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基于ZPETC和DOB的直线电机控制器设计及实验研究被引量：13: 1; 作者李志军刘成颖 +1 位作者孟凡伟周凯《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第24期134-140,21,共7页; 直线电机驱动系统中存在的负载力、推力波动等干扰力会引起跟踪误差,降低跟踪性能。干扰观测器可以检测并补偿干扰,有效提高系统的抗干扰能力。前馈控制是提高系统跟踪性能的另一种方法,如直接速度前馈控制器、零相位误差跟踪控制器等,... 展开更多; 关键词直线电机零相位跟踪控制器干扰观测器; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于ZPETC-FF和DOB的精密运动平台控制被引量：9: 2; 作者陈兴林刘川 +1 位作者周乃新王斌《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期1-6,共6页; 光刻机的工件台和掩模台采用长行程直线电机宏动跟随平面电机高精密微动的复合运动方式,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位.为减小平面电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机精密运动平台的跟踪精度.提出一种零相位误差跟踪控制器... 展开更多; 关键词光刻机工件台零相位跟踪控制干扰观测器高动态精密伺服; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于DOB和ZPETC的PWM驱动快速反射镜控制方法研究被引量：9: 3; 作者王福超田大鹏王昱棠《机电工程》 CAS 2015年第7期903-908,共6页; 针对高精度音圈电机快速反射镜PWM驱动方法存在的问题,对快速反射镜控制方法进行了研究。设计了基于干扰观测器(disturbance observer,DOB)和零相差跟踪控制器(zero phase error tracking controller,ZPETC)相结合的鲁棒控制方法。通过... 展开更多; 关键词快速反射镜音圈电机干扰观测器零相差跟踪控制器; 在线阅读下载PDF 职称材料

永磁直线同步电机的零相位H_∞鲁棒控制研究被引量：6: 4; 作者赵希梅郭庆鼎孙宜标《沈阳工业大学学报》 EI CAS 2005年第1期38-42,共5页; 针对永磁直线同步伺服电机(PMLSM)直接驱动伺服系统,提出了一种将零相位误差跟踪控制(ZPETC)和H∞鲁棒控制相结合的二自由度鲁棒跟踪控制策略.以解决系统的快速而精确的跟踪控制性能和抗扰性能之间的矛盾.零相位误差跟踪控制器保证了快... 展开更多; 关键词永磁直线同步电机二自由度控制 H∞鲁棒控制零相位误差跟踪控制扰动; 在线阅读下载PDF 职称材料

数控机床直线电机进给伺服驱动的摩擦力和扰动抑制措施被引量：3: 5; 作者刘德君郭庆鼎翁秀华《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2004年第12期69-70,73,共3页; 针对永磁直线同步伺服电机 (PMLSM)直接驱动数控机床伺服系统 ,提出了一种基于摩擦力和扰动补偿的零相位误差跟踪控制策略。以解决摩擦力和扰动对系统性能的影响。零相位误差跟踪控制器保证了快速性 ,使系统实现准确跟踪 ;而补偿制器克... 展开更多; 关键词永磁直线同步伺服电机(PMLSM) 干扰观测器零相位误差跟踪控制(zpetc) 补偿控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

像移补偿快速反射镜时频特性优化控制(英文) 被引量：3: 6; 作者王凯迪苏秀琴 +1 位作者李哲吴少博《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第S1期120-126,共7页; 为了进一步优化像移补偿快速反射镜的时域和频域特性,进而提高运动相机所拍摄照片的清晰度,设计了基于线性扩张状态观测器(LESO)、零相位误差跟踪控制器(ZPETC)和卡尔曼滤波器的控制系统。首先,建立了音圈电机驱动型快速反射镜的数学模... 展开更多; 关键词快速反射镜像移补偿线性扩张状态观测器零相位误差跟踪控制器卡尔曼滤波器; 在线阅读下载PDF 职称材料

像移补偿快速反射镜时频特性优化控制被引量：3: 7; 作者王凯迪苏秀琴 +1 位作者李哲吴少博《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第A01期112-118,共7页; 为了进一步优化像移补偿快速反射镜的时域和频域特性，进而提高运动相机所拍摄照片的清晰度，设计了基于线性扩张状态观测器（LESO）、零相位误差跟踪控制器（ZPETC）和卡尔曼滤波器的控制系统。首先，建立了音圈电机驱动型快速反射镜... 展开更多; 关键词快速反射镜像移补偿线性扩张状态观测器零相位误差跟踪控制器卡尔曼滤波器; 在线阅读下载PDF 职称材料

