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基于简易非本征法-珀腔的大量程纳米位移传感器
被引量：
1
1
作者
孙志强
邵志强
+3 位作者
毕佳宇
宫占江
王劲松
王烨
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第7期25-28,共4页
微纳坐标测量机(micro/nano CMMs)上的接触式扫描探针可以产生振动信号,实现微米范围内的三维测量。基于白光低相干干涉原理,提出了一种简单的非本征法布里-珀罗干涉(EFPI)结构,用于一维非接触式位移测量。其传感结构包括光纤端面和镀...
微纳坐标测量机(micro/nano CMMs)上的接触式扫描探针可以产生振动信号,实现微米范围内的三维测量。基于白光低相干干涉原理,提出了一种简单的非本征法布里-珀罗干涉(EFPI)结构,用于一维非接触式位移测量。其传感结构包括光纤端面和镀金反射镜,二者互相平行形成EFPI结构。传感器使用目标表面和光纤探针之间的光程差(OPD)来计算位移大小。该传感系统可测量64.52~970.55μm的长度范围,分辨率为1 nm。提出了用互相关函数(CCF)算法作为位移解调方法,为三坐标测量机实现高分辨率、大范围、快速扫描测量提供了一种新方法,为非接触式多维形貌测量传感器的开发开辟了新途径。
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关键词
非本征法布里-珀罗干涉
白光低相干
一维位移测量
互相关算法
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职称材料
题名
基于简易非本征法-珀腔的大量程纳米位移传感器
被引量：
1
1
作者
孙志强
邵志强
毕佳宇
宫占江
王劲松
王烨
机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
哈尔滨工程大学信息与通信工程学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第7期25-28,共4页
文摘
微纳坐标测量机(micro/nano CMMs)上的接触式扫描探针可以产生振动信号,实现微米范围内的三维测量。基于白光低相干干涉原理,提出了一种简单的非本征法布里-珀罗干涉(EFPI)结构,用于一维非接触式位移测量。其传感结构包括光纤端面和镀金反射镜,二者互相平行形成EFPI结构。传感器使用目标表面和光纤探针之间的光程差(OPD)来计算位移大小。该传感系统可测量64.52~970.55μm的长度范围,分辨率为1 nm。提出了用互相关函数(CCF)算法作为位移解调方法,为三坐标测量机实现高分辨率、大范围、快速扫描测量提供了一种新方法,为非接触式多维形貌测量传感器的开发开辟了新途径。
关键词
非本征法布里-珀罗干涉
白光低相干
一维位移测量
互相关算法
Keywords
extrinsic Fábry-Pérot interference
white light low coherence
one-dimensional displacement measurement
cross-correlation function(CCF)algorithm
分类号
TH822 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于简易非本征法-珀腔的大量程纳米位移传感器
孙志强
邵志强
毕佳宇
宫占江
王劲松
王烨
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022
1
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