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基于DMD的阿达玛变换型近红外光谱仪快速处理系统设计与实现 被引量：1
1
作者 王硕 谢振坤 魏志鹏 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS 北大核心 2025年第1期133-138,共6页
数字微镜器件(DMD)的近红外光谱仪,具有波长重复性好、分辨率高和抗振动性好等优点,广泛应用于食品安全和农业生产等领域的研究。随着DMD的微小型近红外光谱仪发展逐渐趋于成熟,仪器的成本和性能仍然是研发的关键。尽管大部分将重点放... 数字微镜器件(DMD)的近红外光谱仪,具有波长重复性好、分辨率高和抗振动性好等优点,广泛应用于食品安全和农业生产等领域的研究。随着DMD的微小型近红外光谱仪发展逐渐趋于成熟,仪器的成本和性能仍然是研发的关键。尽管大部分将重点放在了软件开发和检测方法的研究,而仪器硬件的处理速度至关重要。只有确保光谱仪能够快速准确的采集并传输数据,才能有效实现光谱分析。在多数研究中,阿达玛矩阵的生成和解码工作通常由上位机完成,并通过FLASH存储的方式导入模板。这种方式可能会限制采集一幅完整光谱数据的时间效率。为了提高光谱采集速度和信噪比,提出一种高速驱动DMD和快速数据采集的方法,并基于DMD微小型近红外光谱仪设计一套硬件电路系统。采用现场可编辑门阵列(FPGA)和ARM的架构,创新性地实现了奇偶阿达玛模板的生成与解码过程在嵌入式系统底层执行,加快了光谱分析的速度并提高信噪比。通过与市面上DMD型光谱仪对比,研究结果显示,所研发的光谱仪完成单次光谱的采集时间仅需214 ms,相比商用DMD型光谱仪,采集效率提升了4倍。在同等3 s的采集时间内,所研发光谱仪的信噪比为4600,相比商用DMD型光谱仪,信噪比提升了1.5倍。通过所研发的光谱仪对油菜籽样品进行光谱扫描,分析了油菜籽的脂肪、蛋白质和水分的含量,并采用偏最小二乘回归(PLSR)建立了相应的模型。油菜籽脂肪含量的校正相关系数为0.9865、预测相关系数为0.9672;蛋白质含量的校正相关系数为0.9854、预测相关系数系数为0.9636;水分含量的校正相关系数为0.9875、预测相关系数为0.9614。模型评估的结果表明,该光谱仪能够满足油菜籽成分检测的需求,验证该光谱仪在商业领域具有重要的应用价值。 展开更多
关键词 数字微镜器件 近红外光谱仪 阿达玛 信噪比 嵌入式 油菜籽
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基于DMD的数字全息显示及其再现像质增强 被引量：11
2
作者 魏涛 朱建华 +2 位作者 陈立功 宋佼 杜惊雷 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期952-956,共5页
采用DMD作为空间光调制器构建了一套数字全息显示系统.分析了数字全息图光学再现中影响再现图像质量的因素,提出了一种采用频域滤波重建高条纹对比度滤波全息图来改善其光学再现图像质量的新方法·采用信噪比及图像亮度作为评价参量... 采用DMD作为空间光调制器构建了一套数字全息显示系统.分析了数字全息图光学再现中影响再现图像质量的因素,提出了一种采用频域滤波重建高条纹对比度滤波全息图来改善其光学再现图像质量的新方法·采用信噪比及图像亮度作为评价参量,对原始全息图和滤波全息图的数值再现像进行定量分析表明,滤波后全息图的再现像质量明显优于原始全息图的再现像·基于DMD数字全息显示系统的光学再现实验也验证了理论分析结果· 展开更多
关键词 数字全息术 频域滤波 数字微反射镜器件(dmd) 光学再现
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基于DMD的红外场景仿真系统光学引擎设计 被引量：9
3
作者 蹇毅 潘兆鑫 于洋 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期375-379,共5页
针对DMD(Digital Micromirror Device)器件是针对可见光波段设计,直接用于红外波段会遇到问题,提出了一种远心投影光学引擎架构,包括投影光学系统和照明光学系统.该光学引擎采用柯勒远心照明架构,并引入一片场镜来分离投影和照明光束.... 针对DMD(Digital Micromirror Device)器件是针对可见光波段设计,直接用于红外波段会遇到问题,提出了一种远心投影光学引擎架构,包括投影光学系统和照明光学系统.该光学引擎采用柯勒远心照明架构,并引入一片场镜来分离投影和照明光束.这种光学引擎结构紧凑、照明均匀、光能利用率高. 展开更多
关键词 红外仿真 数字微镜阵列(dmd) 光学设计
