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基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量被引量：3: 1; 作者李源邹子英 +3 位作者傅云霞傅星栗大超胡小唐《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2097-2100,共4页; 针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,... 展开更多; 关键词微机电系统微触觉测头尺寸测量纳米测量机; 在线阅读下载PDF 职称材料

微型零件三维几何尺寸测量系统被引量：2: 2; 作者徐毓娴李庆祥 +1 位作者白立芬于水《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期319-321,326,共4页; 介绍用于纳米技术中的微型零件三维几何尺寸测量系统的原理，测量中的关键技术，对该系统进行了实测，实验结果表明：ｘ，ｙ重复测量精度为±０．００５μｍ，ｚ方向测量精度为５ｎｍ。; 关键词三维几何尺寸微型零件测量系统测量精度光学系统显微物镜纳米技术摄象机自动调焦系统显微系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于纳米长度测量的超微直线驱动原理和装置: 3; 作者曲兴华贾果欣陆伯印《电子测量与仪器学报》 CSCD 1998年第3期24-27,共4页; 纳米级驱动装置是纳米测量技术的关键器件，目前广泛采用压电材料制作变形元件实现超微直线位移。本文介绍的装置是一个精密机械与电气控制系统的组合体。; 关键词压电转换纳米测量超微直线驱动长度测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

微纳米尺寸测量技术: 4; 作者李成贵赵清亮董申《实用测试技术》 1999年第1期15-17,37,共4页; 随着精密和超精密加工技术的迅速发展，亚微米和纳米级的测量方法不断出现，本文对近年几种常见的微纳米计量技术的基本测量原理和方法作了简单的介绍。; 关键词尺寸测量微纳米测量扫描隧道显微镜激光; 在线阅读下载PDF 职称材料

几何量微纳米级精密测量技术研究的若干新进展: 5; 作者叶孝佑高思田《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第z1期1-5,共5页; 介绍了几何量测量领域中微纳米精密测量技术和装置的研究新成果,涉及到一维微纳米级长度和尺寸测量、二维微纳米级坐标测量、三维微坐标测量以及三维微观表面测量.详细介绍了微纳米技术研究中所应用的关键技术的特点、目前的测量水平和... 展开更多; 关键词计量学一维微纳米长度和尺寸测量二维微纳米坐标测量三维微坐标测量三维微观表面测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于大尺寸工件的动态长度测量系统被引量：11: 6; 作者周森郭永彩高潮《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2472-2478,共7页; 针对移动大尺寸工件的表面形貌特点,利用二维激光三角法构造出水平和垂直虚拟测量基准面;结合多传感器融合准则,建立了一种新型的大尺寸工件测量模型,并利用该模型实现了移动工件两端端面到虚拟测量基准面的位移非接触测量。采用误差分... 展开更多; 关键词移动大尺寸工件二维激光三角法多传感器融合虚拟测量基准面长度测量系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

电沉积法制备用于一维纳米材料电子输运性质测量的基底被引量：1: 7; 作者刘进轩向娟 +1 位作者田中群毛秉伟《电化学》 CAS CSCD 2004年第1期20-26,共7页; 　应用电沉积方法制备两种低粗糙度、具有导电/绝缘交接结构的测量基底—Au/CuO和HOPG/CuO,并在带导电针尖的原子力显微测量(CT＿AFM)平台上建立了简便的一维纳米材料轴向电子输运性质测量方法.在大气室温条件下,对组装在两种基底上的... 展开更多; 关键词一维纳米材料轴向电子输运性质测量基底电沉积法制备碳纳米管金属性原子力显微测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

共平面二维高精度工作台误差修正与实验研究被引量：2: 8; 作者宫二敏黄强先余夫领《中国测试》北大核心 2014年第4期10-14,共5页; 该文通过采用误差分离与修正技术,对微纳米三坐标测量机x-y平面内存在的各项误差进行全面分析。利用高精密检测仪器和标准件,设计误差分离与修正方案,并对修正过的误差项补偿效果进行测试。然后通过实验测量标准量块平面度、长度等量值... 展开更多; 关键词微纳米三坐标测量机误差修正二维高精度工作台三维测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

