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A time domain induced polarization relaxation time spectrum inversion method based on a damping factor and residual correction 被引量:2
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作者 Liu Xiaonan Kong Li +1 位作者 Zhou Kaibo Zhang Pu 《Petroleum Science》 SCIE CAS CSCD 2014年第4期519-525,共7页
Relaxation time spectra (RTS) derived from time domain induced polarization data (TDIP) are helpful to assess oil reservoir pore structures. However, due to the sensitivity to the signal-to-noise ratio (SNR), th... Relaxation time spectra (RTS) derived from time domain induced polarization data (TDIP) are helpful to assess oil reservoir pore structures. However, due to the sensitivity to the signal-to-noise ratio (SNR), the inversion accuracy of the traditional singular value decomposition (SVD) inversion method reduces with a decrease of SNR. In order to enhance the inversion accuracy and improve robustness of the inversion method to the SNR, an improved inversion method, based on damping factor and spectrum component residual correction, is proposed in this study. The numerical inversion results show that the oscillation of the RTS derived from the SVD method increased with a decrease of SNR, which makes it impossible to get accurate inversion components. However, the SNR has little influence on inversion components of the improved method, and the RTS has high inversion accuracy and robustness. Moreover, RTS derived from core sample data is basically in accord with the pore-size distribution curve, and the RTS derived from the actual induced polarization logging data is smooth and continuous, which indicates that the improved method is practicable. 展开更多
关键词 Inversion method damping factor relaxation time spectrum time domain inducedpolarization spectrum component residual correction
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基于核磁共振技术测量研究锂电池正极导电浆料的分散性
2
作者 周萍 栾振超 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第4期580-585,共6页
