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基于MOS的CO气体传感器研究进展
被引量：
2
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作者
马祥云
王素华
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第3期6-9,13,共5页
实现对一氧化碳(CO)气体的现场快速监测对公众的健康有重要意义。与传统CO检测方法相比,基于金属氧化物半导体(MOS)的气体传感器具有制作方法简单、操作方便、传感性能优越和可实时监测等优点,被广泛地应用于有毒有害气体的检测。本文...
实现对一氧化碳(CO)气体的现场快速监测对公众的健康有重要意义。与传统CO检测方法相比,基于金属氧化物半导体(MOS)的气体传感器具有制作方法简单、操作方便、传感性能优越和可实时监测等优点,被广泛地应用于有毒有害气体的检测。本文介绍了基于MOS材料的CO气体传感器件的传感机理及其研究现状,结合国内外的研究进展,综述了基于MOS的CO传感器传感性能的改善方法,并展望了MOS基CO气体传感器的发展方向。
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关键词
一氧化碳气体传感器
金属
氧化
物半导体
气敏性能
氧化
石墨烯
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职称材料
题名
基于MOS的CO气体传感器研究进展
被引量：
2
1
作者
马祥云
王素华
机构
华北电力大学环境科学与工程学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第3期6-9,13,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(21775042)
广东省石油化工污染过程与控制重点实验室开放基金资助项目(2018B030322017)。
文摘
实现对一氧化碳(CO)气体的现场快速监测对公众的健康有重要意义。与传统CO检测方法相比,基于金属氧化物半导体(MOS)的气体传感器具有制作方法简单、操作方便、传感性能优越和可实时监测等优点,被广泛地应用于有毒有害气体的检测。本文介绍了基于MOS材料的CO气体传感器件的传感机理及其研究现状,结合国内外的研究进展,综述了基于MOS的CO传感器传感性能的改善方法,并展望了MOS基CO气体传感器的发展方向。
关键词
一氧化碳气体传感器
金属
氧化
物半导体
气敏性能
氧化
石墨烯
Keywords
CO gas sensor
metaloxidesemiconductor(MOS)
gas sensitive performance
graphene oxide(GO)
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于MOS的CO气体传感器研究进展
马祥云
王素华
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024
2
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