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基于CNTs/PDMS介电层的柔性压力传感特性研究
被引量：
8
1
作者
赵学峰
崔建利
+2 位作者
高飞
张志东
闫树斌
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第7期996-1000,共5页
提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法。采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS软光刻工艺在PDMS柔性基底上制备了具有"V"型阵列微结构的Ag薄膜平行板电极,基于碳纳米管(CNT...
提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法。采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS软光刻工艺在PDMS柔性基底上制备了具有"V"型阵列微结构的Ag薄膜平行板电极,基于碳纳米管(CNTs)/PDMS聚合物的压电容特性,制备出电容式柔性压力传感器。针对不同尺寸的压力传感器进行对比测试,本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到3.98%k Pa-1,具有良好的重复性,在智能穿戴和电子皮肤等方面有着广阔的应用前景。
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关键词
柔性压力传感器
“v”型平行板电极
MEMS
PDMS
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职称材料
题名
基于CNTs/PDMS介电层的柔性压力传感特性研究
被引量：
8
1
作者
赵学峰
崔建利
高飞
张志东
闫树斌
机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
陆军西安军事代表局驻咸阳地区军事代表室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第7期996-1000,共5页
基金
国家自然科学基金项目(61675185)
国家杰出青年科学基金项目(61525107)
+1 种基金
山西省自然科学基金项目(201601D011008)
河北省航天遥感信息处理与应用协同创新中心开放课题基金项目(67-Y20A07-9002-16/17)
文摘
提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法。采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS软光刻工艺在PDMS柔性基底上制备了具有"V"型阵列微结构的Ag薄膜平行板电极,基于碳纳米管(CNTs)/PDMS聚合物的压电容特性,制备出电容式柔性压力传感器。针对不同尺寸的压力传感器进行对比测试,本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到3.98%k Pa-1,具有良好的重复性,在智能穿戴和电子皮肤等方面有着广阔的应用前景。
关键词
柔性压力传感器
“v”型平行板电极
MEMS
PDMS
Keywords
flexible pressure sensor
＂
v
＂ type parallel plate electrode
MEMS
PDMS
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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出处
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被引量
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1
基于CNTs/PDMS介电层的柔性压力传感特性研究
赵学峰
崔建利
高飞
张志东
闫树斌
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2017
8
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