采用核磁共振(NMR)技术研究了不同类型导电颗粒制备的锂电池正极导电浆料。通过测量导电浆料的弛豫时间和弛豫谱,发现了在同等研磨分散条件下炭黑浆料的弛豫时间与比表面积(BET)值呈负相关性,且炭黑浆料弛豫谱为单峰结构,说明炭黑更容... 采用核磁共振(NMR)技术研究了不同类型导电颗粒制备的锂电池正极导电浆料。通过测量导电浆料的弛豫时间和弛豫谱,发现了在同等研磨分散条件下炭黑浆料的弛豫时间与比表面积(BET)值呈负相关性,且炭黑浆料弛豫谱为单峰结构,说明炭黑更容易得到分散;而碳纳米管(CNT)浆料的弛豫谱全部为多峰结构,说明CNT的分散性较差。研究结果表明,CNT浆料的固含量越大,颗粒的比表面积越大,那么弛豫谱主峰的弛豫时间就越大,主峰信号占比就越低,说明CNT在溶剂中就越容易发生纠缠和团聚。 展开更多
关键词 电学计量 导电浆料 锂电池 分散性 核磁共振 弛豫时间 弛豫谱
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天然胶松弛曲线的一种拟合方法 被引量:9
3
作者 裘怿明 吴其晔 +1 位作者 周继志 焦明起 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第4期114-118,共5页
采用单一的Maxwell模型确定被测材料的平均松弛时间,适当选择各运动单元的松弛时间,建立了五参数数学模型,各参数均用最小二乘法拟合。结果表明,均方根偏差均小于3%,松弛谱基本呈正态分布。
关键词 应力松弛行为 曲线拟合 高聚物
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根据烃与水的T_2差异确定含烃饱和度 被引量:5
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作者 何宗斌 倪静 +2 位作者 伍东 郭丽香 雷军 《石油天然气学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期92-96,共5页
核磁共振测井在储层评价应用方面取得了很大的成功,油气的定性识别与定量评价一直是其重要的研究发展方向。烃与水在T2分布上通常具有对称与近似对称特性,经过推导,可以将多种特征成分驰豫简化成只有烃与水两种特征驰豫。利用烃与水的T... 核磁共振测井在储层评价应用方面取得了很大的成功,油气的定性识别与定量评价一直是其重要的研究发展方向。烃与水在T2分布上通常具有对称与近似对称特性,经过推导,可以将多种特征成分驰豫简化成只有烃与水两种特征驰豫。利用烃与水的T2差异可以确定差分谱上烃的信号大小,经T1校正与含氢指数校正,可以得到地层的含烃孔隙度与含烃饱和度。将此方法应用到油水层与气水层的实际资料处理,流体类型识别和油气定量评价效果较好。 展开更多
关键词 核磁共振测井 纵向驰豫时间T1 横向驰豫时间T2 差分谱 流体识别 含烃饱和度
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基于核磁共振二维谱技术识别储层流体类型 被引量:16
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作者 顾兆斌 刘卫 +1 位作者 孙佃庆 孙威 《西南石油大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期83-86,共4页
在梯度磁场的作用下,测量流体的CPMG脉冲回波时间间隔的平方与表观弛豫时间的倒数之间存在线性关系。通过一维反演方法得到了流体的表观弛豫时间T2,利用线性拟合的方法得到了流体的扩散系数和弛豫时间;通过二维反演方法得到核磁共振二维... 在梯度磁场的作用下,测量流体的CPMG脉冲回波时间间隔的平方与表观弛豫时间的倒数之间存在线性关系。通过一维反演方法得到了流体的表观弛豫时间T2,利用线性拟合的方法得到了流体的扩散系数和弛豫时间;通过二维反演方法得到核磁共振二维谱(D-T2),建立了多孔介质中饱和流体类型的识别方法。研究表明:在一定温度下,油的弛豫时间和扩散系数存在线性关系,气和水的扩散系数在一定条件下是常数。由于油、气、水弛豫时间和扩散系数的不同,在核磁共振二维谱上得到很好的表征,因此可以快速、直观地识别它们,为识别流体类型提供了一种新方法。 展开更多
关键词 核磁共振 二维谱 流体识别 扩散系数 弛豫时间T2
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应用核磁共振测井进行海拉尔地区储层分类 被引量:18
6
作者 钟淑敏 刘传平 +1 位作者 朱建华 张春路 《测井技术》 CAS CSCD 2008年第2期191-195,共5页
