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含氟酰基沉积物气化反应原料利用率提高工艺研究
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作者 贾延辉 冯申 张淑霞 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第S02期292-298,共7页
为提高旋转圆筒内含氟酰基沉积物气化反应中三氟化溴(BrF_(3))的利用率,本文设计了静态反应极限实验、工作条件优化实验以及多级回收复用工艺实验。静态反应极限实验证明BrF_(3)与沉积物之间可完全反应,且气化反应速率与BrF_(3)压强呈... 为提高旋转圆筒内含氟酰基沉积物气化反应中三氟化溴(BrF_(3))的利用率,本文设计了静态反应极限实验、工作条件优化实验以及多级回收复用工艺实验。静态反应极限实验证明BrF_(3)与沉积物之间可完全反应,且气化反应速率与BrF_(3)压强呈正比关系,沉积物与BrF_(3)之间化学反应动力学方程的反应级数大于1;改变旋转圆筒压强条件,增大了BrF_(3)滞留质量和圆筒温度,BrF_(3)一次利用率由3.75%提高至9.20%;采用多级回收复用工艺流程,BrF_(3)综合利用率提高至78.57%,大幅提升了气化技术的工业应用经济性。 展开更多
关键词 含氟酰基沉积物 气化反应 一次利用率 综合利用率
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