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纵向型双电离室ΔE-E探测器系统及其在ERD分析中的应用 被引量:3
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作者 符长波 路秀琴 +5 位作者 赵葵 梁刚 郭继宇 李淑媛 刘建成 姜华 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期116-119,共4页
设计加工了一套纵向型双电离室ΔE E(气体 固体 )探测器系统 ,由于采用了双电离室及电场均匀技术 ,得到较好的能量分辨率 :利用 5 0 3MeV的12 C在束测量 ,ΔE分辨率达 3 3% ,Er 分辨率达 1 5 %。利用该系统对新型半导体材料GaAs、新型... 设计加工了一套纵向型双电离室ΔE E(气体 固体 )探测器系统 ,由于采用了双电离室及电场均匀技术 ,得到较好的能量分辨率 :利用 5 0 3MeV的12 C在束测量 ,ΔE分辨率达 3 3% ,Er 分辨率达 1 5 %。利用该系统对新型半导体材料GaAs、新型光电材料GaN等进行ERD分析 ,得到了材料的元素深度分布谱 (分辨达 5 0nm) ;在该系统和Q3D磁谱仪配合测量中 。 展开更多
关键词 纵向型 双电离室 △e-e探测器 ERD分析
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弹性反冲探测技术在材料分析中的应用
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作者 路秀琴 符长波 +6 位作者 周平 郭继宇 赵葵 李淑媛 刘建成 倪嵋楠 隋丽 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2004年第z1期107-110,119,共5页
利用HI 13串列加速器提供的高品质的127I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析。用ΔE E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其深度分辨为20~30nm。用Q3D磁谱仪及其焦面探测器的高分辨动... 利用HI 13串列加速器提供的高品质的127I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析。用ΔE E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其深度分辨为20~30nm。用Q3D磁谱仪及其焦面探测器的高分辨动量分析,得到了纳米量级的深度分辨,此方法具有对纳米厚度的多层薄膜材料进行测试的能力。 展开更多
关键词 弹性反冲探测 △e-e望远镜探测器 深度分辨
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