大庆油田海拉尔地区岩性复杂,孔隙结构差异大,应用常规测井方法无法准确划分储层。应用核磁共振测井资料处理得到的孔径分布曲线可明显看出储层微小孔隙及大孔隙的发育程度,直观准确地划分储层与非储层;利用核磁共振T2分布曲线还可计算... 大庆油田海拉尔地区岩性复杂,孔隙结构差异大,应用常规测井方法无法准确划分储层。应用核磁共振测井资料处理得到的孔径分布曲线可明显看出储层微小孔隙及大孔隙的发育程度,直观准确地划分储层与非储层;利用核磁共振T2分布曲线还可计算出连续的毛细管压力曲线。综合应用核磁共振和试油资料,建立了海拉尔盆地南屯组储层定量分类标准,将储层分为Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ类。应用该方法在海拉尔盆地处理解释16口井,经试油资料验证符合率达到95%以上。该方法弥补了利用常规测井和岩心毛细管压力曲线进行储层分类的不足,解决了海拉尔盆地储层分类评价的难题。 展开更多
关键词 核磁共振测井 横向弛豫时间谱(T2谱) 毛细管压力 孔隙结构 储层分类 标准
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微观剩余油核磁共振二维谱测试技术 被引量:9
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作者 王军 孟小海 +1 位作者 王为民 刘乃贵 《石油实验地质》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期654-659,共6页
多孔介质中油水的有效区分是目前微观剩余油研究中的一个难题。利用核磁共振T2谱可以准确测定多孔介质中流体饱和度的特点,通过引进扩散系数这一参数,将先进的核磁共振二维谱技术应用于微观剩余油赋存状态研究中,解决了油水定量区分的... 多孔介质中油水的有效区分是目前微观剩余油研究中的一个难题。利用核磁共振T2谱可以准确测定多孔介质中流体饱和度的特点,通过引进扩散系数这一参数,将先进的核磁共振二维谱技术应用于微观剩余油赋存状态研究中,解决了油水定量区分的问题。同时,通过提升设备技术指标、优化计算方法、建立受激回波双极脉冲梯度法等方式,解决了高黏油测量中短弛豫组分缺失的问题,使得该技术可以充分满足剩余油微观赋存状态研究需求,为实现微观剩余油的定量表征提供了一种新的实验技术。 展开更多
关键词 核磁共振二维谱 弛豫时间 扩散系数 微观剩余油
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高聚物熔体松弛时间谱的计算 被引量:4
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作者 郝如江 陈静波 +1 位作者 申长雨 田中 《郑州工业大学学报》 CAS 2001年第4期90-92,共3页
松弛时间谱是描述聚合物熔体粘弹性质的重要参数 ,它不能通过实验直接获得 .基于聚合物熔体储能模量和耗能模量 ,给出了采用最小二乘线性回归得到熔体松弛时间谱的计算方法 .通过一个算例检验该算法的有效性 ,分析了松弛时间及松弛模态... 松弛时间谱是描述聚合物熔体粘弹性质的重要参数 ,它不能通过实验直接获得 .基于聚合物熔体储能模量和耗能模量 ,给出了采用最小二乘线性回归得到熔体松弛时间谱的计算方法 .通过一个算例检验该算法的有效性 ,分析了松弛时间及松弛模态数的选取对计算结果的影响 。 展开更多
关键词 松弛时间谱 最小二乘法 线性回归 高聚物熔体 计算 粘弹性材料 松弛模态数
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MRIL-P型核磁共振测井技术及应用 被引量:10
9
作者 邵维志 丁娱娇 《测井技术》 CAS CSCD 2002年第3期205-212,共8页
MRIL -P型核磁共振测井仪是Numar公司推出的继MRIL -C型仪器之后的新一代核磁共振测井仪。介绍了P型仪器的技术性能和测量模式的选择 ;测前设计由选择不同的测量模式所决定 ,须考虑目标区块流体的核磁特性、预测被测储层的核磁响应、对... MRIL -P型核磁共振测井仪是Numar公司推出的继MRIL -C型仪器之后的新一代核磁共振测井仪。介绍了P型仪器的技术性能和测量模式的选择 ;测前设计由选择不同的测量模式所决定 ,须考虑目标区块流体的核磁特性、预测被测储层的核磁响应、对测量方式和采集参数的优化选择等因素 ;介绍了资料的定量评价的解释模型和解释方法 ; 展开更多
关键词 MRIL-P型 核磁共振测井技术 应用 纵向 横向 弛豫时间 差谱 移谱
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应用核磁共振在线检测技术研究不同赋存状态下的页岩气动用规律 被引量:7
10
作者 端祥刚 胡志明 +5 位作者 顾兆斌 常进 沈瑞 孙威 穆英 周广照 《天然气工业》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期76-83,共8页
