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高AI组分Ⅲ族氮化物结构材料及其在深紫外LED应用的进展 被引量:11
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作者 陈航洋 刘达艺 +8 位作者 李金钗 林伟 杨伟煌 庄芹芹 张彬彬 杨闻操 蔡端俊 李书平 康俊勇 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2013年第2期43-56,共14页
随着高Ga组分Ⅲ族氮化物相关研究的日趋深入和生长技术的日益成熟,人们逐渐将研究重心转向具有更宽带隙的高Al组分Ⅲ族氮化物。该材料常温下带隙宽至6.2 eV,可覆盖短至210 nm的深紫外波长范围,具有耐高温、抗辐射、波长易调控等独特优点... 随着高Ga组分Ⅲ族氮化物相关研究的日趋深入和生长技术的日益成熟,人们逐渐将研究重心转向具有更宽带隙的高Al组分Ⅲ族氮化物。该材料常温下带隙宽至6.2 eV,可覆盖短至210 nm的深紫外波长范围,具有耐高温、抗辐射、波长易调控等独特优点,因而是制备紫外发光器件的理想材料。目前,高Al组分Ⅲ族氮化物材料质量不高,所制备的深紫外LED发光器件仍存在内量子效率、载流子注入效率和沿c轴方向正面出光效率较低的难题,因而制约了高效紫外发光器件的制备。本文着重介绍了近年来在高Al组分Ⅲ族氮化物生长动力学方面的研究进展,总结和梳理了量子结构设计、内电场调控以及晶体场调控等方面的相关研究,以期实现高质量深紫外LED的制备。 展开更多
关键词 ⅲ族氮化物 ALGAN ALN MOVPE 紫外LED
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Ⅲ族氮化物异质结构二维电子气研究进展 被引量:10
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作者 孔月婵 郑有炓 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2006年第2期127-145,共19页
本文总结了近年来Ⅲ族氮化物半导体异质结构二维电子气的研究进展。从Ⅲ族氮化物材料晶格结构和特有的极化性质出发,重点讨论了AlGaN/GaN异质结构中二维电子气的性质,总结分析了异质结构中Al组分、势垒层厚度、应变弛豫度、掺杂等对二... 本文总结了近年来Ⅲ族氮化物半导体异质结构二维电子气的研究进展。从Ⅲ族氮化物材料晶格结构和特有的极化性质出发,重点讨论了AlGaN/GaN异质结构中二维电子气的性质,总结分析了异质结构中Al组分、势垒层厚度、应变弛豫度、掺杂等对二维电子气浓度和迁移率的影响,同时还涉及AlGaN/GaN/AlGaN,AlGaN/AlN/GaN和AlGaN/InGaN/GaN等异质结构二维电子气性质。 展开更多
关键词 ⅲ族氮化物异质结构 二维电子气 综述 自发极化 压电极化 迁移率
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在金属衬底上外延生长Ⅲ族氮化物及相关器件 被引量:3
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作者 王文樑 李国强 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期863-868,共6页
通过分析对比蓝宝石衬底和金属衬底上外延生长Ⅲ族氮化物及相关器件的优缺点,指出了金属所具有的独特优异的物理及化学性能,以及金属作为衬底外延生长Ⅲ族氮化物及相关器件的重大意义。详细介绍了国内外在金属衬底上外延生长Ⅲ族氮化物... 通过分析对比蓝宝石衬底和金属衬底上外延生长Ⅲ族氮化物及相关器件的优缺点,指出了金属所具有的独特优异的物理及化学性能,以及金属作为衬底外延生长Ⅲ族氮化物及相关器件的重大意义。详细介绍了国内外在金属衬底上外延生长Ⅲ族氮化物及相关器件的研究状况及所发展的相关外延技术。相比金属有机物气相沉积技术和分子束外延技术,脉冲激光沉积技术可以实现Ⅲ族氮化物的低温外延生长,从而克服金属有机物气相沉积技术和分子束外延技术采用的高温生长而导致金属衬底与外延薄膜间发生的剧烈界面反应,可以直接在金属衬底上外延生长Ⅲ族氮化物及相关器件。脉冲激光沉积技术为在金属衬底上外延生长Ⅲ族氮化物及相关器件开拓了广阔的前景。 展开更多
关键词 ⅲ族氮化物及相关器件 金属衬底 脉冲激光沉积技术 外延生长 界面反应
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新型Ⅲ族氮化物日盲紫外变像管的研制及导弹逼近告警系统作用距离估算 被引量:2
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作者 任彬 江兆潭 +7 位作者 郭晖 石峰 程宏昌 拜晓锋 申志辉 杨晓波 周跃 崔穆涵 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期924-931,共8页
