自蔓延燃烧合成β-Si_3N_4棒晶 被引量：8

1

作者 陈殿营 张宝林 +2 位作者 庄汉锐 李文兰 徐素英 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期696-702,共7页

采用自蔓延高温合成（SHS）,在高压氮气中成功地合成了β-Si3N4棒晶,研究了添加不同量Y2O3对自蔓延燃烧合成β-Si3N4。棒晶长径比的影响.结果表明,Y2O3添加量有一个最佳范围,当Y2O3的添加量在2Wt％～5wt％时,棒晶生长均匀,长径比约为8.... 采用自蔓延高温合成（SHS）,在高压氮气中成功地合成了β-Si3N4棒晶,研究了添加不同量Y2O3对自蔓延燃烧合成β-Si3N4。棒晶长径比的影响.结果表明,Y2O3添加量有一个最佳范围,当Y2O3的添加量在2Wt％～5wt％时,棒晶生长均匀,长径比约为8.通过铜坩埚吸热淬火的方法,观察到β-Si3N4棒晶不同生长阶段的显微形貌,从而推测其生长机理为VLS和VS两种机理协同作用的结果.本文对β-Si3N4棒晶生长的反应历程也进行了阐述. 展开更多

关键词 自蔓延燃烧合成 β-si3n4 棒晶 生长机理 氮化硅陶瓷

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(Ni-P)-Si_3N_4复合镀层硬度及耐磨性研究 被引量：5

2

作者 宋振兴 刘宝超 +4 位作者 梁山 姚素薇 王宏智 张卫国 赵占芬 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2013年第12期1-5,共5页

利用化学镀方法获得了(Ni-P)-Si3N4复合镀层,并研究了Si3N4颗粒含量、pH及热处理条件对镀层硬度及耐磨性的影响。采用扫描电子显微镜观察,镀层表面平整,Si3N4微粒均匀复合在镀层中。机械性能测试表明,镀层的硬度与耐磨性能随着镀液中次... 利用化学镀方法获得了(Ni-P)-Si3N4复合镀层,并研究了Si3N4颗粒含量、pH及热处理条件对镀层硬度及耐磨性的影响。采用扫描电子显微镜观察,镀层表面平整,Si3N4微粒均匀复合在镀层中。机械性能测试表明,镀层的硬度与耐磨性能随着镀液中次磷酸钠质量浓度的增加呈现出先提高后降低的趋势。当镀液中Si3N4质量浓度为10g/L时,镀层硬度及耐磨性最好,热处理后的镀层硬度高达1088HV。 展开更多

关键词 化学镀 (ni-P)-si3n4复合镀层 耐磨性 硬度

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β-Si_3N_4陶瓷热导率的研究现状 被引量：7

3

作者 范德蔚 张伟儒 刘俊成 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1105-1109,共5页

β-Si3N4陶瓷具有较高的热导率(200～320 W.m-1.K-1),在高速电路和大功率器件散热及封装材料等领域展现了良好的应用前景,并引起广泛关注。基于氮化硅陶瓷导热机理,本文阐述了影响β-Si3N4陶瓷热导率的因素,并从原料的选取、烧结助剂的... β-Si3N4陶瓷具有较高的热导率(200～320 W.m-1.K-1),在高速电路和大功率器件散热及封装材料等领域展现了良好的应用前景,并引起广泛关注。基于氮化硅陶瓷导热机理,本文阐述了影响β-Si3N4陶瓷热导率的因素,并从原料的选取、烧结助剂的选择、晶种的引入和工艺控制四个方面,介绍了国内外提高其热导率的研究进展。 展开更多

关键词 β-si3n4 热导率 因素 方法

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β-Si_3N_4对MgO-C砖高温性能的影响 被引量：8

4

作者 王林俊 孙加林 洪彦若 《耐火材料》 CAS 北大核心 2003年第2期92-93,99,共3页

研究了 β Si3N4 对镁碳砖高温性能的影响及其作用机理。研究表明 :由于 β Si3N4 呈针状结构 ,热膨胀系数低 ,对多数熔渣和金属的润湿性小 ,加入 β Si3N4 的镁碳砖 ,其高温抗折强度提高 ,热膨胀率降低 ,抗渣侵蚀性提高 ;另外 ,在反应... 研究了 β Si3N4 对镁碳砖高温性能的影响及其作用机理。研究表明 :由于 β Si3N4 呈针状结构 ,热膨胀系数低 ,对多数熔渣和金属的润湿性小 ,加入 β Si3N4 的镁碳砖 ,其高温抗折强度提高 ,热膨胀率降低 ,抗渣侵蚀性提高 ;另外 ,在反应层与原砖层之间发现有富硅层形成 。 展开更多