要合理制订页岩气井生产制度,进而优化页岩气田开发技术政策,弄清不同赋存状态下的页岩气产出规律是前提和基础。为了避免间接测试的不确定性,研发了适用于高温高压条件下的核磁共振在线检测系统,选取四川盆地长宁地区N203井下志留统龙... 要合理制订页岩气井生产制度,进而优化页岩气田开发技术政策,弄清不同赋存状态下的页岩气产出规律是前提和基础。为了避免间接测试的不确定性,研发了适用于高温高压条件下的核磁共振在线检测系统,选取四川盆地长宁地区N203井下志留统龙马溪组龙一_(1)^(1)层页岩岩心,以甲烷气体为实验流体,测量在页岩气开采过程中游离态和吸附态甲烷产出量的变化情况,并且结合页岩气衰竭式开发物理模拟实验,对不同赋存状态下的页岩气动用特征和产出变化规律进行了研究。研究结果表明:①饱和甲烷气体的页岩核磁共振T_(2)谱图具有明显的双峰特征,吸附态甲烷主要赋存于页岩纳米孔隙表面,弛豫时间较短(0.1~1.0 ms),而游离态甲烷则赋存于较大的页岩孔隙中,弛豫时间较长(1~100 ms);②采用核磁共振测量的甲烷总含气量及吸附态/游离态甲烷气量与采用间接方法计算的结果较为接近;③基于页岩气开发物理模拟实验,在开发初期,产出气以游离态甲烷为主,吸附态甲烷的阶段贡献率低于5%,随着生产的持续,吸附态甲烷的阶段贡献率逐渐增加,尤其是当压力低于15 MPa以后,吸附态甲烷的阶段贡献率迅速上升,至生产后期,吸附态甲烷的阶段贡献率超过50%,累计贡献率达到30%;④把实验结果换算为矿场条件下气井的生产动态数据,生产前5年,吸附气对气井累计产气量的贡献率不足5%,至生产末期,吸附气对累计产气量的贡献率可以达到25%。结论认为,核磁共振在线监测技术可以定量表征不同赋存状态下甲烷气体的动用规律,为后续开展页岩气气水两相渗吸、CO_(2)/CH_(4)吸附置换等研究提供了新的方法。 展开更多
关键词 核磁共振 页岩气 甲烷 吸附态 游离态 弛豫时间 产气规律 T_(2)谱
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基于动态模量主曲线的沥青混合料连续松弛时间谱 被引量:9
11
作者 迟凤霞 张肖宁 邹桂莲 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期76-80,91,共6页
通过动态剪切流变试验,结合时温换算法则得到沥青混合料全温全频域内的主曲线;应用相关的计算方法,获得连续松弛时间谱的解析表达式,并研究松弛时间谱在沥青混合料性能研究方面的应用.结果表明,动态剪切流变试验能够有效获得连续松弛时... 通过动态剪切流变试验,结合时温换算法则得到沥青混合料全温全频域内的主曲线;应用相关的计算方法,获得连续松弛时间谱的解析表达式,并研究松弛时间谱在沥青混合料性能研究方面的应用.结果表明,动态剪切流变试验能够有效获得连续松弛时间谱,连续松弛时间谱能够为沥青混合料的工程性能研究提供有利手段. 展开更多
关键词 沥青混合料 连续松弛时间谱 主曲线 动态模量 全温全频域
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松弛谱表征NEPE推进剂的老化 被引量:3
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作者 万谦 隋欣 +1 位作者 张鹏峰 王宁飞 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期991-996,共6页
为研究NEPE推进剂的老化情况,探讨了运用连续松弛谱表征NEPE推进剂老化进程的方法。分别对在80℃,75℃,70℃,65℃下加速老化的NEPE推进剂进行动态力学分析试验,数据表明,NEPE推进剂的连续松弛谱可以直观全面表征推进剂高分子多层结构的... 为研究NEPE推进剂的老化情况,探讨了运用连续松弛谱表征NEPE推进剂老化进程的方法。分别对在80℃,75℃,70℃,65℃下加速老化的NEPE推进剂进行动态力学分析试验,数据表明,NEPE推进剂的连续松弛谱可以直观全面表征推进剂高分子多层结构的粘弹性特性,且同一加速老化温度下随老化时间增加动态粘弹性连续松弛谱频率分布范围逐步收窄,结合推进剂老化机理分析,该变化趋势可以表征推进剂老化进程。 展开更多
关键词 连续松弛谱 时温等效原理 NEPE推进剂 老化
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泥质砂岩的激发极化弛豫时间谱反演 被引量:2
13
作者 童茂松 李莉 +2 位作者 姜亦忠 张加举 王伟男 《测井技术》 CAS CSCD 2006年第1期64-66,共3页