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双DMD红外双波段场景模拟器光机结构设计 被引量：7
4
作者 潘越 徐熙平 乔杨 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期2994-3002,共9页
针对常规红外双波段场景模拟器多基于单数字微镜器件(DMD)设计、不能对两个波段进行差异化调制、只满足仿真测试的工作波段需求、实用性差的问题,提出了一种基于双DMD的双通道、共口径、两档变焦、结构紧凑的红外中/长波场景模拟器,并... 针对常规红外双波段场景模拟器多基于单数字微镜器件(DMD)设计、不能对两个波段进行差异化调制、只满足仿真测试的工作波段需求、实用性差的问题,提出了一种基于双DMD的双通道、共口径、两档变焦、结构紧凑的红外中/长波场景模拟器,并对投影系统、照明系统、双色合束镜等主要部分进行了详细的光机结构设计。光学引擎采用远心光路直接照明DMD靶面,利用空间立体式布局来避免不同光路间的干扰,且使用两块小型金属平面反射镜压缩照明光路以提高系统集成度;采用半运动学弹性夹持方式固定合束镜,重点计算了弹簧夹为得到最小预载应发生的偏转量及其在材料中形成的弯曲应力;利用MATLAB求解出两波段黑体的工作温度,并拟合出经光学系统后两波段辐射出射度与全红外波段黑体辐射出射度的比例关系ψ(T)曲线。测试结果表明,黑体温度为850 K时达到最高表观温度要求,中波图像对比度为250∶1,长波图像对比度为14∶1,满足现阶段红外中/长波场景模拟器的使用要求。 展开更多
关键词 半实物仿真 红外双波段 场景模拟 双数字微镜器件 光机结构
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数字微镜器件(DMD) 被引量：27
5
作者 邹静娴 吴荣治 《液晶与显示》 CAS CSCD 2003年第6期445-449,共5页
数字式光处理(DLP—Digitallightprocessing)投影显示技术的核心是数字微镜器件(DMD-Digitalmicromirrordevice),它是一种基于半导体制造技术,由高速数字式光反射开关阵列组成的器件,采用二进制脉宽调制技术能精确地控制光源。叙述了用... 数字式光处理(DLP—Digitallightprocessing)投影显示技术的核心是数字微镜器件(DMD-Digitalmicromirrordevice),它是一种基于半导体制造技术,由高速数字式光反射开关阵列组成的器件,采用二进制脉宽调制技术能精确地控制光源。叙述了用于DLP投影系统的DMD的原理、制造、性能和特点。 展开更多
关键词 数字微镜器件 投影显示 数字图像 微机电系统 数字光处理 脉宽调制 dmd光开关 彩色控制
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基于DMD的动态红外场景仿真技术研究 被引量：8
6
作者 唐德帅 何永强 +2 位作者 黄富瑜 王群 王国培 《红外技术》 CSCD 北大核心 2012年第8期476-481,共6页
相对于现有红外场景仿真技术而言,基于数字微镜器件(DMD)的动态红外场景仿真技术具有高图像分辨率、高光学效率、高亮度等优点,已逐渐成为红外目标成像仿真技术发展的主要方向。结合国内外研究现状,详细阐述了基于DMD的红外场景仿真技... 相对于现有红外场景仿真技术而言,基于数字微镜器件(DMD)的动态红外场景仿真技术具有高图像分辨率、高光学效率、高亮度等优点,已逐渐成为红外目标成像仿真技术发展的主要方向。结合国内外研究现状,详细阐述了基于DMD的红外场景仿真技术原理及其工作过程,探讨了灰度调制和转换效率计算问题,最后对几个关键技术问题进行了归纳。 展开更多
关键词 dmd 红外场景 仿真技术
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基于DMD的高动态范围场景成像技术 被引量：8
7
作者 何舒文 王延杰 +2 位作者 孙宏海 张雷 吴培 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期93-99,共7页
为了对高动态范围场景进行实时有效的观测,设计了一种采用数字微镜器件作为空间光调制器的成像系统.通过改进数字微镜器件的驱动时序,提高数字微镜扩展成像系统动态范围能力.针对光学系统存在畸变,采用多项式拟合法获得数字微镜器件到... 为了对高动态范围场景进行实时有效的观测,设计了一种采用数字微镜器件作为空间光调制器的成像系统.通过改进数字微镜器件的驱动时序,提高数字微镜扩展成像系统动态范围能力.针对光学系统存在畸变,采用多项式拟合法获得数字微镜器件到图像传感器的精确映射关系.针对一般调光算法导致调光后图像可视性差的问题,引入色阶映射算子生成调光模板,获得符合人眼视觉特性的调光结果.实验结果表明,在10帧/s的条件下采用数字微镜器件可提高传统成像系统动态范围66dB,成像系统总的动态范围达到126dB,图像传感器控制准确度达到0.69个像素级别,调光后场景高亮目标与暗背景可同时观测到,调光后采集图像的信息熵得到提高,系统满足对高动态范围场景实时成像观测的需求. 展开更多
