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Ⅲ-Ⅴ族化合物超薄层外延生长新技术——原子层外延
1
作者
齐学参
《半导体情报》
1992年第2期1-10,共10页
本文概述了Ⅲ-Ⅴ族化合物原子层外延(ALE),重点介绍了脉冲喷射(PJ)-ALF、氯化物-ALE和增强迁移外延(MEE)。ALE生长层厚度对生长参数,如源气体分压、生长温度和生长时间都不敏感,主要取决于ALE周期数目,因此ALE又称“数字外延”。与传统...
本文概述了Ⅲ-Ⅴ族化合物原子层外延(ALE),重点介绍了脉冲喷射(PJ)-ALF、氯化物-ALE和增强迁移外延(MEE)。ALE生长层厚度对生长参数,如源气体分压、生长温度和生长时间都不敏感,主要取决于ALE周期数目,因此ALE又称“数字外延”。与传统的MBE和MOCVD相比,ALE具有生长层厚度更均匀、缺陷密度更低、选择外廷中无边缘生长以及侧壁外延可控制到单原子层等优点。文中还讨论了ALEⅢ-Ⅴ族化合物电学性能和应用。
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关键词
外延生长
ⅲ
-v
族
化合物
原子层外延
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职称材料
Ⅲ—V族化合物半导体材料禁带宽度的温度特性
2
作者
李光平
何秀坤
《电子与自动化仪表信息》
1989年第5期15-18,共4页
关键词
ⅲ
-v
族
化合物
半导体材料
温度特性
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职称材料
部分有序(Al_xGa_(1-x))_(0.51)In_(0.49)P(x=0.29)合金的发光衰退过程
3
作者
吕毅军
高玉琳
+3 位作者
郑健生
蔡志岗
桑海宇
曾学然
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期129-132,共4页
利用时间分辨光谱研究了 (AlxGa1-x) 0 51In0 4 9P合金的时间衰退过程 ,观察到载流子的转移过程和PL谱峰蓝移现象。这和变温发光谱中谱峰的Z 型依赖关系相吻合。这种现象明显表明了载流子的转移过程和子带的存在 ,证实了我们对超晶格...
利用时间分辨光谱研究了 (AlxGa1-x) 0 51In0 4 9P合金的时间衰退过程 ,观察到载流子的转移过程和PL谱峰蓝移现象。这和变温发光谱中谱峰的Z 型依赖关系相吻合。这种现象明显表明了载流子的转移过程和子带的存在 ,证实了我们对超晶格带折叠效应的猜测。子带是由于有序结构的超晶格效应使导带的L带折叠到Γ带 ,载流子在时间衰退过程中从Γ带转移到L带。
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关键词
ⅲ-v化合物
有序结构
光致发光
四元合金
半导体材料
发光谱
(AlxGa1-x)0.51In0.49P(x=0.29)
发光衰退过程
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职称材料
InSb纳米结构材料与器件进展与展望
4
作者
郝秋来
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第10期1069-1074,共6页
锑化铟(indium antimonide,熔点~525℃)是一种窄禁带半导体。由于其高的电子迁移率、小的有效质量及在极性III-V族材料中有最大的g因子,因而在高速器件、磁阻器件等方面具有潜在的电子学应用价值,而且已被广泛用于磁敏器件、红外探...