激发极化谱较极化率具有更为丰富的储层信息。为更好地利用激发极化谱评价储层,采用正则化方法并结合奇异值分解技术对泥质砂岩的激发极化衰减谱进行了多指数反演,得到了连续光滑的弛豫时间谱。在激发极化衰减谱信噪比较高的情况下,... 激发极化谱较极化率具有更为丰富的储层信息。为更好地利用激发极化谱评价储层,采用正则化方法并结合奇异值分解技术对泥质砂岩的激发极化衰减谱进行了多指数反演,得到了连续光滑的弛豫时间谱。在激发极化衰减谱信噪比较高的情况下,约束条件矩阵不影响反演结果,而且弛豫时间分布点数为32-64较为合适。可以利用激发极化弛豫时间谱进行地层渗透率评价,logK随log(Eg^4/2/F)线性增加。 展开更多
关键词 泥质砂岩 激发极化 正则化 衰减谱 弛豫时间谱反演 渗透率
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应用核磁共振测量技术测量稠油-水相对渗透率曲线 被引量:2
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作者 蒲万芬 常家靖 +3 位作者 邹滨阳 刘锐 杜代军 赵帅 《油田化学》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期722-727,共6页
相对渗透率是稠油开发实验中一个重要的基本测量参数。由于稠油黏度较高,水驱过程易发生油水乳化现象,使得稠油-水相渗曲线较难准确获取。传统的相渗曲线测量方法存在测量精确度低、获得信息少等缺点。为准确测量稠油-水相渗曲线,选取... 相对渗透率是稠油开发实验中一个重要的基本测量参数。由于稠油黏度较高,水驱过程易发生油水乳化现象,使得稠油-水相渗曲线较难准确获取。传统的相渗曲线测量方法存在测量精确度低、获得信息少等缺点。为准确测量稠油-水相渗曲线,选取人造砂岩长岩心,并基于低场核磁共振测量技术,通过同时标定渤海B油藏的稠油和地层水,采用非稳态法进行稠油-水相渗曲线的测量。结果表明,通过对岩心以及出口端的采出液进行T谱测试,较为准确地获取了岩心的孔隙体积(147.18 cm^(3))、束缚水饱和度(25.9%)、残余油饱和度(43.83%)以及出口端的油、水含量,并得到较为精确的稠油-水相渗曲线。通过对发生油水乳化的采出液进行自扩散系数(D)/T_(2)二维谱测试,可较为准确地判断油水是否发生了乳化。研究结果可以为稠油水驱开发提供一定的理论指导,有利于稠油水驱开采机理的研究。 展开更多
关键词 低场核磁共振 稠油 相渗曲线 弛豫时间谱 扩散-弛豫二维谱
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岩石激发极化弛豫时间谱实验研究 被引量:3
15
作者 蒋宇冰 范宜仁 邓少贵 《测井技术》 CAS CSCD 2007年第4期311-313,共3页
岩石的激发极化谱比岩石本身的极化率具有更丰富的信息。目前对激发极化现象的产生机理、极化特性等方面的研究还不够深入,对饱含丰富信息的极化谱的研究更少。以大量岩石激发极化实验和核磁共振实验数据为基础,应用阻尼最小二乘法实现... 岩石的激发极化谱比岩石本身的极化率具有更丰富的信息。目前对激发极化现象的产生机理、极化特性等方面的研究还不够深入,对饱含丰富信息的极化谱的研究更少。以大量岩石激发极化实验和核磁共振实验数据为基础,应用阻尼最小二乘法实现了极化谱和T2的反演。分析了不同矿化度对极化谱的影响,对极化谱和T2谱进行了对比。岩石的激发极化时间衰减谱和T2谱在峰的个数和形态上都与T2谱有很好的相关性,二者又能同时反映孔喉结构。利用研究T2谱和岩石孔隙度、渗透率等参数之间的关系建立极化谱和这些参数之间的关系。通过研究,增强了对激发极化弛豫时间谱的认识,为激发极化测井提供有力的技术支持。 展开更多
关键词 岩石物性 地层水矿化度 激发极化 极化谱 T2谱
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振动力场作用下单螺杆塑化熔融过程数值模拟 被引量:2
16
作者 冯彦洪 瞿金平 +3 位作者 刘斌 何和智 晋刚 邹新良 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期104-110,共7页
为研究振动力场对单螺杆挤出机中熔融过程的影响,根据“流动的固体”这一概念,利用流体动力学实现对整个熔融区域的求解,解决了相变以及固熔界面跟踪的问题,建立了简化的二维动态熔融模型.由于熔融过程是一个非等温相变过程,并且振动力... 为研究振动力场对单螺杆挤出机中熔融过程的影响,根据“流动的固体”这一概念,利用流体动力学实现对整个熔融区域的求解,解决了相变以及固熔界面跟踪的问题,建立了简化的二维动态熔融模型.由于熔融过程是一个非等温相变过程,并且振动力场作用下聚合物具有依时性非线性黏弹特性,因此修正了具有松弛谱特性的Maxwell非等温黏弹本构模型,对动态熔融过程进行了模拟,并分析了振动频率与振幅对熔融行为的影响规律. 展开更多