关键词 光学成像 数字微镜器件 高动态范围 像素级调光 色阶映射算子 图像熵
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DMD衍射特性及其在红外场景仿真中的应用 被引量：7
8
作者 何永强 唐德帅 +3 位作者 王龙 王群 华文深 胡文刚 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期935-938,共4页
为了提高基于数字微镜器件(DMD)的红外场景仿真系统输出图像对比度,分析了DMD的结构及工作原理,利用其类似闪耀光栅的结构特点,建立仿真模型。利用傅里叶光学分析其衍射特性,并用MATLAB进行仿真。当单色平行光入射,通过改变输入光波波长... 为了提高基于数字微镜器件(DMD)的红外场景仿真系统输出图像对比度,分析了DMD的结构及工作原理,利用其类似闪耀光栅的结构特点,建立仿真模型。利用傅里叶光学分析其衍射特性,并用MATLAB进行仿真。当单色平行光入射,通过改变输入光波波长,分析衍射光强分布变化,得出入射光波波长与微镜片越相近,衍射效果越显著;通过改变入射角,分析衍射光强变化,得出在一定范围内改变入射角,衍射光强发生偏移,对输出图像影响发生变化。在红外场景仿真系统中,可以通过改变光源入射角提高输出图像的的对比度。 展开更多
关键词 数字微镜器件 红外场景仿真 衍射特性
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基于三维缺陷检测的DMD数字条纹投影光学系统设计 被引量：6
9
作者 陈方涵 赵光宇 +1 位作者 蒋仕龙 彭文达 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期163-169,共7页
基于半导体行业中PCB焊膏印刷检测的实际应用,采用0.45 WXGA DMD芯片设计了数字条纹投影光学系统.以LED作为光源,结合透镜阵列照明DMD芯片;同时,为了减小投影三角关系造成的条纹周期不均匀性对检测结果的影响,采用双远心光路结构将DMD... 基于半导体行业中PCB焊膏印刷检测的实际应用,采用0.45 WXGA DMD芯片设计了数字条纹投影光学系统.以LED作为光源,结合透镜阵列照明DMD芯片;同时,为了减小投影三角关系造成的条纹周期不均匀性对检测结果的影响,采用双远心光路结构将DMD生成的条纹成像到待测表面,且适用的最小检测面积为1mm2.光学模拟结果表明,该数字投影系统在被投影表面上的照明均匀性为91%,投射条纹的对比度高于0.8,且条纹周期均匀,为实际应用与后续条纹分析提供了良好保障. 展开更多
关键词 光学投影 表面缺陷 LED照明 数字条纹投影 数字微镜元件 双远心结构
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单DMD彩色视频显示系统的颜色控制 被引量：3
10
作者 徐正平 沈宏海 +3 位作者 黄厚田 姚园 孙超 许永森 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第7期1848-1852,共5页
对单DMD彩色视频显示系统中的颜色控制方法及其实现进行了深入研究。在简要分析三种DMD投影系统及空间灰度调制法、时间灰度调制法优缺点的基础上,提出了一种单DMD彩色视频显示系统方案,并着重分析了基于脉冲选通灰度调制的颜色控制方法... 对单DMD彩色视频显示系统中的颜色控制方法及其实现进行了深入研究。在简要分析三种DMD投影系统及空间灰度调制法、时间灰度调制法优缺点的基础上,提出了一种单DMD彩色视频显示系统方案,并着重分析了基于脉冲选通灰度调制的颜色控制方法:将帧周期均分为R、G、B时间段,并将各时间段等比例划分为各个位时间段,依据相应颜色分量灰度值控制DMD微镜的状态。由于DMD接收的是视频图像各像素的位平面数据,对图像灰度值到位平面数据的格式转换进行了详细分析。最后,依据DMD工作特点,给出了DMD操作控制时序。整个方案切实可行,可为系统实现提供理论依据。 展开更多
关键词 颜色控制 数字微镜器件 彩色视频显示
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基于DMD的长波红外变焦投影系统设计 被引量：7
