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三分量光弹波导混合集成加速度传感器
被引量：
4
1
作者
唐东林
陈才和
+1 位作者
崔宇明
王金海
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期1062-1065,共4页
三分量光弹波导MZ干涉型集成加速度传感器的研究,为高频高精度地震勘探提供集成化的高精度传感器.利用光弹原理,分析了光弹效应检测任意方向加速度的原理.在X切Y传LiNbO3晶体上,设计制作了光波导双MZ干涉仪及各集成器件:波导相位调制器...
三分量光弹波导MZ干涉型集成加速度传感器的研究,为高频高精度地震勘探提供集成化的高精度传感器.利用光弹原理,分析了光弹效应检测任意方向加速度的原理.在X切Y传LiNbO3晶体上,设计制作了光波导双MZ干涉仪及各集成器件:波导相位调制器、波导偏振器.三分量光弹波导MZ干涉型集成加速度传感器测试表明:该传感器动态范围宽、线性性好.主要参数为:相位灵敏度达1.81×10-4Rad/m·s-2;工作频带3～1506(Hz).
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关键词
混合集成
三分量加速度传感器
光弹波导
马赫-曾德干涉
光学效应
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职称材料
题名
三分量光弹波导混合集成加速度传感器
被引量：
4
1
作者
唐东林
陈才和
崔宇明
王金海
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期1062-1065,共4页
文摘
三分量光弹波导MZ干涉型集成加速度传感器的研究,为高频高精度地震勘探提供集成化的高精度传感器.利用光弹原理,分析了光弹效应检测任意方向加速度的原理.在X切Y传LiNbO3晶体上,设计制作了光波导双MZ干涉仪及各集成器件:波导相位调制器、波导偏振器.三分量光弹波导MZ干涉型集成加速度传感器测试表明:该传感器动态范围宽、线性性好.主要参数为:相位灵敏度达1.81×10-4Rad/m·s-2;工作频带3～1506(Hz).
关键词
混合集成
三分量加速度传感器
光弹波导
马赫-曾德干涉
光学效应
Keywords
Hybrid-integrated
Three-component accelerometer
Photoelastic waveguide
Mach-Zehnder interference
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
三分量光弹波导混合集成加速度传感器
唐东林
陈才和
崔宇明
王金海
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
4
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