关键词 振动力场 单螺杆 动态熔融 数值模拟 松弛谱 非等温黏弹本构模型
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二维核磁共振D-T2测量数据处理算法及应用 被引量:2
17
作者 姜志敏 党煜蒲 +3 位作者 张国强 薛志波 张嘉伟 李东 《测井技术》 CAS 2020年第1期27-31,共5页
在复杂油水气共存的储层中,一维核磁共振测井仪器测量的回波信号反演出的T2谱会出现谱峰的重叠,导致油气水识别困难。二维核磁共振测井技术通过扩散系数D和横向弛豫时间T2谱的探测,获得D-T2谱,能够对井下流体类型及含量进行更精确的判... 在复杂油水气共存的储层中,一维核磁共振测井仪器测量的回波信号反演出的T2谱会出现谱峰的重叠,导致油气水识别困难。二维核磁共振测井技术通过扩散系数D和横向弛豫时间T2谱的探测,获得D-T2谱,能够对井下流体类型及含量进行更精确的判别与分析。基于二维核磁D-T2数据处理算法软件的研制,利用截取奇异值矩阵的方案进行数值模拟,通过实验室刻度验证,获得了一套可用于井下仪器的后处理算法软件,在渤海某井进行商业井作业,分析结果与地层特征吻合。 展开更多
关键词 二维核磁共振测井 D-T2谱 扩散系数 弛豫时间 渤海油田
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部分水解聚丙烯酰胺溶液的黏弹性数学模型及其松弛时间谱的研究 被引量:2
18
作者 秦青 张敏革 +1 位作者 林兴华 杨久平 《石油化工》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期64-70,共7页
利用稳态剪切实验和小振幅动态震荡剪切实验得到部分水解聚丙烯酰胺(HPAM)溶液的弹性模量、黏性模量、表观黏度和第一法向应力差,采用定义平均标准偏差为目标函数,拟合了HPAM溶液的松弛时间谱,结合KBKZ本构方程,在准确可靠表征HPAM溶液... 利用稳态剪切实验和小振幅动态震荡剪切实验得到部分水解聚丙烯酰胺(HPAM)溶液的弹性模量、黏性模量、表观黏度和第一法向应力差,采用定义平均标准偏差为目标函数,拟合了HPAM溶液的松弛时间谱,结合KBKZ本构方程,在准确可靠表征HPAM溶液黏弹性的前提下,将松弛时间谱的个数减少为3个,并对比了实验值和模型计算值。实验结果表明,角频率变化对HPAM溶液弹性模量的影响较大而对其黏性模量的影响较小。HPAM溶液具有剪切稀化特性,且剪切速率越大,溶液弹性越大。选取6个松弛时间数和3个松弛时间数计算得到的黏性模量、表观黏度和第一法向应力差与实验数据基本一致。对于一般的HPAM溶液松弛时间谱的模拟计算,选取3个松弛时间数足以满足需要,为工程中的简化计算提供了理论依据。 展开更多
关键词 部分水解聚丙烯酰胺 黏弹性数学模型 松弛时间谱 KBKZ本构方程
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利用激发极化确定泥质砂岩渗透率的实验研究 被引量:3
19
作者 王宏建 童茂松 《测井技术》 CAS CSCD 2008年第4期296-299,共4页
激发极化衰减谱与泥质砂岩储层的孔隙结构有密切的关系,因此可以用来求取渗透率,这个参数是油气生产的关键参数。本文的目的就是建立合理的模型,从而可以通过激发极化求取地层渗透率。采用四电极法测量了大庆油田123块岩心的激发极化衰... 激发极化衰减谱与泥质砂岩储层的孔隙结构有密切的关系,因此可以用来求取渗透率,这个参数是油气生产的关键参数。本文的目的就是建立合理的模型,从而可以通过激发极化求取地层渗透率。采用四电极法测量了大庆油田123块岩心的激发极化衰减谱,通过反演得到相应的弛豫时间谱,建立了不同的渗透率求取模型,并对这些模型进行了讨论。结果表明与传统的通过孔隙度或者地层因素方法求取渗透率的模型相比,所建立的模型具有更高的精度,因而更适合于求取渗透率。 展开更多
关键词 激发极化 弛豫时间谱 渗透率 泥质砂岩 实验研究
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O_2^+注入Si的折射率谱和弛豫时间 被引量:1
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作者 马德录 韩宇 《半导体情报》 1998年第1期51-55,共5页
用椭圆偏光谱仪测量了注入能量为50keV、不同注入剂量的O_2~+注入Si的折射率谱。计算了单晶硅电极化的弛豫时间,并对结果进行了讨论。
关键词 离子注入 椭圆偏光谱 折射率谱 氧气
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