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Ⅰ型倍增层对异质SAM结构InSb-APD红外探测器性能的影响
1
作者
方小坤
叶伟
+2 位作者
权贝贝
朱朝阳
萧生
《应用光学》
CAS
北大核心
2024年第3期659-664,共6页
红外探测器的光电特性会受到内部结构倍增层参数的影响,为了能够改善器件的雪崩效应,借助仿真软件Silvaco-TCAD,详细探讨了Ⅰ型倍增层的残余掺杂浓度和厚度对异质SAM结构InSb-APD红外探测器性能的影响。研究结果表明,随着Ⅰ型倍增层掺...
红外探测器的光电特性会受到内部结构倍增层参数的影响,为了能够改善器件的雪崩效应,借助仿真软件Silvaco-TCAD,详细探讨了Ⅰ型倍增层的残余掺杂浓度和厚度对异质SAM结构InSb-APD红外探测器性能的影响。研究结果表明,随着Ⅰ型倍增层掺杂浓度的增加,其倍增层内的电场强度峰值增加,同时光响应度略微增加;随着Ⅰ型倍增层厚度的增加,其倍增层的光响应度与暗电流密度升高,同时电场强度峰值减少。进一步研究表明,当Ⅰ型倍增层残余掺杂浓度和厚度分别为1×10^(15)cm^(−3)和3μm时,有利于雪崩过程。
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关键词
ⅰ型倍增层
INSB
掺杂浓度
SAM结构
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职称材料
题名
Ⅰ型倍增层对异质SAM结构InSb-APD红外探测器性能的影响
1
作者
方小坤
叶伟
权贝贝
朱朝阳
萧生
机构
扬州市职业大学电子工程学院
陕西理工大学机械工程学院
西北工业集团有限公司
出处
《应用光学》
CAS
北大核心
2024年第3期659-664,共6页
基金
陕西省教育厅重点实验室项目(16JS016)
陕西省教育厅专项科研计划(18JK0151)
+2 种基金
陕西省“十四五”教育科学规划2022年度课题:产教融合下的项目式教学课程思政教学研究与实践(SGH22Y1351)
陕西理工大学科研项目(202060250)
自然科学基金面上项目(YZ2016124)。
文摘
红外探测器的光电特性会受到内部结构倍增层参数的影响,为了能够改善器件的雪崩效应,借助仿真软件Silvaco-TCAD,详细探讨了Ⅰ型倍增层的残余掺杂浓度和厚度对异质SAM结构InSb-APD红外探测器性能的影响。研究结果表明,随着Ⅰ型倍增层掺杂浓度的增加,其倍增层内的电场强度峰值增加,同时光响应度略微增加;随着Ⅰ型倍增层厚度的增加,其倍增层的光响应度与暗电流密度升高,同时电场强度峰值减少。进一步研究表明,当Ⅰ型倍增层残余掺杂浓度和厚度分别为1×10^(15)cm^(−3)和3μm时,有利于雪崩过程。
关键词
ⅰ型倍增层
INSB
掺杂浓度
SAM结构
Keywords
type I multiplier layer
InSb
doping concentration
SAM structure
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ⅰ型倍增层对异质SAM结构InSb-APD红外探测器性能的影响
方小坤
叶伟
权贝贝
朱朝阳
萧生
《应用光学》
CAS
北大核心
2024
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