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基于光谱共焦位移传感器的非接触式回转误差测量系统
被引量：
6
1
作者
蓝河
雷大江
+2 位作者
钱林弘
夏欢
孙树磊
《制造技术与机床》
北大核心
2017年第3期141-145,共5页
为了实现50 nm左右回转误差测量,设计了一种新型非接触式测量系统,该系统采用光谱共焦位移传感器,通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5 nm,表明该测量系统的测量精度能够...
为了实现50 nm左右回转误差测量,设计了一种新型非接触式测量系统,该系统采用光谱共焦位移传感器,通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5 nm,表明该测量系统的测量精度能够满足设计要求。
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关键词
回转误差
光谱共焦位移传感器
反向法
非接触式
超精密回转轴系
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职称材料
题名
基于光谱共焦位移传感器的非接触式回转误差测量系统
被引量：
6
1
作者
蓝河
雷大江
钱林弘
夏欢
孙树磊
机构
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
出处
《制造技术与机床》
北大核心
2017年第3期141-145,共5页
基金
四川省科技支撑计划(2016RZ0047)
中物院科技专项资助(9120602)
文摘
为了实现50 nm左右回转误差测量,设计了一种新型非接触式测量系统,该系统采用光谱共焦位移传感器,通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5 nm,表明该测量系统的测量精度能够满足设计要求。
关键词
回转误差
光谱共焦位移传感器
反向法
非接触式
超精密回转轴系
Keywords
rotating error
confocal chromatic displacement sensor
reversal method
non contact
ultra - precision rotary axis system
分类号
TH161.13 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于光谱共焦位移传感器的非接触式回转误差测量系统
蓝河
雷大江
钱林弘
夏欢
孙树磊
《制造技术与机床》
北大核心
2017
6
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