关键词 β-si3n4 Mg0-C砖 高温性能 抗氟化剂 镁碳砖

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β-Si_3N_4晶种的制备、性能与机理研究 被引量：2

5

作者 于方丽 白宇 +3 位作者 杜军 于平平 王俭志 杨建锋 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1595-1601,共7页

本论文通过对β-Si3N4粉末的加入量、烧结助剂的种类及煅烧温度等参数的合理选择及优化,达到对β-Si3N4晶粒尺寸和形貌的有效控制,并探讨分析β-Si3N4晶种的反应机理。以MgO、Y2O3及SiO2为助烧剂,加入一定量的β-Si3N4粉末,通过对原始α... 本论文通过对β-Si3N4粉末的加入量、烧结助剂的种类及煅烧温度等参数的合理选择及优化,达到对β-Si3N4晶粒尺寸和形貌的有效控制,并探讨分析β-Si3N4晶种的反应机理。以MgO、Y2O3及SiO2为助烧剂,加入一定量的β-Si3N4粉末,通过对原始α-Si3N4粉末进行热处理,经去除掉玻璃相等漂洗工艺后,制备出相变充分、具有柱状形貌β-Si3N4晶种。重点研究了β-Si3N4粉末加入量及助烧剂种类对Si3N4相变、晶体形貌及晶粒尺寸分布的影响。研究结果表明:β-Si3N4粉末添加量10 wt%、MgO添加量5 wt%时,在1750℃下热处理1.5 h能得到具有比较理想长径比、缺陷少且晶粒尺寸与长径比分布较均匀β-Si3N4晶种,平均长径比接近于7.0。 展开更多

关键词 烧结助剂 β-氮化硅 晶种

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β-Si_3N_4含量对Y_2O_3-MgO-α-Si_3N_4陶瓷性能的影响 被引量：2

6

作者 李荐 李淳伟 +5 位作者 周宏明 黄祖琼 刘凡 李艳芬 杨俊 杨亮 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期91-93,共3页

利用扫描电子显微分析等手段,研究了棒状β-Si3N4含量对Y2O3-MgO-α-Si3N4陶瓷致密度、力学性能和显微结构的影响,确定了β-Si3N4和α-Si3N4的适宜配比。结果显示:随着β-Si3N4含量的增加,Y2O3-MgO-α-Si3N4陶瓷材料致密度和力学性能均... 利用扫描电子显微分析等手段,研究了棒状β-Si3N4含量对Y2O3-MgO-α-Si3N4陶瓷致密度、力学性能和显微结构的影响,确定了β-Si3N4和α-Si3N4的适宜配比。结果显示:随着β-Si3N4含量的增加,Y2O3-MgO-α-Si3N4陶瓷材料致密度和力学性能均先增加后降低,当β-Si3N4含量达到40%时,陶瓷致密度和力学性能同时达到最大,此时致密度为93%,横向断裂强度为583.4 MPa,断裂韧性为5.42 MPa.m1/2。 展开更多

关键词 陶瓷 β-si3n4 Y2O3-MgO-α-si3n4 力学性能 显微组织

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镁合金复合化学镀(Ni-P)-Si_3N_4复合镀层工艺研究 被引量：4

7

作者 杨友 李雪松 +1 位作者 佟金伟 姜东梅 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2010年第3期1-4,共4页

通过复合化学镀的方法在镁合金表面制备（Ni-P）-Si3N4复合镀层，主要研究了镀液中颗粒含量、温度、pH等工艺参数对复合镀层表面形貌及显微硬度的影响。结果表明，获得良好表面微观形貌和较高显微硬度的纳米复合镀层的工艺参数为：0=80... 通过复合化学镀的方法在镁合金表面制备（Ni-P）-Si3N4复合镀层，主要研究了镀液中颗粒含量、温度、pH等工艺参数对复合镀层表面形貌及显微硬度的影响。结果表明，获得良好表面微观形貌和较高显微硬度的纳米复合镀层的工艺参数为：0=80℃、pH=8．5，ρ（Si3N4）为7-9g／L。 展开更多