11
作者 李卓 牟达 +1 位作者 吕世龙 周强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第12期341-346,共6页
基于数字微镜器件（DMD）的红外景象模拟器在室内环境下通过模拟真实景物及其环境的红外辐射来测试红外成像系统的性能。为实现基于DMD的红外景象模拟器能够满足不同待测系统的视场角匹配,同时为避免投影系统与照明系统发生空间上的重叠... 基于数字微镜器件（DMD）的红外景象模拟器在室内环境下通过模拟真实景物及其环境的红外辐射来测试红外成像系统的性能。为实现基于DMD的红外景象模拟器能够满足不同待测系统的视场角匹配,同时为避免投影系统与照明系统发生空间上的重叠,设计了一套配有分光棱镜的红外变焦投影系统。该系统工作波段为8~12μm,F数为2.7,采用光学补偿变焦方式,可实现50/100/150/200 mm四档变焦。根据四组元系统负组补偿原理及其高斯光学公式对系统光学参数进行计算,选用与参数相近的初始结构进行处理及优化。设计结果表明,各焦距位置在20 lp/mm处的调制传递函数值均接近衍射极限,符合使用要求。 展开更多
关键词 光学设计 数字微镜器件(dmd) 光学补偿 红外变焦 投影系统
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双DMD变焦红外双波段场景模拟器光学引擎设计 被引量：2
12
作者 潘越 徐熙平 乔杨 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期437-444,共8页
为仿真现实场景中目标和干扰的光谱分布差异,设计了一种基于双数字微镜器件(DMD,Digital Micro-mirror Device)的双通道、共口径、变焦光学引擎,包括投影光学系统和两套照明光学系统.光学引擎以红外中波和长波柯勒远心光路分别直接照明... 为仿真现实场景中目标和干扰的光谱分布差异,设计了一种基于双数字微镜器件(DMD,Digital Micro-mirror Device)的双通道、共口径、变焦光学引擎,包括投影光学系统和两套照明光学系统.光学引擎以红外中波和长波柯勒远心光路分别直接照明两DMD靶面,采用空间立体布局避免不同光路间干扰.设计结果表明:照明光学系统的照度均匀性优于94%;中波(3.7~4.8μm)和长波(8~12μm)内,变焦投影光学系统在10 1p/mm处的调制传递函数(MTF,Modulation Transfer Function)值分别优于0.7和0.4;系统畸变小于0.5%,满足使用要求. 展开更多
关键词 光学设计 红外仿真 数字微镜器件(dmd) 双波段 光学引擎
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基于DMD的并行共焦图像处理方法研究 被引量：1
13
作者 余卿 余晓芬 +1 位作者 崔长彩 叶瑞芳 《计量学报》 CSCD 北大核心 2015年第2期113-117,共5页
在并行共焦测量中，用于构造点光源阵列的光分束器件普遍存在参数固化、对不同测量对象适应性较差的缺点。将数字微镜器件（DMD）作为光分束器件应用于并行共焦测量，可以控制DMD构造柔性化点光源阵列，应对不同的测量场合。推导了DMD... 在并行共焦测量中，用于构造点光源阵列的光分束器件普遍存在参数固化、对不同测量对象适应性较差的缺点。将数字微镜器件（DMD）作为光分束器件应用于并行共焦测量，可以控制DMD构造柔性化点光源阵列，应对不同的测量场合。推导了DMD的空间光调制模型，规避了“泰伯效应”对并行共焦测量的影响，设计了可抑制光点横向漂移的远心光路，构建了基于DMD的并行共焦测量装置，对比了两种不同的并行共焦图像处理方法。实验结果表明，在没有设置高数值孔径物镜组的情况下，测量装置的纵向分辨率受到一定影响，但所设计的图像处理程序能够快速、准确地获取被测物面的形貌特征。 展开更多
关键词 计量学 并行共焦测量 图像处理 数字微镜器件 点光源阵列
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用于跨尺度测量的DMD控制策略研究
14
作者 余卿 崔长彩 +1 位作者 付胜杰 叶瑞芳 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期7-12,共6页
