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三维复杂微器件的微立体光刻成形被引量：5: 1; 作者董涛陈运生 +3 位作者舒延春侯丽雅朱丽王伟《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2003年第7期41-44,共4页; 介绍了一种具有更高加工分辨率且可直接成形三维复杂微型器件的一次曝光型微立体光刻成形装置。重点给出了经薄膜晶体管阵列编址的液晶显示光阀表盘 ,即可控透光模板的构造、性能及其对微立体光刻成形装置层面加工分辨率和截面曝光尺寸... 展开更多; 关键词三维复杂微器件立体光刻加工分辨率微机械微成形 RP技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

双光子三维微细加工技术及实验系统的开发被引量：22: 2; 作者蒋中伟袁大军 +4 位作者祝安定夏安东黄文浩褚家如刘允萍《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第3期234-238,共5页; 介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光... 展开更多; 关键词双光子激发光聚合飞秒激光器三维微器件三维微细加工技术双光子微细加工实验系统激光加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究被引量：1: 3; 作者卞贺明边超 +4 位作者佟建华孙楫舟张虹韩泾鸿夏善红《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第5期1257-1262,共6页; 该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实... 展开更多; 关键词微型电化学氨气传感器三维微纳器件水质监测氨氮; 在线阅读下载PDF 职称材料

LIGA技术进展被引量：1: 4; 作者陈迪《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期57-58,共2页; ＬＩＧＡ技术进展陈迪（上海交通大学信息存储研究中心）ＬＩＧＡ是德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ和Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ三个词的缩写，是由Ｘ光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先... 展开更多; 关键词 LIGA技术三维微器件微电铸同步辐射光源微米纳米科学技术进展光刻胶掩模板微加速度传感器深度光刻; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名三维复杂微器件的微立体光刻成形被引量：5: 1; 作者董涛陈运生舒延春侯丽雅朱丽王伟; 机构南京理工大学机械工程学院海军某部南京长发高新技术; 出处《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2003年第7期41-44,共4页; 基金总装备部"十五"国防重点预研项目 (40 4 0 4 0 70 1 0 1 ); 文摘介绍了一种具有更高加工分辨率且可直接成形三维复杂微型器件的一次曝光型微立体光刻成形装置。重点给出了经薄膜晶体管阵列编址的液晶显示光阀表盘 ,即可控透光模板的构造、性能及其对微立体光刻成形装置层面加工分辨率和截面曝光尺寸的影响。为证明微立体光刻工艺在成形三维复杂微结构时的优越性 ,给出了所加工出的微机械部件、微型件浇铸模、微流体系统部件等实物的扫描电子显微照片及相关的加工参数。; 关键词三维复杂微器件立体光刻加工分辨率微机械微成形 RP技术; Keywords Micro-fabrication, Stereo-lithography, Resolution; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双光子三维微细加工技术及实验系统的开发被引量：22: 2; 作者蒋中伟袁大军祝安定夏安东黄文浩褚家如刘允萍; 机构中国科学技术大学精密机械与精密仪器系; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第3期234-238,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目 (No .5 0 2 75 14 0 ); 文摘介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光强的平方成正比 ,所以具有极高瞬时光强的飞秒激光器和可以对光束进行强聚焦的显微镜装置成为系统的关键部件 ,对此进行了详细的说明。最后 ,给出了部分利用上述加工系统所获得的初步实验结果。; 关键词双光子激发光聚合飞秒激光器三维微器件三维微细加工技术双光子微细加工实验系统激光加工; Keywords two photon excitation photoploymerization femtosecond laser three dimensional microdevice; 分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究被引量：1: 3; 作者卞贺明边超佟建华孙楫舟张虹韩泾鸿夏善红; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院研究生院; 出处《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第5期1257-1262,共6页; 基金国家973计划项目(2009CB320300) 国家自然科学基金(60971070 61072023)资助课题; 文摘该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实现了微传感器多层结构的封装。使用纳米铱作为传感器的敏感材料,其具有良好的电催化氧化能力,可使传感器具有较高的灵敏度。对Ag/AgCl微参比电极的稳定性进行了考察。使用自行设计的氨氮检测系统对氨氮样品进行检测,对微传感器的时间响应特性、浓度响应特性、重复性及选择性进行了测试和分析。实验结果表明,在0.5~10 mg/L的测试范围内,检测电流与氨氮浓度保持良好的线性,灵敏度为1.62μA/（mg/L）,线性相关系数为0.995,重复性偏差为5.73%。同时,传感器显示出良好的选择性。; 关键词微型电化学氨气传感器三维微纳器件水质监测氨氮; Keywords Miniaturized electrochemical ammonia sensor 3D micro/nano device Water quality monitoring Ammonia nitrogen; 分类号 TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名LIGA技术进展被引量：1: 4; 作者陈迪; 机构上海交通大学信息存储研究中心; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期57-58,共2页; 文摘ＬＩＧＡ技术进展陈迪（上海交通大学信息存储研究中心）ＬＩＧＡ是德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ和Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ三个词的缩写，是由Ｘ光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先进制造技术。８０年代初由德国卡尔斯...; 关键词 LIGA技术三维微器件微电铸同步辐射光源微米纳米科学技术进展光刻胶掩模板微加速度传感器深度光刻; 分类号 TH70 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	三维复杂微器件的微立体光刻成形	董涛陈运生舒延春侯丽雅朱丽王伟	《制造技术与机床》 CSCD 北大核心	2003	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	双光子三维微细加工技术及实验系统的开发	蒋中伟袁大军祝安定夏安东黄文浩褚家如刘允萍	《光学精密工程》 EI CAS CSCD	2003	22	在线阅读下载PDF 职称材料
3	用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究	卞贺明边超佟建华孙楫舟张虹韩泾鸿夏善红	《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心	2012	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	LIGA技术进展	陈迪	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1996	1	在线阅读下载PDF 职称材料