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电子注分析系统中三坐标精密工作台的设计与控制
被引量：
1
1
作者
董明利
张今朝
祝连庆
《工具技术》
北大核心
1999年第5期40-42,共3页
提出一种利用收集极在三维空间内通过束流采样进行电子注分析的测量方法，介绍了电子注分析系统中三坐标精密移动工作台的设计与控制。该方法可对电子注发射系统的结构参数、工作性能进行全面测量和分析，为超高频大功率电子器件的研制...
提出一种利用收集极在三维空间内通过束流采样进行电子注分析的测量方法，介绍了电子注分析系统中三坐标精密移动工作台的设计与控制。该方法可对电子注发射系统的结构参数、工作性能进行全面测量和分析，为超高频大功率电子器件的研制提供实验手段。
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关键词
电子注分析系统
三坐标工作台
测量
控制
设计
在线阅读
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职称材料
题名
电子注分析系统中三坐标精密工作台的设计与控制
被引量：
1
1
作者
董明利
张今朝
祝连庆
机构
北京机械工业学院
出处
《工具技术》
北大核心
1999年第5期40-42,共3页
文摘
提出一种利用收集极在三维空间内通过束流采样进行电子注分析的测量方法，介绍了电子注分析系统中三坐标精密移动工作台的设计与控制。该方法可对电子注发射系统的结构参数、工作性能进行全面测量和分析，为超高频大功率电子器件的研制提供实验手段。
关键词
电子注分析系统
三坐标工作台
测量
控制
设计
Keywords
electron beam analyzer system 3 D table measurement and control
分类号
TN83 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子注分析系统中三坐标精密工作台的设计与控制
董明利
张今朝
祝连庆
《工具技术》
北大核心
1999
1
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