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“反向设计”法研制ZrB_(2)-Ni涂层及其性能研究
被引量：
1
1
作者
蒙德强
王铁钢
+2 位作者
柯培玲
刘艳梅
曹斌
《工具技术》
北大核心
2021年第2期19-22,共4页
利用磁控溅射技术向ZrB_(2)涂层中掺杂金属Ni来改善涂层韧性,采用“反向设计”法研制ZrB_(2)-Ni涂层,即通过改变ZrB_(2)靶溅射功率调控ZrB_(2)-Ni涂层中Ni含量,系统研究涂层力学性能和摩擦磨损性能的变化规律,优化涂层制备工艺。结果表...
利用磁控溅射技术向ZrB_(2)涂层中掺杂金属Ni来改善涂层韧性,采用“反向设计”法研制ZrB_(2)-Ni涂层,即通过改变ZrB_(2)靶溅射功率调控ZrB_(2)-Ni涂层中Ni含量,系统研究涂层力学性能和摩擦磨损性能的变化规律,优化涂层制备工艺。结果表明:随着ZrB_(2)靶溅射功率增加,涂层沉积速率呈线性增加;纳米硬度、弹性模量和平均摩擦系数逐渐升高;涂层临界载荷和磨损率均先增加后下降,但变化不大。适量掺杂金属Ni在一定程度上改善了涂层韧性,当ZrB_(2)靶溅射功率为2.4kW时,制备的涂层临界载荷较高,约20.9N;涂层耐磨性最好,磨损率为4.3×10^(-1)μm^(3)/(N·μm),特征值H/E与H^(3)/E^(*2)最高,分别为0.066和0.075GPa。
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关键词
磁控溅射技术
“反向设计”方法
ZrB_(2)-Ni涂层
靶溅射功率
纳米硬度
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职称材料
题名
“反向设计”法研制ZrB_(2)-Ni涂层及其性能研究
被引量：
1
1
作者
蒙德强
王铁钢
柯培玲
刘艳梅
曹斌
机构
天津职业技术师范大学
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
天祝宏氟锂业科技发展有限公司
出处
《工具技术》
北大核心
2021年第2期19-22,共4页
基金
国家自然科学基金(51301181,51875555)
天津市科技重大专项(18ZXJMTG00050)
+2 种基金
天津市自然科学基金(19JCYBJC17100)
天津职业技术师范大学校级科研项目(KJ2001)
研究生创新基金项目(YC19-10)。
文摘
利用磁控溅射技术向ZrB_(2)涂层中掺杂金属Ni来改善涂层韧性,采用“反向设计”法研制ZrB_(2)-Ni涂层,即通过改变ZrB_(2)靶溅射功率调控ZrB_(2)-Ni涂层中Ni含量,系统研究涂层力学性能和摩擦磨损性能的变化规律,优化涂层制备工艺。结果表明:随着ZrB_(2)靶溅射功率增加,涂层沉积速率呈线性增加;纳米硬度、弹性模量和平均摩擦系数逐渐升高;涂层临界载荷和磨损率均先增加后下降,但变化不大。适量掺杂金属Ni在一定程度上改善了涂层韧性,当ZrB_(2)靶溅射功率为2.4kW时,制备的涂层临界载荷较高,约20.9N;涂层耐磨性最好,磨损率为4.3×10^(-1)μm^(3)/(N·μm),特征值H/E与H^(3)/E^(*2)最高,分别为0.066和0.075GPa。
关键词
磁控溅射技术
“反向设计”方法
ZrB_(2)-Ni涂层
靶溅射功率
纳米硬度
Keywords
magnetron sputtering technology
reverse design method
ZrB_(2)-Ni coating
target sputtering power
nano-hardness
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
TH162 [机械工程—机械制造及自动化]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
“反向设计”法研制ZrB_(2)-Ni涂层及其性能研究
蒙德强
王铁钢
柯培玲
刘艳梅
曹斌
《工具技术》
北大核心
2021
1
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