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三维队列微电极在微细电火花加工的应用
被引量：
2
1
作者
徐斌
王振龙
+2 位作者
伍晓宇
雷建国
阮双琛
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1304-1313,共10页
研究了三维微型腔模具的制备方法。该方法基于微型双工位分层实体制造工艺(DLOM),通过多层铜箔二维微结构叠加拟合出三维队列微电极,将制备的微电极用于微细电火花加工来制得三维微型腔模具。首先,利用线切割对100μm厚的多层铜箔进行...
研究了三维微型腔模具的制备方法。该方法基于微型双工位分层实体制造工艺(DLOM),通过多层铜箔二维微结构叠加拟合出三维队列微电极,将制备的微电极用于微细电火花加工来制得三维微型腔模具。首先,利用线切割对100μm厚的多层铜箔进行逐层切割,获得多层二维微结构。然后,通过真空压力热扩散焊对多层铜箔二维微结构进行连接,叠加拟合出三维队列微电极。最后,在电压80V,脉冲频率0.2MHZ,脉冲宽度800ns,休止脉宽4 200ns的作用下,将上述工艺制备的三维队列微电极用于微细电火花加工,获得表面质量良好、形状与尺寸精度较高的三维微型腔模具。为了有效减少电极损耗对加工精度的不利影响,使用队列电极中的微电极依序对三维微型腔进行了加工。基于上述研究结果,制备了两种形状的三维队列微电极并通过微细电火花加工获得了表面粗糙度Ra为0.48μm的三维微型腔模具。与目前主流的微细电极逐层扫描放电加工三维微结构的工作方式相比,提出的三维微电极只需进行上下往返式加工便可获得三维微型腔模具,工作效率高且损耗低。
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关键词
三维微电极
三维
微型腔
微细电火花加工
微型双工位分层实体制造
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职称材料
MEMS用新型微型超级电容器的制造及性能分析
2
作者
陈学坤
王晓峰
+2 位作者
张高飞
阮勇
尤政
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期863-868,共6页
采用微加工工艺为MEMS制作了一种基于电化学赝电容原理储能的微型能量存储器件——新型微型超级电容器。通过光刻、感应耦合等离子体刻蚀和溅射等MEMS微加工工艺制作了硅基3D微电极阵列，并在其表面用阴极电沉积法制备了氧化钌功能薄膜...
采用微加工工艺为MEMS制作了一种基于电化学赝电容原理储能的微型能量存储器件——新型微型超级电容器。通过光刻、感应耦合等离子体刻蚀和溅射等MEMS微加工工艺制作了硅基3D微电极阵列，并在其表面用阴极电沉积法制备了氧化钌功能薄膜。采用循环伏安法和交流阻抗法研究了3D微电极的性能，系统比较了3D微电极与平面微电极的电化学性能，测试结果表明3D微电极的比电容达1．57F·cm^-2。基于三维微电极阵列阳极和钌钛金属氧化物阴极组装了微型超级电容器，恒流充放电测试结果表明该电容器的比容量达0．73F·cm^-2，比功率达0．50mW·cm^-2，比能量达0．36J·cm^-2。
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关键词
微机电系统(MEMS)
三维微电极
阵列
微型超级电容器
氧化钌
赝电容
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职称材料
用于神经信号检测的传感器系统的研究
被引量：
2
3
作者
冯婧
李醒飞
+3 位作者
孙斐
钟莹
单秋云
王盼
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第3期9-11,共3页
探讨了一种用于神经信号检测的新型传感器系统的设计。提出了一种由二维无源电极和前置信号放大模块微装配而成的三维有源微电极阵列的结构形式,在对电极和电解液接触面间的电学模型进行分析的基础上,完成了二维无源电极和前置放大模块...