围绕Ⅲ族氮化物半导体在紫外战术导弹逼近告警系统中的潜在应用前景,设计出一种基于新型Ⅲ族氮化物半导体光电阴极的紫外变像管,确定了影响光电阴极光电发射性能的Al摩尔组分、膜层厚度和P型掺杂水平。利用高分辨率X射线衍射仪和紫外分... 围绕Ⅲ族氮化物半导体在紫外战术导弹逼近告警系统中的潜在应用前景,设计出一种基于新型Ⅲ族氮化物半导体光电阴极的紫外变像管,确定了影响光电阴极光电发射性能的Al摩尔组分、膜层厚度和P型掺杂水平。利用高分辨率X射线衍射仪和紫外分光光度计,对光电阴极结构和光学日盲特性进行仿真分析和测试。紫外变像管的光谱辐射灵敏度测试结果显示:探测器像管的辐射灵敏度在220~270 nm波段范围内波动较小,在波长266 nm处的辐射灵敏度为39.7 m A/W,光谱响应从波长270 nm之后开始急剧下降,表明其本征具有良好的日盲紫外属性。基于变像管的光谱辐射灵敏度测试结果及信噪比的作用距离模型,采用MODTRAN大气模拟软件包对以此变像管为核心探测器件的导弹逼近告警系统作用距离进行迭代求解。计算结果显示:导弹逼近告警系统的作用距离可达到7.1 km. 展开更多
关键词 兵器科学与技术 导弹逼近告警 紫外变像管 光电对抗 ⅲ族氮化物 作用距离
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Ⅲ族氮化物半导体材料的制备及应用研究进展 被引量:4
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作者 杨帆 王美琪 关卫省 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第7期1203-1207,共5页
随着第二代半导体的逐渐落后,Ⅲ族氮化物半导体作为具有优良性质的最新一代的半导体材料,已经登上历史的舞台。综述重点归纳了以BN、AlN、GaN、InN为代表的Ⅲ族氮化物纳米材料的典型制备方法、目前的应用现状,并对存在的问题加以总结。
关键词 ⅲ族氮化物 半导体纳米材料 制备方法 应用
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基于Ⅲ族氮化物的Micro⁃LED挑战及潜在解决方案 被引量:2
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作者 Waqar AZEEM 刘召军 伏桂月 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期892-909,共18页
Micro-LED的发展被认为是世界上发展最快的显示技术之一,它在可见光通信应用、大型平板显示、虚拟现实及可穿戴显示、电视和照明、光遗传学和神经界面的光源等各个领域中应用广泛。尽管发展前景光明,但Micro-LED仍面临一些技术问题需要... Micro-LED的发展被认为是世界上发展最快的显示技术之一,它在可见光通信应用、大型平板显示、虚拟现实及可穿戴显示、电视和照明、光遗传学和神经界面的光源等各个领域中应用广泛。尽管发展前景光明,但Micro-LED仍面临一些技术问题需要解决,以实现大规模商业化。主要技术问题包括提高长波长LED效率、提高低电流密度下的效率、全色彩方案、巨量转移、缺陷与良率管控、修复技术和成本控制。本文重点阐述了Micro-LED面临的不同挑战及其最佳解决方案。 展开更多
关键词 Micro-LED 显示技术 LED效率 巨量转移 ⅲ族氮化物
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Ⅲ族氮化物光电阴极原位程序升温脱附(英文)
7
作者 成伟 石峰 +2 位作者 杨书宁 周玉鉴 任彬 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第10期211-217,共7页
建立了理论热脱附和原位程序升温脱附方法研究Ⅲ族氮化物光电阴极部件的热除气过程。基于Malev吸附-扩散除气理论搭建了光电阴极的平板模型,利用Fick第一和第二定理计算得到了除气过程中样品吸附气体浓度、瞬时除气速率以及总的气体脱... 建立了理论热脱附和原位程序升温脱附方法研究Ⅲ族氮化物光电阴极部件的热除气过程。基于Malev吸附-扩散除气理论搭建了光电阴极的平板模型,利用Fick第一和第二定理计算得到了除气过程中样品吸附气体浓度、瞬时除气速率以及总的气体脱附量随时间变化的表达式。为便于直观研究,通过截取四阶近似给出不同扩散系数量级下的以上参量随时间的变化曲线。在Ⅲ族氮化物光电阴极TPD动态法实验中,研究并分析了光电阴极部件在不同恒温除气阶段的残余气体谱图,由此得出进入真空中的脱附气体种类。采用最小二乘法拟合得到:恒温1 000 K的条件下,N2的扩散系数为5×10-5cm2/s。通过理论分析结合TPD实验,Ⅲ族氮化物光电阴极部件热清洗的有效去除污染加热温度得到了有效的评估和验证。 展开更多
关键词 ⅲ族氮化物光电阴极部件 程序升温脱附 残余气体谱
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用大面积立式旋转盘MOVPE反应器生长Ⅲ族氮化物材料(英文)