高速雕刻头的零相位误差跟踪控制研究: 8; 作者贾松涛黄廉真孙承刚《机电工程》 CAS 北大核心 2020年第1期103-106,共4页; 针对凹版印刷电子雕刻制版设备中关键零部件的控制问题,对工作频率为8 000 Hz的雕刻头进行了零相位误差跟踪控制研究。基于DSP和FPGA,开发了伺服刷新周期为1μs的实时运动控制平台,建立了双质量-弹簧系统动力学模型,采用扫频方法获得了... 展开更多; 关键词凹印制版雕刻头模型辨识零相位误差跟踪控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于ZPETC和DOB的直线电机控制器设计及实验研究被引量：13: 1; 作者李志军刘成颖孟凡伟周凯; 机构清华大学精密仪器与机械学系; 出处《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第24期134-140,21,共7页; 基金国家科技重大专项(2011ZX04016-011 2009ZX04010-022)~~; 文摘直线电机驱动系统中存在的负载力、推力波动等干扰力会引起跟踪误差,降低跟踪性能。干扰观测器可以检测并补偿干扰,有效提高系统的抗干扰能力。前馈控制是提高系统跟踪性能的另一种方法,如直接速度前馈控制器、零相位误差跟踪控制器等,可以有效提高系统带宽,提高跟踪性能。针对直线电机在抗干扰和动态响应方面的需求,该文研究了基于直接速度前馈控制器、零相位跟踪控制器和干扰观测器的直线电机控制方法,并给出实验结果。结果表明,直接速度前馈控制器使位置能够无静地跟踪二阶指令输入,干扰观测器能够很好的抑制推力波动和摩擦力的影响,零相位跟踪控制器能够提高位置闭环带宽,改善跟踪性能,特别是三阶位置指令输入时的跟踪误差。; 关键词直线电机零相位跟踪控制器干扰观测器; Keywords linear motor zero-phase error tracking controller （zpetc） disturbance observer （DOB）; 分类号 TM85 [电气工程—高电压与绝缘技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于ZPETC-FF和DOB的精密运动平台控制被引量：9: 2; 作者陈兴林刘川周乃新王斌; 机构哈尔滨工业大学航天学院; 出处《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期1-6,共6页; 基金国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207); 文摘光刻机的工件台和掩模台采用长行程直线电机宏动跟随平面电机高精密微动的复合运动方式,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位.为减小平面电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机精密运动平台的跟踪精度.提出一种零相位误差跟踪控制器加前馈(ZPETC-FF)和干扰观测器(DOB)相结合的复合控制方法,以提高直线电机宏动精密运动平台的运动精度.ZPETC-FF作为前馈跟踪控制器,有效提高了系统带宽和跟踪性能,减小了系统的动态跟踪误差;DOB作为鲁棒反馈控制器,补偿了外部扰动、未建模动态和系统参数摄动等,有效提高了系统的抗干扰能力.实验表明,所提出的控制方法与传统的控制方法相比,不仅提高了系统的动态跟踪性能,而且还具有更强的抗干扰能力.; 关键词光刻机工件台零相位跟踪控制干扰观测器高动态精密伺服; Keywords lithography wafer stage zero phase error tracking controller （zpetc） disturbance observer（DOB） high dynamic precision servo; 分类号 TP273.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于DOB和ZPETC的PWM驱动快速反射镜控制方法研究被引量：9: 3; 作者王福超田大鹏王昱棠; 机构中国科学院航空光学成像与测量重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《机电工程》 CAS 2015年第7期903-908,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(61304032); 文摘针对高精度音圈电机快速反射镜PWM驱动方法存在的问题,对快速反射镜控制方法进行了研究。设计了基于干扰观测器(disturbance observer,DOB)和零相差跟踪控制器(zero phase error tracking controller,ZPETC)相结合的鲁棒控制方法。通过系统辨识实验建立了音圈电机快速反射镜的动态模型,利用半实物仿真平台对控制系统的动态性能进行了测试,给出了被控对象的实验记录测量数据及其开环幅频特性曲线bode图。研究结果表明,基于干扰观测器和零相差跟踪控制器的控制方法补偿了外部扰动、模型不确定性以及机械非线性等因素对控制系统性能的影响,系统带宽达到150 Hz以上,快速反射镜伺服系统能够满足光电跟踪系统对快速反射镜的快速性和高精度要求,新方法在性能上有显著的提高,在实际工程中具有较高的应用价值。