为了测量被测物面的微观特征量及这些特征量间的关系,提出基于数字微镜器件(DMD)的跨尺度测量方法,研究针对DMD的控制方法及基于DMD的测量策略,在不对测量系统硬件做任何修改的前提下,仅通过软件编程实现对DMD结构光参数的改变,理论上... 为了测量被测物面的微观特征量及这些特征量间的关系,提出基于数字微镜器件(DMD)的跨尺度测量方法,研究针对DMD的控制方法及基于DMD的测量策略,在不对测量系统硬件做任何修改的前提下,仅通过软件编程实现对DMD结构光参数的改变,理论上可实现从0.1μm到1 mm的跨尺度测量。搭建了基于DMD的跨尺度测量平台,实验结果表明,轴向测量精度与横向分辨力均可达到微米级,可实现对表面微观结构的快速扫描。该方法可以较好地解决目前诸多表面形貌测量中存在的多尺度问题。 展开更多
关键词 表面形貌测量 跨尺度测量 数字微镜器件 结构光
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基于DMD的高动态范围望远系统设计
15
作者 李春才 巩岩 王延杰 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2014年第12期19-23,共5页
针对高动态范围目标，本文设计了一种基于数字微镜器件（DMD），能够对高动态目标进行自动区域调光的望远系统，其中DMD为中间像面。首先DMD上所有微反射镜处于开状态，获取一幅目标景象的图像，按照平均灰度和局部动态将该图像划分为... 针对高动态范围目标，本文设计了一种基于数字微镜器件（DMD），能够对高动态目标进行自动区域调光的望远系统，其中DMD为中间像面。首先DMD上所有微反射镜处于开状态，获取一幅目标景象的图像，按照平均灰度和局部动态将该图像划分为若干小区域，并设定各区域的曝光时间等参数。按照确定的参数逐区控制DMD微反射镜的开关状态及时间，并完成探测器的曝光成像，获得具有高动态范围的图像。设计的望远系统焦距为223 mm，F数为5，视场为3°，工作波段为480～760 nm，最终系统的动态范围可达140 dB。设计结果表明，在DMD像面上，各视场 MTF 在 Nyquist 频率处均大于0.70，畸变接近于0；在探测器像面上，各视场 MTF 在 Nyquist频率处均大于0.55，畸变小于2%。 展开更多
关键词 光学设计 动态范围 数字微镜器件 望远系统
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基于数字微镜阵列的二维红外光场调控(特邀)
16
作者 马晓帅 朱东旭 +1 位作者 万卓仁 闫明 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第5期68-76,共9页
高重复频率超短脉冲激光在高速测量与激光加工等领域具有重要应用价值。针对高重频皮秒脉冲光产生及调控的需要,提出一种基于数字微镜阵列的二维红外光场调控系统。该系统使用虚像相位阵列将激光脉冲的频率成分沿纵向色散展开,并结合衍... 高重复频率超短脉冲激光在高速测量与激光加工等领域具有重要应用价值。针对高重频皮秒脉冲光产生及调控的需要,提出一种基于数字微镜阵列的二维红外光场调控系统。该系统使用虚像相位阵列将激光脉冲的频率成分沿纵向色散展开,并结合衍射光栅将混叠的光谱横向分离,实现脉冲光频与二维平面的映射对应。利用数字微镜阵列对特定频率成分进行强度调制,从而实现对脉冲光场的精密调控。为验证系统的光谱色散效果及光频对应关系,使用红外相机对傅里叶平面处的光场进行观测,并对分辨率靶进行成像分析。对系统的光场调控能力进行可行性验证,结果表明,通过对频率成分进行调制,可产生数量超过52个、时域间隔为16.67 ps的脉冲序列,信噪比可达46.02 dB,并可对其进行250 ps及500 ps的相对延时控制。该系统具有调控精度高、调制速度快等特点,在高速测量或加工系统的控制中具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 光场调控 数字微镜阵列 虚像相位阵列 高重频脉冲激光
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基于DMD的高动态范围成像光学系统设计 被引量：13
17
作者 吕伟振 刘伟奇 +3 位作者 魏忠伦 康玉思 冯睿 杨建明 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第4期1167-1171,共5页
为了解决光电成像设备对空间实际场景观测时提出的高动态范围要求,设计了一种新型的像元级光强调制的高动态范围成像系统。系统由成像物镜、折叠反射镜、二次成像转置物镜组成,采用TI公司的数字微镜阵列(DMD)作为光强调制器件,通过光瞳... 为了解决光电成像设备对空间实际场景观测时提出的高动态范围要求,设计了一种新型的像元级光强调制的高动态范围成像系统。系统由成像物镜、折叠反射镜、二次成像转置物镜组成,采用TI公司的数字微镜阵列(DMD)作为光强调制器件,通过光瞳匹配原则使两个系统完美衔接,并利用二次成像系统实现DMD单元与图像传感器的像素一一对应,设计结果显示:在像面的Nyquist频率处,全视场的MTF≥0.55,弥散圆的直径小于CMOS图像传感器的像素尺寸,并且畸变等像差也校正良好。该方法不仅可以提高图像传感器的可探测动态范围,还能够实时地探测到强弱目标,满足空间目标视景成像的要求。 展开更多