8
作者 Ramer J Parekh R +2 位作者 Ronan B Loftus C Gurary A 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z1期95-98,共4页
为了降低Ⅲ族氮化物材料和器件的成本 ,必须开发大尺寸的Ⅲ族氮化物MOVPE生长的反应器。本文报道了EMCORE公司的一种带有旋转盘的立式反应器 ,其中的衬底片载盘直径为 32 5mm。每次沉积过程中 ,载盘上可以放置 2 1片 2英寸直径的衬底片... 为了降低Ⅲ族氮化物材料和器件的成本 ,必须开发大尺寸的Ⅲ族氮化物MOVPE生长的反应器。本文报道了EMCORE公司的一种带有旋转盘的立式反应器 ,其中的衬底片载盘直径为 32 5mm。每次沉积过程中 ,载盘上可以放置 2 1片 2英寸直径的衬底片。反应器的内壁通过水冷 ,其温度可保持在 5 0~ 6 0℃之间。衬底片可用电热丝加热 ,沉积中衬底载盘的旋转速度可达 1 0 0 0~ 1 5 0 0rpm。本文给出了用这种 32 5mmGaN生长系统生长的未掺杂GaN ,InGaN和 p GaN外延层的相关结果。这些结果表明 ,这种旋转盘的反应器是一种很适合大尺寸载盘的系统 ,完全满足Ⅲ族氮化物材料体系生长的要求。与在小反应器中生长的材料相比 ,用这种大反应器生长的材料具有相同的质量。这种 32 5mm的GaN反应器将使制备蓝光和绿光LED所用的Ⅲ族氮化外延材料的生产成本得到显著的降低。 展开更多
关键词 ⅲ族氮化物材料 MOVPE外延生长 立式旋转盘反应器
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用于Ⅲ族氮化物生长的紧配合喷淋头反应器(英文)
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作者 ThrushE J Kappers M +5 位作者 Considine L Mullins J T Saywell V BenthamF C Sharma N Humphreys C J 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第S1期103-106,共4页
在紫外和可见光电子器件、高温电子学器件、冷阴极和太阳防护探测器的应用中 ,Ⅲ族氮化物是一类重要的材料。近年来 ,氮化物基的LED的制备成功 ,具有提供白光照明代替白炽灯和荧光灯的潜在能力。人们对用MOCVD方法生长GaN基材料的兴趣... 在紫外和可见光电子器件、高温电子学器件、冷阴极和太阳防护探测器的应用中 ,Ⅲ族氮化物是一类重要的材料。近年来 ,氮化物基的LED的制备成功 ,具有提供白光照明代替白炽灯和荧光灯的潜在能力。人们对用MOCVD方法生长GaN基材料的兴趣日益高涨 ,特别是对多片、均匀生长的大尺寸反应器的要求日益迫切。本文概述了紧配合喷淋头反应器的设计思想和其特性。结合Ⅲ族氮化物生长对设备的相关要求 ,给出了这种设备运行的一些结果。这些结果表明 ,这种紧配合喷淋头反应器很适合在研究和产品生产中的GaN基材料结构的生长。 展开更多
关键词 MOCVD 密配合喷淋头反应器 ⅲ族氮化物生长
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用大面积立式旋转盘MOVPE反应器生长Ⅲ族氮化物材料(英文)
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作者 Ramer J Parekh R +2 位作者 Ronan B Loftus C Gurary A 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第S1期95-98,共4页
为了降低Ⅲ族氮化物材料和器件的成本 ,必须开发大尺寸的Ⅲ族氮化物MOVPE生长的反应器。本文报道了EMCORE公司的一种带有旋转盘的立式反应器 ,其中的衬底片载盘直径为 32 5mm。每次沉积过程中 ,载盘上可以放置 2 1片 2英寸直径的衬底片... 为了降低Ⅲ族氮化物材料和器件的成本 ,必须开发大尺寸的Ⅲ族氮化物MOVPE生长的反应器。本文报道了EMCORE公司的一种带有旋转盘的立式反应器 ,其中的衬底片载盘直径为 32 5mm。每次沉积过程中 ,载盘上可以放置 2 1片 2英寸直径的衬底片。反应器的内壁通过水冷 ,其温度可保持在 5 0~ 6 0℃之间。衬底片可用电热丝加热 ,沉积中衬底载盘的旋转速度可达 1 0 0 0~ 1 5 0 0rpm。本文给出了用这种 32 5mmGaN生长系统生长的未掺杂GaN ,InGaN和 p GaN外延层的相关结果。这些结果表明 ,这种旋转盘的反应器是一种很适合大尺寸载盘的系统 ,完全满足Ⅲ族氮化物材料体系生长的要求。与在小反应器中生长的材料相比 ,用这种大反应器生长的材料具有相同的质量。这种 32 5mm的GaN反应器将使制备蓝光和绿光LED所用的Ⅲ族氮化外延材料的生产成本得到显著的降低。 展开更多
关键词 ⅲ族氮化物材料 MOVPE外延生长 立式旋转盘反应器