关键词 镁合金 复合化学镀 (ni-P)-si3n4 复合镀层 显微硬度

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高热导β-Si3N4陶瓷的研究进展 被引量：4

8

作者 彭桂花 梁振华 李文兰 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期21-24,共4页

从热导率的影响因素、制备方法及力学电学性能3方面归纳了高热导β-Si3N4陶瓷的研究进展,并对高热导β-Si3N4陶瓷存在的问题和今后的研究方向提出了几点看法。

关键词 β-si3 n4陶瓷 热导率 力学性能 电学性能

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电沉积(Ni-W-P)-Si_3N_4复合镀层及性能研究 被引量：5

9

作者 宋振兴 姚素薇 +1 位作者 王宏智 张卫国 《电镀与精饰》 CAS 2007年第2期16-19,共4页

采用电沉积方法,在Ni-W-P合金中复合S i3N4微粒,获得(Ni-W-P)-S i3N4复合镀层。研究了镀液中Si3N4质量浓度、电流密度以及搅拌速度等工艺条件对复合镀层中Si3N4质量分数的影响。X-射线衍射、扫描电子显微镜测试结果表明:Si3N4微粒在镀... 采用电沉积方法,在Ni-W-P合金中复合S i3N4微粒,获得(Ni-W-P)-S i3N4复合镀层。研究了镀液中Si3N4质量浓度、电流密度以及搅拌速度等工艺条件对复合镀层中Si3N4质量分数的影响。X-射线衍射、扫描电子显微镜测试结果表明:Si3N4微粒在镀层中均匀分布,与Ni-W-P合金各自在特定的角度出现衍射特征峰,彼此之间互不干扰。随着镀层中Si3N4质量分数的增加,镀层的性能均按照一定的规律发生变化。当Si3N4的质量分数为最大值10.3%时,镀层性能在各组实验比较中均最优,耐磨性能最好。 展开更多

关键词 电沉积 (ni—W—P)-si3n4复合镀层 耐磨性

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添加剂对Si粉直接氮化工艺中α-Si3N4含量的影响 被引量：4

10

作者 乐红志 田贵山 李素珍 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期370-375,共6页

通常情况下,Si粉直接氮化法和自蔓延法所制得Si3N4粉体主要以β-Si3N4为主,而为了使Si3N4陶瓷有更好的烧结性能,需要得到高α相含量的Si3N4粉。本研究以Si粉直接氮化法为基础,通过添加NH4Cl、FeCl3来制备高α相含量的Si3N4粉。经XRD和SE... 通常情况下,Si粉直接氮化法和自蔓延法所制得Si3N4粉体主要以β-Si3N4为主,而为了使Si3N4陶瓷有更好的烧结性能,需要得到高α相含量的Si3N4粉。本研究以Si粉直接氮化法为基础,通过添加NH4Cl、FeCl3来制备高α相含量的Si3N4粉。经XRD和SEM检测分析发现,添加适量NH4Cl、FeCl3可大幅提高Si3N4粉体中α-Si3N4的含量,最高可达88.3%,但FeCl3的含量过高时,则可显著降低α-Si3N4的含量。研究还发现添加NH4Cl、FeCl3还可降低Si粉发生氮化反应的起始温度。 展开更多

关键词 添加剂 Si粉直接氮化 α-si3n4

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高温自蔓延燃烧合成的β-Si_3N_4粉体的烧结 被引量：1

11

作者 蒋久信 王佩玲 +3 位作者 程一兵 陈卫武 庄汉锐 严东生 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期1431-1435,共5页

