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三氯化铁-草酸体系不锈钢化学机械抛光液设计与优化
1
作者
王泽宇
彭亚男
+1 位作者
苏建修
陈佳鹏
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2023年第4期497-503,共7页
为提高柔性显示衬底不锈钢箔片化学机械抛光加工效率,研制一种三氯化铁-草酸型抛光液并用于304不锈钢衬底的化学机械抛光加工过程。设计正交优化试验,确定磨粒粒径、磨料含量、草酸含量和三氯化铁含量对材料去除率和表面粗糙度(S_(a))...
为提高柔性显示衬底不锈钢箔片化学机械抛光加工效率,研制一种三氯化铁-草酸型抛光液并用于304不锈钢衬底的化学机械抛光加工过程。设计正交优化试验,确定磨粒粒径、磨料含量、草酸含量和三氯化铁含量对材料去除率和表面粗糙度(S_(a))的影响显著性顺序,并重点探究三氯化铁和草酸对材料去除率的影响规律。利用优化后的抛光液精抛304不锈钢,其材料去除率高于560 nm/min,抛光30 min后Sa低于8 nm。相比现有抛光液的材料去除效率(226.56 nm/min),新抛光液的加工效率提升超过1倍。
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关键词
化学机械平坦化
304不锈钢
三氯化铁-草酸
材料去除率
表面粗糙度
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职称材料
题名
三氯化铁-草酸体系不锈钢化学机械抛光液设计与优化
1
作者
王泽宇
彭亚男
苏建修
陈佳鹏
机构
郑州电子信息职业技术学院
南京航空航天大学
河南科技学院机电学院
上海工程技术大学
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2023年第4期497-503,共7页
基金
江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金
国家自然科学基金面上项目(51375149)。
文摘
为提高柔性显示衬底不锈钢箔片化学机械抛光加工效率,研制一种三氯化铁-草酸型抛光液并用于304不锈钢衬底的化学机械抛光加工过程。设计正交优化试验,确定磨粒粒径、磨料含量、草酸含量和三氯化铁含量对材料去除率和表面粗糙度(S_(a))的影响显著性顺序,并重点探究三氯化铁和草酸对材料去除率的影响规律。利用优化后的抛光液精抛304不锈钢,其材料去除率高于560 nm/min,抛光30 min后Sa低于8 nm。相比现有抛光液的材料去除效率(226.56 nm/min),新抛光液的加工效率提升超过1倍。
关键词
化学机械平坦化
304不锈钢
三氯化铁-草酸
材料去除率
表面粗糙度
Keywords
chemical
-
mechanical planarization
304 stainless steel
ferric chloride
-
oxalic acid
material removal rate
surface roughness
分类号
TG732 [金属学及工艺—刀具与模具]
TH162 [机械工程—机械制造及自动化]
TN27 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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被引量
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1
三氯化铁-草酸体系不锈钢化学机械抛光液设计与优化
王泽宇
彭亚男
苏建修
陈佳鹏
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2023
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