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改进普通三极电子枪SEM低压象分辨率的探讨
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作者 姜新力 章一鸣 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第3期271-271,共1页
在SEM的应用技术中,低压象的观察引起一些科学工作者的兴趣,因为低加速电压能减少电子束对样品的损伤,减少充放电现象,有些样品可以不经处理直接观察,总之,低压象更能表现样品表面的真实结构。但普通电子枪在低压或超低压时亮度低,图象... 在SEM的应用技术中,低压象的观察引起一些科学工作者的兴趣,因为低加速电压能减少电子束对样品的损伤,减少充放电现象,有些样品可以不经处理直接观察,总之,低压象更能表现样品表面的真实结构。但普通电子枪在低压或超低压时亮度低,图象信噪比差,由于空间电荷效应使成象色差加大,致使图象分辨率下降。通过对1000B型SEM的钨丝附极电子枪的不同几何尺寸和加速电压下的束斑直径、亮度、的测量以及高倍象的观察。探讨了改进低压象质量的途径。实验表明:普通三极电子枪在正常状态下。 展开更多
关键词 三极电子枪 低压象 分辨北 SEM
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100kV焊接用电子枪的设计和优化 被引量:2
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作者 司青润 董全林 桑兴华 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2021年第21期96-100,共5页
采用LaB6间热式阴极,运用综合迭代法,设计了一款焊接用的大功率电子枪。在理论设计的基础上通过Munro软件中的Source模块对初始结构参数进行了优化调整,最终达到了功率36kW、加速电压100kV、发射束流360mA、束腰直径300μm的设计指标。... 采用LaB6间热式阴极,运用综合迭代法,设计了一款焊接用的大功率电子枪。在理论设计的基础上通过Munro软件中的Source模块对初始结构参数进行了优化调整,最终达到了功率36kW、加速电压100kV、发射束流360mA、束腰直径300μm的设计指标。采用单一变量法进行了大量仿真试验,总结出了电子枪的栅极位置、栅极孔径、栅极电压、阳极位置、阳极孔径与电子束束流大小和束腰直径之间的关系,这对于三极式电子枪的结构参数调整优化具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 电子束焊接 电子枪 综合迭代法 发射束流 束腰直径
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