多壁碳纳米管: 9; 《印染》北大核心 2011年第9期16-16,共1页; 碳纳米管是继C60之后发现的碳的又一同素异形体,其径向尺寸较小,管的外径一般在几纳米到几十纳米,管的内径更小,有的只有1nm左右;而其长度一般在微米级,长度和直径比非常大,可达103~106。因此,碳纳米管被认为是一种典型的一维纳米材料... 展开更多; 关键词多壁碳纳米管一维纳米材料同素异形体径向尺寸 C60 微米级直径比长度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量被引量：3: 1; 作者李源邹子英傅云霞傅星栗大超胡小唐; 机构上海市计量测试技术研究院天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2097-2100,共4页; 基金国家质检总局科技计划资助(D00RJ0704)“纳米测量机在半导体领域的应用”; 文摘针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,6.05μm,6.16μm,同时,在扫描实验中进程回程扫描差值的标准偏差为23.088nm。; 关键词微机电系统微触觉测头尺寸测量纳米测量机; Keywords MEMS micro tactile probe dimension measurement nanomeasuring machine; 分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微型零件三维几何尺寸测量系统被引量：2: 2; 作者徐毓娴李庆祥白立芬于水; 机构清华大学; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期319-321,326,共4页; 文摘介绍用于纳米技术中的微型零件三维几何尺寸测量系统的原理，测量中的关键技术，对该系统进行了实测，实验结果表明：ｘ，ｙ重复测量精度为±０．００５μｍ，ｚ方向测量精度为５ｎｍ。; 关键词三维几何尺寸微型零件测量系统测量精度光学系统显微物镜纳米技术摄象机自动调焦系统显微系统; 分类号 TH921 [机械工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于纳米长度测量的超微直线驱动原理和装置: 3; 作者曲兴华贾果欣陆伯印; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《电子测量与仪器学报》 CSCD 1998年第3期24-27,共4页; 文摘纳米级驱动装置是纳米测量技术的关键器件，目前广泛采用压电材料制作变形元件实现超微直线位移。本文介绍的装置是一个精密机械与电气控制系统的组合体。; 关键词压电转换纳米测量超微直线驱动长度测量; Keywords Piezoelectric materials Component of piezoelectric conversion Length measuring at a nanometer level Computer control; 分类号 TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微纳米尺寸测量技术: 4; 作者李成贵赵清亮董申; 机构哈尔滨工业大学精密工程研究所; 出处《实用测试技术》 1999年第1期15-17,37,共4页; 文摘随着精密和超精密加工技术的迅速发展，亚微米和纳米级的测量方法不断出现，本文对近年几种常见的微纳米计量技术的基本测量原理和方法作了简单的介绍。; 关键词尺寸测量微纳米测量扫描隧道显微镜激光; 分类号 TG806 [金属学及工艺—公差测量技术] TH741.8 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名几何量微纳米级精密测量技术研究的若干新进展: 5; 作者叶孝佑高思田; 机构中国计量科学研究院; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第z1期1-5,共5页; 文摘介绍了几何量测量领域中微纳米精密测量技术和装置的研究新成果,涉及到一维微纳米级长度和尺寸测量、二维微纳米级坐标测量、三维微坐标测量以及三维微观表面测量.详细介绍了微纳米技术研究中所应用的关键技术的特点、目前的测量水平和能力,提供了最新技术的应用实例.并根据目前微纳米技术的发展状况,从科研和产业两个角度讨论了新型几何量计量仪器的发展和研究趋势.; 关键词计量学一维微纳米长度和尺寸测量二维微纳米坐标测量三维微坐标测量三维微观表面测量; 分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于大尺寸工件的动态长度测量系统被引量：11: 6; 作者周森郭永彩高潮; 机构重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2472-2478,共7页; 基金教育部重点科研项目(No.1081741) 重庆市自然科学基金资助项目(No.CSTC.2008BB3169); 文摘针对移动大尺寸工件的表面形貌特点,利用二维激光三角法构造出水平和垂直虚拟测量基准面;结合多传感器融合准则,建立了一种新型的大尺寸工件测量模型,并利用该模型实现了移动工件两端端面到虚拟测量基准面的位移非接触测量。采用误差分离方法自修正理论误差和运动误差的影响;结合人机交互界面,研制了高精度、低成本的移动大尺寸工件长度自动检测系统。利用该系统对在(1 000±25)mm内以不同速度运动的圆柱体大尺寸工件长度进行检测,得到的检测分辨力为10μm、检测精度为100μm、工件移动速度为5cm/s。实际运行结果表明,该系统安全、稳定、快速,可满足工业在线生产中对同类型规则的大尺寸工件控制和检测的要求。