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Al_(x)Ga_(1-x)N氮化物结构和热力学性质的第一性原理研究 被引量:1
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作者 李鹏涛 王鑫 +1 位作者 罗贤 陈建新 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第12期2212-2218,共7页
为了掌握Ⅲ族氮化物微观结构对热力学性能的影响规律,进而为超高功率器件的设计提供数据支持,本文借助第一性原理计算软件CASTEP,对半导体Al_(x)Ga_(1-x)N不同合金结构及其热性能进行了系统研究。结构优化和数据分析后发现,Al_(x)Ga_(1-... 为了掌握Ⅲ族氮化物微观结构对热力学性能的影响规律,进而为超高功率器件的设计提供数据支持,本文借助第一性原理计算软件CASTEP,对半导体Al_(x)Ga_(1-x)N不同合金结构及其热性能进行了系统研究。结构优化和数据分析后发现,Al_(x)Ga_(1-x)N的晶格常数、平均键长和晶格热容值随Al组分值x(原子数分数)增大而线性减小。热力学性质计算结果表明,在GaN中引入Al组分会在频率带隙中引入杂质模,随着Al组分浓度的增加杂质模变宽并进入低频段,在低频段顶部频率随Al组分增大而线性升高,在12.5%以上低频段顶部频率均大于(1/2)A1(LO)。温度从300 K到700 K变化时,合金热容随温度变化关系结果证明,在确定温度时,Al_(x)Ga_(1-x)N合金热容随Al组分增大而线性减小。本文的研究为以Al_(x)Ga_(1-x)N为代表的Ⅲ族氮化物半导体高功率器件设计提供了一定的设计参考。 展开更多
关键词 ⅲ族氮化物 高功率器件 色散关系 热力学性质 第一性原理 密度泛函理论 Al_(x)Ga_(1-x)N
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Ethanol-assisted direct synthesis of wafer-scale nitrogen-doped graphene for III-nitride epitaxial growth
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作者 WEI Wen-ze GAO Xiang +4 位作者 YU Chao-jie SUN Xiao-li WEI Tong-bo JIA Li SUN Jing-yu 《新型炭材料(中英文)》 北大核心 2025年第3期678-687,共10页
Among the synthesis techniques for graphene,chemical vapor deposition(CVD)enables the direct growth of graphene films on insulating substrates.Its advantages include uniform coverage,high quality,scalability,and compa... Among the synthesis techniques for graphene,chemical vapor deposition(CVD)enables the direct growth of graphene films on insulating substrates.Its advantages include uniform coverage,high quality,scalability,and compatibility with industrial processes.Graphene is chemically inert and has a zero-bandgap which poses a problem for its use as a functional layer,and nitrogen doping has become an important way to overcome this.Post-plasma treatment has been explored for the synthesis of nitrogen-doped graphene,but the procedures are intricate and not suitable for large-scale production.We report the direct synthesis of nitrogen-doped graphene on a 4-inch sapphire wafer by ethanol-assisted CVD employing pyridine as the carbon feedstock,where the nitrogen comes from the pyridine and the hydroxyl group in ethanol improves the quality