锑化铟(indium antimonide,熔点~525℃)是一种窄禁带半导体。由于其高的电子迁移率、小的有效质量及在极性III-V族材料中有最大的g因子,因而在高速器件、磁阻器件等方面具有潜在的电子学应用价值,而且已被广泛用于磁敏器件、红外探测器等。由于具有较大的波尔半径(60 nm),使得InSb纳米结构成为具有吸引力的进行量子效应研究的半导体。因为这些特性,已有一些关于InSb纳米结构生长的报道。本文描述了近期InSb纳米结构生长的情况。透射电子显微镜等形貌像显示纳米结构为纳米晶体或纳米线,器件制备和性能测试显示其下一步的应用能力。
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关键词
锑化铟
ⅲ
-v
族
化合物
纳米材料
纳米器件
量子束缚
禁带宽度
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职称材料
题名
Ⅲ-Ⅴ族化合物超薄层外延生长新技术——原子层外延
1
作者
齐学参
机构
机电部第
出处
《半导体情报》
1992年第2期1-10,共10页
文摘
本文概述了Ⅲ-Ⅴ族化合物原子层外延(ALE),重点介绍了脉冲喷射(PJ)-ALF、氯化物-ALE和增强迁移外延(MEE)。ALE生长层厚度对生长参数,如源气体分压、生长温度和生长时间都不敏感,主要取决于ALE周期数目,因此ALE又称“数字外延”。与传统的MBE和MOCVD相比,ALE具有生长层厚度更均匀、缺陷密度更低、选择外廷中无边缘生长以及侧壁外延可控制到单原子层等优点。文中还讨论了ALEⅢ-Ⅴ族化合物电学性能和应用。
关键词
外延生长
ⅲ
-v
族
化合物
原子层外延
Keywords
Epitaxy growth
ⅲ
-Ⅴ compound semiconductor
Selective epitaxy
分类号
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
Ⅲ—V族化合物半导体材料禁带宽度的温度特性
2
作者
李光平
何秀坤
出处
《电子与自动化仪表信息》
1989年第5期15-18,共4页
关键词
ⅲ
-v
族
化合物
半导体材料
温度特性
分类号
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
部分有序(Al_xGa_(1-x))_(0.51)In_(0.49)P(x=0.29)合金的发光衰退过程
3
作者
吕毅军
高玉琳
郑健生
蔡志岗
桑海宇
曾学然
机构
厦门大学物理系
中山大学超快速激光光谱学国家重点实验室
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期129-132,共4页
基金
福建省自然科学基资助项目 (A0 110 0 0 7
A9910 0 0 4)
文摘
利用时间分辨光谱研究了 (AlxGa1-x) 0 51In0 4 9P合金的时间衰退过程 ,观察到载流子的转移过程和PL谱峰蓝移现象。这和变温发光谱中谱峰的Z 型依赖关系相吻合。这种现象明显表明了载流子的转移过程和子带的存在 ,证实了我们对超晶格带折叠效应的猜测。子带是由于有序结构的超晶格效应使导带的L带折叠到Γ带 ,载流子在时间衰退过程中从Γ带转移到L带。
关键词
ⅲ-v化合物
有序结构
光致发光
四元合金
半导体材料
发光谱
(AlxGa1-x)0.51In0.49P(x=0.29)
发光衰退过程
Keywords
semiconductor
ordered structure
photoluminescence
分类号
O472.3 [理学—半导体物理]
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
InSb纳米结构材料与器件进展与展望
4
作者
郝秋来
机构
华北光电技术研究所
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第10期1069-1074,共6页
基金
中国国家留学基金委员会资助
文摘
锑化铟(indium antimonide,熔点~525℃)是一种窄禁带半导体。由于其高的电子迁移率、小的有效质量及在极性III-V族材料中有最大的g因子,因而在高速器件、磁阻器件等方面具有潜在的电子学应用价值,而且已被广泛用于磁敏器件、红外探测器等。由于具有较大的波尔半径(60 nm),使得InSb纳米结构成为具有吸引力的进行量子效应研究的半导体。因为这些特性,已有一些关于InSb纳米结构生长的报道。本文描述了近期InSb纳米结构生长的情况。透射电子显微镜等形貌像显示纳米结构为纳米晶体或纳米线,器件制备和性能测试显示其下一步的应用能力。
关键词
锑化铟
ⅲ
-v
族
化合物
纳米材料
纳米器件
量子束缚
禁带宽度
Keywords
InSb
III
-v
group compound
nanomaterials
nanodevice
quantum confine
bandgap
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ⅲ-Ⅴ族化合物超薄层外延生长新技术——原子层外延
齐学参
《半导体情报》
1992
0
在线阅读
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职称材料
2
Ⅲ—V族化合物半导体材料禁带宽度的温度特性
李光平
何秀坤
《电子与自动化仪表信息》
1989
0
在线阅读
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职称材料
3
部分有序(Al_xGa_(1-x))_(0.51)In_(0.49)P(x=0.29)合金的发光衰退过程
吕毅军
高玉琳
郑健生
蔡志岗
桑海宇
曾学然
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
InSb纳米结构材料与器件进展与展望
郝秋来
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
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职称材料
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