研究了MgO,Al2O3和Y2O3作为烧结助剂对高温自蔓延工艺合成(SHS)的β-Si3N4粉料烧结过程的影响.结果发现,MgO是较为有效的烧结助剂,当其加入量为10wt％时,试样在1600℃下热压烧结能基本实现致密化.对试样的XRD分析表明,除了加入的Al2O3... 研究了MgO,Al2O3和Y2O3作为烧结助剂对高温自蔓延工艺合成(SHS)的β-Si3N4粉料烧结过程的影响.结果发现,MgO是较为有效的烧结助剂,当其加入量为10wt％时,试样在1600℃下热压烧结能基本实现致密化.对试样的XRD分析表明,除了加入的Al2O3与β—Si3N4反应生成β-Sialon外,其他烧结助剂都不与β-Si3N4反应,只存在于玻璃相中.添加MgO的试样具有较高的力学性能.最后,对材料的显微形貌进行了SEM观察. 展开更多

关键词 高温自蔓延合成(SHS) β-si3n4 烧结过程 烧结助剂 力学性能

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β-Si_3N_4涂层抗脱落性及对高效多晶硅性能的影响 被引量：1

12

作者 黄金亮 李永乐 +2 位作者 李飞龙 李丽华 李新利 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3271-3275,共5页

采用喷涂法分别制备以α-Si_3N_4粉和β-Si_3N_4粉为原料的坩埚内壁用氮化硅涂层,进行烧结和多晶硅铸锭,利用扫描电子显微镜分析铸锭前后涂层形貌、X射线衍射分析仪分析铸锭前后涂层物相、少子寿命测试仪检测硅锭少子寿命以及红区长度... 采用喷涂法分别制备以α-Si_3N_4粉和β-Si_3N_4粉为原料的坩埚内壁用氮化硅涂层,进行烧结和多晶硅铸锭,利用扫描电子显微镜分析铸锭前后涂层形貌、X射线衍射分析仪分析铸锭前后涂层物相、少子寿命测试仪检测硅锭少子寿命以及红区长度等。结果表明:与α-Si_3N_4涂层相比,β-Si_3N_4涂层铸锭后高温稳定性强,与石英坩埚结合牢固,几乎无脱落现象。铸锭后α-Si_3N_4涂层颗粒呈类球形、竖直堆垛于坩埚表面,而β-Si_3N_4涂层颗粒呈六方短柱体、平行叠加于坩埚表面,恰好垂直于杂质扩散方向,故更有利于阻挡杂质的扩散。在不显著影响少子寿命的基础上,β-Si_3N_4涂层坩埚铸成的硅锭边缘红区更短、成品率更高。 展开更多

关键词 β-si3n4涂层 相转变 少子寿命 边缘红区 抗脱落性能

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化学复合镀(Ni-W-P)-Si_3N_4工艺研究 被引量：2

13

作者 杜克勤 葛润洲 高玉周 《电镀与精饰》 CAS 2004年第2期8-11,共4页

采用化学复合镀方法,制备了(Ni-W-P)-Si3N4复合镀层;研究了镀液组成及工艺参数对镀层成分和沉积速率的影响;采用X-射线衍射分析了复合镀层表面相结构,并对复合镀层的耐蚀性及耐磨性进行了测试分析。试验结果表明:Si3N4纳米颗粒的加入影... 采用化学复合镀方法,制备了(Ni-W-P)-Si3N4复合镀层;研究了镀液组成及工艺参数对镀层成分和沉积速率的影响;采用X-射线衍射分析了复合镀层表面相结构,并对复合镀层的耐蚀性及耐磨性进行了测试分析。试验结果表明:Si3N4纳米颗粒的加入影响了镀层的沉积速率,提高了沉积层的耐磨性;(Ni-W-P)-Si3N4复合沉积层仍具有与Ni-W-P沉积层相近的优异性能。 展开更多

关键词 (ni-W-P)-si3n4 化学复合镀 沉积速率 相结构 耐蚀性 耐磨性

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肖特基势垒二极管SiO_2-Si_3N_4复合钝化膜研究 被引量：1

14

作者 石霞 孙俊峰 顾晓春 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期344-348,共5页

对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD SiO_2和LPCVD Si_3N_4膜的介电强度E、介电常数ε_r、耐压V、针孔密度、漏电流I、内应力σ、片间均匀性以... 对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD SiO_2和LPCVD Si_3N_4膜的介电强度E、介电常数ε_r、耐压V、针孔密度、漏电流I、内应力σ、片间均匀性以及片内均匀性等性能。研究了PECVD SiO_2膜的增密技术。提出了一种应力小、漏电流小且抗辐照能力较好的PECVD SiO_2/LPCVD Si_3N_4复合介质膜钝化工艺方法和技术条件,提高了肖特基势垒二极管的性能。 展开更多