of the graphene produced.Additionally,the types of nitrogen dopant produced and their effects on III-nitride epitaxy were also investigated,resulting in the successful illumination of LED devices.This work presents an effective synthesis strategy for the preparation of nitrogen-doped graphene,and provides a foundation for designing graphene functional layers in optoelectronic devices. 展开更多
关键词 III-nitride epitaxy Direct synthesis Ethanol-assisted CVD LED devices Nitrogen-doped graphene
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Close Coupled Showerhead Reactors for the Growth of Group Ⅲ Nitrides
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作者 Thrush E J Kappers M +5 位作者 Considine L Mullins J T Saywell V Bentham F C Sharma N Humphreys C J 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z1期103-106,共4页
The group Ⅲ nitrides are an important class of materials with aplications in UV and visible optoelectronics,high temperature electronics,cold cathodes and solar blind detectors.In recent years,with the realisation of... The group Ⅲ nitrides are an important class of materials with aplications in UV and visible optoelectronics,high temperature electronics,cold cathodes and solar blind detectors.In recent years,with the realisation of nitride based LEDs,the use of GaN IED has the potential to compete with 1raditional filament and discharge lamps,for the provision of white lighting,and there has been an explosion of interest in the MOCVD growth of GaN based materials with an increasing focus on large area multiwafer reactors and wafer uniforrmity.This paper will review the design philosophy and characteristics of close-coupled showerhead reactors,relating these to the requirements of group Ⅲ-nitride growth,and will present a selection of data resulting from the operation of such equipment.These results suggest that the close coupled showerhead style of reactor is very suitable for the growth of GaN based structures in both research and production environments. 展开更多
关键词 MOCVD close coupled showerhead reactor growth of groupnitrides
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微纳级GaN基VCSEL中周期反射结构与电子阻挡层的设置作用分析