; 关键词移动大尺寸工件二维激光三角法多传感器融合虚拟测量基准面长度测量系统; Keywords moving large scale workpiece 2-D laser triangulation method multi-sensor fusion virtualmeasurement datum length measurement system; 分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器] TN247 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电沉积法制备用于一维纳米材料电子输运性质测量的基底被引量：1: 7; 作者刘进轩向娟田中群毛秉伟; 机构固体表面物理化学国家重点实验室厦门大学化学系; 出处《电化学》 CAS CSCD 2004年第1期20-26,共7页; 基金国家自然科学基金项目 (2 0 0 2 1 0 0 2 2 0 0 1CB61 0 50 +1 种基金 2 0 0 2 3 0 56) 国家教育部博士点基金资助; 文摘　应用电沉积方法制备两种低粗糙度、具有导电/绝缘交接结构的测量基底—Au/CuO和HOPG/CuO,并在带导电针尖的原子力显微测量(CT＿AFM)平台上建立了简便的一维纳米材料轴向电子输运性质测量方法.在大气室温条件下,对组装在两种基底上的单束碳纳米管轴向电学性质进行了定性测量,结果表明,该碳纳米管呈现金属性.; 关键词一维纳米材料轴向电子输运性质测量基底电沉积法制备碳纳米管金属性原子力显微测量; Keywords One dimensional material, I-E characteristics curve, Conducting tip AFM, Carbon nanotube; 分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程] O635.1 [理学—高分子化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名共平面二维高精度工作台误差修正与实验研究被引量：2: 8; 作者宫二敏黄强先余夫领; 机构合肥工业大学仪器科学与光电工程学院; 出处《中国测试》北大核心 2014年第4期10-14,共5页; 基金国家863计划重点项目(2008AA042409); 文摘该文通过采用误差分离与修正技术,对微纳米三坐标测量机x-y平面内存在的各项误差进行全面分析。利用高精密检测仪器和标准件,设计误差分离与修正方案,并对修正过的误差项补偿效果进行测试。然后通过实验测量标准量块平面度、长度等量值,以检验修正后的微纳米三坐标测量机测量精度。实验结果显示,一等量块工作面的平面度测量重复性标准差达到9.5nm,x和y方向长度测量的标准差分别达到了10nm和19nm。理论分析和实验表明,所研制的二维高精度工作台可用于高精度的三维测量。; 关键词微纳米三坐标测量机误差修正二维高精度工作台三维测量; Keywords micro-nano CMM error correction 2D high precision stage 3D measurement; 分类号 TH721 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多壁碳纳米管: 9; 出处《印染》北大核心 2011年第9期16-16,共1页; 文摘碳纳米管是继C60之后发现的碳的又一同素异形体,其径向尺寸较小,管的外径一般在几纳米到几十纳米,管的内径更小,有的只有1nm左右;而其长度一般在微米级,长度和直径比非常大,可达103~106。因此,碳纳米管被认为是一种典型的一维纳米材料。碳纳米管自从被人类发现以来,; 关键词多壁碳纳米管一维纳米材料同素异形体径向尺寸 C60 微米级直径比长度; 分类号 TB383.1 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量	李源邹子英傅云霞傅星栗大超胡小唐	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	微型零件三维几何尺寸测量系统	徐毓娴李庆祥白立芬于水	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1996	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	用于纳米长度测量的超微直线驱动原理和装置	曲兴华贾果欣陆伯印	《电子测量与仪器学报》 CSCD	1998	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	微纳米尺寸测量技术	李成贵赵清亮董申	《实用测试技术》	1999	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	几何量微纳米级精密测量技术研究的若干新进展	叶孝佑高思田	《计量学报》 CSCD 北大核心	2006	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	用于大尺寸工件的动态长度测量系统	周森郭永彩高潮	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	11	在线阅读下载PDF 职称材料
7	电沉积法制备用于一维纳米材料电子输运性质测量的基底	刘进轩向娟田中群毛秉伟	《电化学》 CAS CSCD	2004	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	共平面二维高精度工作台误差修正与实验研究	宫二敏黄强先余夫领	《中国测试》北大核心	2014	2	在线阅读下载PDF 职称材料
9	多壁碳纳米管		《印染》北大核心	2011	0	在线阅读下载PDF 职称材料