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腐蚀模板法获取高长径比β-Si3N4晶种的工艺参数研究
被引量：
1
1
作者
袁帅
郑彧
+2 位作者
李涤寒
童亚琦
张跃
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2020年第2期561-567,共7页
采用腐蚀模板法对氮化硅陶瓷薄板进行熔融碱腐蚀处理获取β-Si3N4晶种。研究了腐蚀介质、时间对晶粒形貌及分散性的影响。优化了超声、磁力搅拌、研磨三种晶粒剥离的方法,确认磁力搅拌的方法是最佳的剥离工艺。通过X射线衍射和扫描电子...
采用腐蚀模板法对氮化硅陶瓷薄板进行熔融碱腐蚀处理获取β-Si3N4晶种。研究了腐蚀介质、时间对晶粒形貌及分散性的影响。优化了超声、磁力搅拌、研磨三种晶粒剥离的方法,确认磁力搅拌的方法是最佳的剥离工艺。通过X射线衍射和扫描电子显微镜对产物进行了微观形貌观察及物相分析,结果显示获得的晶种为高纯度β-Si3N4,粒径范围为2~10μm,最高长径比可达10以上。
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关键词
腐蚀模板法
β-si3n4晶种
氮化硅流延基板
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职称材料
题名
腐蚀模板法获取高长径比β-Si3N4晶种的工艺参数研究
被引量：
1
1
作者
袁帅
郑彧
李涤寒
童亚琦
张跃
机构
北京中材人工晶体研究院有限公司
北京航空航天大学材料科学与工程学院
上海航天控制技术研究所
出处
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2020年第2期561-567,共7页
基金
国家重点研发计划(2017YFB0310400)。
文摘
采用腐蚀模板法对氮化硅陶瓷薄板进行熔融碱腐蚀处理获取β-Si3N4晶种。研究了腐蚀介质、时间对晶粒形貌及分散性的影响。优化了超声、磁力搅拌、研磨三种晶粒剥离的方法,确认磁力搅拌的方法是最佳的剥离工艺。通过X射线衍射和扫描电子显微镜对产物进行了微观形貌观察及物相分析,结果显示获得的晶种为高纯度β-Si3N4,粒径范围为2~10μm,最高长径比可达10以上。
关键词
腐蚀模板法
β-si3n4晶种
氮化硅流延基板
Keywords
corrosio
n
template method
β-si
3
n
4
seed crystal
silico
n
n
itride casti
n
g substrate
分类号
TQ174.61 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
腐蚀模板法获取高长径比β-Si3N4晶种的工艺参数研究
袁帅
郑彧
李涤寒
童亚琦
张跃
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2020
1
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