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题名改进普通三极电子枪SEM低压象分辨率的探讨
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作者
姜新力
章一鸣
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机构
中国科学院科学仪器厂
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1990年第3期271-271,共1页
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文摘
在SEM的应用技术中,低压象的观察引起一些科学工作者的兴趣,因为低加速电压能减少电子束对样品的损伤,减少充放电现象,有些样品可以不经处理直接观察,总之,低压象更能表现样品表面的真实结构。但普通电子枪在低压或超低压时亮度低,图象信噪比差,由于空间电荷效应使成象色差加大,致使图象分辨率下降。通过对1000B型SEM的钨丝附极电子枪的不同几何尺寸和加速电压下的束斑直径、亮度、的测量以及高倍象的观察。探讨了改进低压象质量的途径。实验表明:普通三极电子枪在正常状态下。
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关键词
三极电子枪
低压象
分辨北
SEM
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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题名100kV焊接用电子枪的设计和优化
被引量:2
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作者
司青润
董全林
桑兴华
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机构
北京航空航天大学
中国航空制造技术研究院
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出处
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2021年第21期96-100,共5页
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基金
北京卫星环境工程研究所开放基金(CAST-BISEE2019-040)。
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文摘
采用LaB6间热式阴极,运用综合迭代法,设计了一款焊接用的大功率电子枪。在理论设计的基础上通过Munro软件中的Source模块对初始结构参数进行了优化调整,最终达到了功率36kW、加速电压100kV、发射束流360mA、束腰直径300μm的设计指标。采用单一变量法进行了大量仿真试验,总结出了电子枪的栅极位置、栅极孔径、栅极电压、阳极位置、阳极孔径与电子束束流大小和束腰直径之间的关系,这对于三极式电子枪的结构参数调整优化具有一定的指导意义。
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关键词
电子束焊接
三极式电子枪
综合迭代法
发射束流
束腰直径
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Keywords
Electron beam welding
Three-pole electron gun
Synthetic iteration
Emitted beam
Waist diameter
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分类号
TG43
[金属学及工艺—焊接]
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