; 关键词快速反射镜音圈电机干扰观测器零相差跟踪控制器; Keywords fast-steering mirror voice coil actuator disturbance observer（DOB） zero phase error tracking controller（zpetc）; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程] TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名永磁直线同步电机的零相位H_∞鲁棒控制研究被引量：6: 4; 作者赵希梅郭庆鼎孙宜标; 机构沈阳工业大学电气工程学院; 出处《沈阳工业大学学报》 EI CAS 2005年第1期38-42,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(50075057); 文摘针对永磁直线同步伺服电机(PMLSM)直接驱动伺服系统,提出了一种将零相位误差跟踪控制(ZPETC)和H∞鲁棒控制相结合的二自由度鲁棒跟踪控制策略.以解决系统的快速而精确的跟踪控制性能和抗扰性能之间的矛盾.零相位误差跟踪控制器保证了快速性,使系统实现准确跟踪;而H∞控制器克服了负载扰动等不确定性影响,保证了系统具有较强的鲁棒性能.仿真实验结果表明,该方案在保证伺服系统的快速精确跟踪性的同时,对系统参数变化和阻力扰动具有很强的鲁棒性.; 关键词永磁直线同步电机二自由度控制 H∞鲁棒控制零相位误差跟踪控制扰动; Keywords permanent magnet linear synchronous motor (PMLSM) 2-DOF H∞ robust control zero phase error tracking control(zpetc) disturbance; 分类号 TM383.425 [电气工程—电机]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名数控机床直线电机进给伺服驱动的摩擦力和扰动抑制措施被引量：3: 5; 作者刘德君郭庆鼎翁秀华; 机构沈阳工业大学电气工程学院北华大学电气工程学院; 出处《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2004年第12期69-70,73,共3页; 基金国家自然科学基金资助项目 (598750 61 ); 文摘针对永磁直线同步伺服电机 (PMLSM)直接驱动数控机床伺服系统 ,提出了一种基于摩擦力和扰动补偿的零相位误差跟踪控制策略。以解决摩擦力和扰动对系统性能的影响。零相位误差跟踪控制器保证了快速性 ,使系统实现准确跟踪 ;而补偿制器克服了摩擦和扰动等不确定性影响 ,保证了系统具有较强的鲁棒性和定位精度。仿真结果表明。; 关键词永磁直线同步伺服电机(PMLSM) 干扰观测器零相位误差跟踪控制(zpetc) 补偿控制; Keywords permanent-magnet linear synchronous motor (PMLSM) disturbance observer zero phase error tracking control(zpetc) compensation control; 分类号 TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名像移补偿快速反射镜时频特性优化控制(英文) 被引量：3: 6; 作者王凯迪苏秀琴李哲吴少博; 机构中国科学院西安光学精密机械研究所中国科学院大学; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第S1期120-126,共7页; 文摘为了进一步优化像移补偿快速反射镜的时域和频域特性,进而提高运动相机所拍摄照片的清晰度,设计了基于线性扩张状态观测器(LESO)、零相位误差跟踪控制器(ZPETC)和卡尔曼滤波器的控制系统。首先,建立了音圈电机驱动型快速反射镜的数学模型。然后,阐述了LESO、ZPETC和卡尔曼滤波器的原理。最后,对被控对象进行了实验研究。阶跃响应曲线显示,系统调节时间达到2.5 ms,与比例-积分-微分(PID)控制系统相比,系统相对误差在小于1%时能够以更快的速度收敛到零。伯德图显示,系统带宽达到369 Hz,是PID控制系统的1.5倍以上,同时减少了接近一半的相位滞后。在加入干扰后,系统平均相对误差达到0.028%,比PID控制系统减少了75%。相机拍摄的照片表明,该控制方法使得照片的主观视角效果和客观评价指标参数都有所提高。