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作者 祝震宇 贾志刚 +1 位作者 董海亮 许并社 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第8期1337-1343,共7页
氮化镓(GaN)基微纳米结构生长技术的成熟为微纳级GaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)的制备提供了新的途径。本文设计了基于GaN基轴向异质结微纳米柱的微纳级VCSEL结构,采用Al_(0.8)Ga_(0.2)N/In_(0.2)Ga_(0.8)N应变补偿结构作为上下分布... 氮化镓(GaN)基微纳米结构生长技术的成熟为微纳级GaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)的制备提供了新的途径。本文设计了基于GaN基轴向异质结微纳米柱的微纳级VCSEL结构,采用Al_(0.8)Ga_(0.2)N/In_(0.2)Ga_(0.8)N应变补偿结构作为上下分布式布拉格反射镜(DBR),其中Al_(0.8)Ga_(0.2)N层的Al组分远高于传统结构中的电子阻挡层(EBL),能够更好地起到电子阻挡的作用。本文使用商用软件PICS3D构建了电子阻挡层处于不同位置的VCSEL数理模型,并进行数值模拟计算,探索和分析物理机理,解释了不同位置EBL对空穴注入效率的影响。结果表明,采用Al_(0.8)Ga_(0.2)N与In_(0.2)Ga_(0.8)N组成的应变补偿DBR可以更好地提高空穴注入效率,优化器件光电性能。 展开更多
关键词 ⅲ族氮化物 垂直腔面发射激光器 空穴注入效率 微纳米结构 应变补偿DBR 电子阻挡层
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高灵敏度宽禁带半导体紫外探测器 被引量:4
15
作者 陆海 陈敦军 +1 位作者 张荣 郑有炓 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期294-301,共8页
以碳化硅(SiC)和Ⅲ族氮化物为代表的宽禁带半导体是近年来国内外重点研究和发展的新型第三代半导体材料,具有禁带宽度大、导热性能好、电子饱和漂移速度高以及化学稳定性优等特点,用于工作于紫外波段的光探测器件具有显著的材料性能优势... 以碳化硅(SiC)和Ⅲ族氮化物为代表的宽禁带半导体是近年来国内外重点研究和发展的新型第三代半导体材料,具有禁带宽度大、导热性能好、电子饱和漂移速度高以及化学稳定性优等特点,用于工作于紫外波段的光探测器件具有显著的材料性能优势.宽禁带半导体紫外探测器的主要应用包括:国防预警、环境监测、化工和生化反应的光谱分析和过程检测、以及天文研究等.本文主要回顾近年来南京大学在此方面开展的一些代表工作,所涉及到的典型器件有:具有极低暗电流的AlGaN基日盲MSM紫外探测器、高量子效率AlGaN基日盲雪崩光电探测器、以及SiC基可见光盲紫外单光子探测器. 展开更多
关键词 宽禁带 ⅲ族氮化物 碳化硅 紫外探测器
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紫外-红外双色集成探测器的发展与现状 被引量:3
16
作者 李淑萍 何涛 +4 位作者 付凯 于国浩 张晓东 熊敏 张宝顺 《红外技术》 CSCD 北大核心 2018年第11期1033-1041,共9页
随着军事和民用对高集成度、多色化光电探测的不断需求,在近几十年内,紫外-红外(UV-IR)双色集成探测器从无到有,从彼此独立的紫外和红外探测器的简单集成发展到如今量子阱结构、键合结构等新型集成技术,但不同的光敏材料或系统带来较大... 随着军事和民用对高集成度、多色化光电探测的不断需求,在近几十年内,紫外-红外(UV-IR)双色集成探测器从无到有,从彼此独立的紫外和红外探测器的简单集成发展到如今量子阱结构、键合结构等新型集成技术,但不同的光敏材料或系统带来较大的晶格失配问题仍然限制了其发展与应用。本文阐述了紫外-红外双色集成探测技术在发展过程中的主要问题,并以时间和紫外探测技术为线索简述了紫外-红外双色集成探测器的发展历史及研究现状。 展开更多
关键词 双色探测器 紫外-红外 氧化物 ⅲ族氮化物
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GaN光学微盘的显微荧光图像探讨
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作者 王国忠 章蓓 +2 位作者 钱怡 张国义 胡晓东 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期47-49,共3页
研制了不同厚度的直径为5~15μm的GaN光学微盘,并对光学微盘的显微荧光图像进行了细致的实验观测和数值采集.结果表明,在同一个GaN外延样品上由于厚度的差别,微盘呈现两种不同类型的荧光图像。
关键词 ⅲ族氮化物半导体 光学微腔 光学微盘 回音壁模式(WGM) 面发射模式
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