关键词 SiO2-si3n4复合介质膜 钝化技术 漏电流 应力 增密

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Mo粉加入量对反应烧结MoSi_2-Si_3N_4-BN复合材料性能的影响 被引量：2

15

作者 袁磊 于景坤 《耐火材料》 CAS 北大核心 2008年第6期440-444,共5页

以Si粉(w(Si)=99%)、Mo粉(w(Mo)=99%)和六方BN粉(w(BN)≥98%)为原料,Fe2O3(w(Fe)≥69.8%)为烧结助剂,高纯氮气(φ(N2)=99.99%)为反应气体,采用反应烧结法于1 450℃氮气气氛下保温5 h原位合成了MoSi2-Si3N4-BN复合材料。研究了Mo粉加入量... 以Si粉(w(Si)=99%)、Mo粉(w(Mo)=99%)和六方BN粉(w(BN)≥98%)为原料,Fe2O3(w(Fe)≥69.8%)为烧结助剂,高纯氮气(φ(N2)=99.99%)为反应气体,采用反应烧结法于1 450℃氮气气氛下保温5 h原位合成了MoSi2-Si3N4-BN复合材料。研究了Mo粉加入量(w)为:0、5%、10%、15%、20%、30%时对材料的显气孔率、体积密度和抗折强度的影响,利用XRD研究了Mo粉不同加入量下复合材料的物相组成,并利用SEM对材料表面和断面形貌进行了观察,同时探讨了Mo5Si3的形成机理。结果表明:随着原料中Mo粉加入量的增加,所制备的复合材料显气孔率增大,体积密度和抗折强度减小。材料中含有α-Si3N4、β-Si3N4、BN、MoSi2和少量的Mo5Si3相。原位生成的MoSi2及少量的Mo5Si3均匀地分散在材料中,其晶粒尺寸为2～3μm。随着原料中Mo粉加入量增加,Mo5Si3的生成量越来越多;当Mo粉加入量为30%时,Mo在材料中主要以Mo5Si3的形式存在。Mo5Si3的生成机理为MoSi2失去Si转化而成。 展开更多

关键词 二硅化钼 氮化硅 氮化硼 原位反应 反应烧结 MoSi2-si3n4-Bn复合材料

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锦纶织物复合化学镀(Ni-P)-Si_3N_4纳米微粒复合镀层 被引量：1

16

作者 张辉 冯义威 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2011年第1期1-5,共5页

采用纳米复合化学镀技术,分别于酸性和碱性镀液中在锦纶织物表面沉积了(Ni-P)-Si3N4复合镀层,对镀层表面形貌、结构和织物热性能进行了表征,并测试了化学镀织物的电磁波屏蔽和耐磨性能。研究结果表明,Si3N4纳米微粒的引入使酸性复合化学... 采用纳米复合化学镀技术,分别于酸性和碱性镀液中在锦纶织物表面沉积了(Ni-P)-Si3N4复合镀层,对镀层表面形貌、结构和织物热性能进行了表征,并测试了化学镀织物的电磁波屏蔽和耐磨性能。研究结果表明,Si3N4纳米微粒的引入使酸性复合化学镀(Ni-P)-Si3N4镀层无定形态有所增强,碱性复合化学镀(Ni-P)-Si3N4镀层仍保持晶体结构。锦纶织物经过酸性和碱性化学镀Ni-P,以及复合化学镀(Ni-P)-Si3N4之后,热起始分解温度均有所下降。随着Si3N4用量的增加,酸性复合化学镀(Ni-P)-Si3N4织物的屏蔽效能变化不明显,而碱性复合化学镀(Ni-P)-Si3N4织物的屏蔽效能有所增加,但增幅不大。较普通酸性和碱性化学镀Ni-P,酸性和碱性复合化学镀(Ni-P)-Si3N4织物的耐磨性变差。 展开更多