; 关键词快速反射镜像移补偿线性扩张状态观测器零相位误差跟踪控制器卡尔曼滤波器; Keywords fast steering mirror(FSM) image motion compensation linear extended state observer(LESO) zero phase error tracking control(zpetc) Kalman filter; 分类号 TN713 [电子电信—电路与系统] TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名像移补偿快速反射镜时频特性优化控制被引量：3: 7; 作者王凯迪苏秀琴李哲吴少博; 机构中国科学院西安光学精密机械研究所中国科学院大学; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第A01期112-118,共7页; 文摘为了进一步优化像移补偿快速反射镜的时域和频域特性，进而提高运动相机所拍摄照片的清晰度，设计了基于线性扩张状态观测器（LESO）、零相位误差跟踪控制器（ZPETC）和卡尔曼滤波器的控制系统。首先，建立了音圈电机驱动型快速反射镜的数学模型。然后，阐述了LESO、ZPETC和卡尔曼滤波器的原理。最后，对被控对象进行了实验研究。阶跃响应曲线显示，系统调节时间达到2．5ms，与比例-积分-微分（PID）控制系统相比，系统相对误差在小于1％时能够以更快的速度收敛到零。伯德图显示，系统带宽达到369Hz，是PlD控制系统的1．5倍以上，同时减少了接近一半的相位滞后。在加入干扰后，系统平均相对误差达到0．028％，比PID控制系统减少了75％。相机拍摄的照片表明，该控制方法使得照片的主观视角效果和客观评价指标参数都有所提高。; 关键词快速反射镜像移补偿线性扩张状态观测器零相位误差跟踪控制器卡尔曼滤波器; Keywords fast steering mirror（FSM） image motion compensation linear extended state observer （LESO） zero phase error tracking control （zpetc） Kalman filter; 分类号 TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高速雕刻头的零相位误差跟踪控制研究: 8; 作者贾松涛黄廉真孙承刚; 机构广东工业大学机电工程学院; 出处《机电工程》 CAS 北大核心 2020年第1期103-106,共4页; 基金广东省重点领域研发计划项目(2019B010117002) 广东省自然科学基金资助项目(2016A030308016); 文摘针对凹版印刷电子雕刻制版设备中关键零部件的控制问题,对工作频率为8 000 Hz的雕刻头进行了零相位误差跟踪控制研究。基于DSP和FPGA,开发了伺服刷新周期为1μs的实时运动控制平台,建立了双质量-弹簧系统动力学模型,采用扫频方法获得了系统幅频和相频响应特性;基于子空间方法,建立了精确数学模型,并基于系统数学模型,提出了采用低通滤波器限制控制器输出的零相位误差跟踪控制;通过仿真确定了低通滤波器带宽。研究结果表明:该控制器改善了系统的阶跃响应动态特性,提升了系统响应速度,系统上升时间减少了25μs;并抑制了谐振振动,验证了该控制算法的有效性和工程可实现性。; 关键词凹印制版雕刻头模型辨识零相位误差跟踪控制; Keywords gravure print roller making engraving system model identification zero phase error tracking control(zpetc); 分类号 TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于ZPETC和DOB的直线电机控制器设计及实验研究	李志军刘成颖孟凡伟周凯	《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心	2012	13	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于ZPETC-FF和DOB的精密运动平台控制	陈兴林刘川周乃新王斌	《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	9	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于DOB和ZPETC的PWM驱动快速反射镜控制方法研究	王福超田大鹏王昱棠	《机电工程》 CAS	2015	9	在线阅读下载PDF 职称材料
4	永磁直线同步电机的零相位H_∞鲁棒控制研究	赵希梅郭庆鼎孙宜标	《沈阳工业大学学报》 EI CAS	2005	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	数控机床直线电机进给伺服驱动的摩擦力和扰动抑制措施	刘德君郭庆鼎翁秀华	《组合机床与自动化加工技术》北大核心	2004	3	在线阅读下载PDF 职称材料
6	像移补偿快速反射镜时频特性优化控制(英文)	王凯迪苏秀琴李哲吴少博	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2018	3	在线阅读下载PDF 职称材料
7	像移补偿快速反射镜时频特性优化控制	王凯迪苏秀琴李哲吴少博	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2018	3	在线阅读下载PDF 职称材料
8	高速雕刻头的零相位误差跟踪控制研究	贾松涛黄廉真孙承刚	《机电工程》 CAS 北大核心	2020	0	在线阅读下载PDF 职称材料