关键词 高动态范围 数字微镜阵列 像元级调制 二次成像 光学设计
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基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现 被引量：5
18
作者 陆亚聪 陈林森 +2 位作者 魏国军 邵洁 周小红 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期46-47,共2页
提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨... 提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨率能够达到6000DPI,能够制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字,并给出了实验结果。 展开更多
关键词 激光直写 数字微反射镜 光变图像
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基于DMD的近红外光谱仪的研究 被引量：3
19
作者 王莹 刘华(指导) +3 位作者 李金环 陆子凤 许家林 陈斌 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第6期422-430,共9页
数字微镜器件(Digital Micromirror Device,DMD)作为一种新型的空间光调制器,具有分辨率高、生产成本低、加工效率高等优点,使用起来非常灵活,因此实验室搭建了基于DMD的近红外光谱仪。首先,介绍了DMD近红外光谱仪的基本工作原理。其次... 数字微镜器件(Digital Micromirror Device,DMD)作为一种新型的空间光调制器,具有分辨率高、生产成本低、加工效率高等优点,使用起来非常灵活,因此实验室搭建了基于DMD的近红外光谱仪。首先,介绍了DMD近红外光谱仪的基本工作原理。其次,对该光谱仪进行了波长标定,提出基于同一样品吸光度曲线相关系数的方法对其进行了波长台间差标准化,使得波长的台间差在理论上小于0.1 nm,在模型转移时符合要求。又通过在强光与弱光条件下对其噪声与信噪比的测试实验对比得出DMD近红外光谱仪不同编码模版的选择准则:在强光条件下扫描方法优于阿达玛方法,在弱光条件下相反。最后,利用该光谱仪对实际样品汽油和柴油进行检测,测试结果表明该光谱仪性能稳定。该DMD近红外光谱仪检测波长范围为1 330~2 500 nm,吸光度偏差小于等于0.000 4 AU。 展开更多
关键词 近红外光谱仪 数字微镜器件 波长标准化 模版选择
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基于DMD微光刻的导光板模板的制作方法 被引量：3
20
作者 李晓建 朱冀梁 +2 位作者 申溯 周小红 陈林森 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期669-673,共5页
提出了一种基于数字微反射镜(DMD)微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入,经过缩微光学成像系统缩微后,在光刻胶干板上逐单元网点曝光,再经过显影、微电铸得到导光板模板,在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板,厚... 提出了一种基于数字微反射镜(DMD)微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入,经过缩微光学成像系统缩微后,在光刻胶干板上逐单元网点曝光,再经过显影、微电铸得到导光板模板,在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板,厚度仅为0.381 mm。采用自行研制的SVGwriting-DMD激光直写系统,图形的最小分辨率为2μm,DMD微光刻法无需掩膜版,可实现不同形状、大小、微结构的单元网点图形及网点的排布,便于大幅面的导光板模板的制作。 展开更多
关键词 激光直写 数字微反射镜 导光板 微光刻制
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