关键词 锦纶织物 Si3n4纳米颗粒 复合化学镀(ni-P)-si3n4

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低氧分压下β-Si3N4制品的氧化烧结

17

作者 张玲 李福燊 +4 位作者 薛文东 孙加林 李志坚 鲁雄刚 盛开勋 《耐火材料》 CAS 北大核心 2008年第5期362-364,共3页

以闪速燃烧氮化法合成的β-Si3N4粉为主要原料,在w(β-Si3N4粉)为80%、w(α-Al2O3粉)和w(Y2O3粉)分别为10%的混合粉料中,外加3%金属铝粉,混练、成型后,在1 600℃的弱氧化气氛(氮气中配入体积分数分别为0、10%、20%、30%的空气)中实现了... 以闪速燃烧氮化法合成的β-Si3N4粉为主要原料,在w(β-Si3N4粉)为80%、w(α-Al2O3粉)和w(Y2O3粉)分别为10%的混合粉料中,外加3%金属铝粉,混练、成型后,在1 600℃的弱氧化气氛(氮气中配入体积分数分别为0、10%、20%、30%的空气)中实现了β-Si3N4制品的逆氮化反应烧结。结果表明:空气配入量为10%时,得到的Si3N4烧结体指标较好;金属铝粉首先发生氧化,新生成的高活性Al2O3可促进烧结的进行;弱氧化气氛烧成时,通过氧分压来控制氧化物的生成量,既避免了SiN的过度氧化,又形成了活性烧结。 展开更多

关键词 β-si3n4 低氧分压 氧化 烧结

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Al_2TiO_5-Si_3N_4复合材料制备工艺研究

18

作者 王瑞生 喻善均 卜景龙 《耐火材料》 CAS 北大核心 2009年第4期288-290,共3页

以Al2TiO5粉(自制)和α-Si3N4粉为原料,制备Al2TiO5-Si3N4复合材料。研究了Si3N4加入量(质量分数,分别为0、5%、10%、15%、20%和25%)、烧成气氛(氮气气氛和空气气氛)、烧成温度(1450、1500、1550℃)、保温时间(2、3、4h)对Al2TiO5-Si3N... 以Al2TiO5粉(自制)和α-Si3N4粉为原料,制备Al2TiO5-Si3N4复合材料。研究了Si3N4加入量(质量分数,分别为0、5%、10%、15%、20%和25%)、烧成气氛(氮气气氛和空气气氛)、烧成温度(1450、1500、1550℃)、保温时间(2、3、4h)对Al2TiO5-Si3N4复合材料性能的影响。研究结果表明,制备Al2TiO5-Si3N4复合材料较佳的工艺条件为:加入15%的α-Si3N4粉,在氮气气氛中于1550℃保温2h烧成。 展开更多

关键词 Al2TiO5-si3n4复合材料 制备工艺 显微结构

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SiO_2-Si_3N_4-SiO_2复合梁谐振式压力传感器结构设计与分析

19

作者 李新 薛阳 李春风 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第8期13-15,共3页

提出了一种采用SiO2-Si3N4-SiO2复合谐振梁结构的谐振式压力传感器。采用有限元分析技术分别对谐振梁和传感器芯片结构进行了电热分析、模态分析以及谐响应分析,最后对SiO2-Si3N4-SiO2复合梁谐振式压力传感器的工艺进行了探讨,表明通过... 提出了一种采用SiO2-Si3N4-SiO2复合谐振梁结构的谐振式压力传感器。采用有限元分析技术分别对谐振梁和传感器芯片结构进行了电热分析、模态分析以及谐响应分析,最后对SiO2-Si3N4-SiO2复合梁谐振式压力传感器的工艺进行了探讨,表明通过多晶硅牺牲层技术能更好地得到Si O2-Si3N4-Si O2复合谐振梁,具有良好的选频特性。 展开更多

关键词 有限元 SiO2-si3 n4-siO2复合梁 压力传感器

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高温多次N^+注入硅形成晶态α-Si_3N_4研究

20

作者 柳襄怀 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第8期77-79,共3页

在1000℃高温下,经多次N+注入硅形成了晶态α-si_3N_4省去了常规SOI技术中的高温长时间热退火工艺。这对于简化工艺步骤、降低工艺温度和缩短工艺时间有实际意义。

关键词 晶态α-si3n4 高温 注入工艺

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