-nano structures
focus ion beam(FIB)irrational
dynamic analysis
Au film
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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