探讨了一种用于神经信号检测的新型传感器系统的设计。提出了一种由二维无源电极和前置信号放大模块微装配而成的三维有源微电极阵列的结构形式,在对电极和电解液接触面间的电学模型进行分析的基础上,完成了二维无源电极和前置放大模块的设计。仿真结果验证了传感器系统用来检测神经信号的可行性和可靠性。
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关键词
三维
有源
微电极
阵列
神经信号检测
传感器
微机电系统
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职称材料
题名
三维队列微电极在微细电火花加工的应用
被引量：
2
1
作者
徐斌
王振龙
伍晓宇
雷建国
阮双琛
机构
哈尔滨工业大学机电工程学院微系统与微结构制造教育部重点实验室
深圳大学机电与控制工程学院深圳市模具先进制造技术重点实验室
深圳大学电子科学与技术学院深圳市激光工程重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1304-1313,共10页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51405306
No.51175348
+2 种基金
No.51205258)
中国博士后科学基金资助项目(No.2014M552233)
深圳市基础研究计划资助项目(No.JCYJ20140418095735629)
文摘
研究了三维微型腔模具的制备方法。该方法基于微型双工位分层实体制造工艺(DLOM),通过多层铜箔二维微结构叠加拟合出三维队列微电极,将制备的微电极用于微细电火花加工来制得三维微型腔模具。首先,利用线切割对100μm厚的多层铜箔进行逐层切割,获得多层二维微结构。然后,通过真空压力热扩散焊对多层铜箔二维微结构进行连接,叠加拟合出三维队列微电极。最后,在电压80V,脉冲频率0.2MHZ,脉冲宽度800ns,休止脉宽4 200ns的作用下,将上述工艺制备的三维队列微电极用于微细电火花加工,获得表面质量良好、形状与尺寸精度较高的三维微型腔模具。为了有效减少电极损耗对加工精度的不利影响,使用队列电极中的微电极依序对三维微型腔进行了加工。基于上述研究结果,制备了两种形状的三维队列微电极并通过微细电火花加工获得了表面粗糙度Ra为0.48μm的三维微型腔模具。与目前主流的微细电极逐层扫描放电加工三维微结构的工作方式相比,提出的三维微电极只需进行上下往返式加工便可获得三维微型腔模具,工作效率高且损耗低。
关键词
三维微电极
三维
微型腔
微细电火花加工
微型双工位分层实体制造
Keywords
3D queue micro-electrode
3D micro-cavity
micro Electrical Discharge Machining（EDM）micro Double-staged I.aminated Object Manufacturing（DL（）M）
分类号
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
MEMS用新型微型超级电容器的制造及性能分析
2
作者
陈学坤
王晓峰
张高飞
阮勇
尤政
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期863-868,共6页
基金
国家自然科学基金（50905096）资助项目.
文摘
采用微加工工艺为MEMS制作了一种基于电化学赝电容原理储能的微型能量存储器件——新型微型超级电容器。通过光刻、感应耦合等离子体刻蚀和溅射等MEMS微加工工艺制作了硅基3D微电极阵列，并在其表面用阴极电沉积法制备了氧化钌功能薄膜。采用循环伏安法和交流阻抗法研究了3D微电极的性能，系统比较了3D微电极与平面微电极的电化学性能，测试结果表明3D微电极的比电容达1．57F·cm^-2。基于三维微电极阵列阳极和钌钛金属氧化物阴极组装了微型超级电容器，恒流充放电测试结果表明该电容器的比容量达0．73F·cm^-2，比功率达0．50mW·cm^-2，比能量达0．36J·cm^-2。
关键词
微机电系统(MEMS)
三维微电极
阵列
微型超级电容器
氧化钌
赝电容
Keywords
micro electromechanical system （ MEMS ）, 3D microelectrode arrays, micro-supercapacitor, RuO2, pseudo capacitance
分类号
TM53 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
用于神经信号检测的传感器系统的研究
被引量：
2
3
作者
冯婧
李醒飞
孙斐
钟莹
单秋云
王盼
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第3期9-11,共3页
基金
天津市科技发展计划资助项目(05YFSYSF01700)
文摘
探讨了一种用于神经信号检测的新型传感器系统的设计。提出了一种由二维无源电极和前置信号放大模块微装配而成的三维有源微电极阵列的结构形式,在对电极和电解液接触面间的电学模型进行分析的基础上,完成了二维无源电极和前置放大模块的设计。仿真结果验证了传感器系统用来检测神经信号的可行性和可靠性。
关键词
三维
有源
微电极
阵列
神经信号检测
传感器
微机电系统
Keywords
3-dimension active microelectrode array
neural signal recording
sensor
micro elecromechanical system（MEMS）
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三维队列微电极在微细电火花加工的应用
徐斌
王振龙
伍晓宇
雷建国
阮双琛
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
MEMS用新型微型超级电容器的制造及性能分析
陈学坤
王晓峰
张高飞
阮勇
尤政
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
用于神经信号检测的传感器系统的研究
冯婧
李醒飞
孙斐
钟莹
单秋云
王盼
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008
2
在线阅读
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职称材料
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