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题名硅片磨床伺服进给系统仿真模型与分析
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作者
张逸民
朱祥龙
董志刚
康仁科
徐嘉慧
张津豪
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机构
大连理工大学高性能精密制造全国重点实验室
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出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2024年第4期102-104,109,共4页
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基金
国家重点研发计划项目(2020YFB2007600)
国家自然科学基金面上项目(51991372)
辽宁省“兴辽英才计划”项目(XLYC2007049)。
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文摘
在硅片磨削时,硅片加工质量与硅片磨床的进给系统性能密切相关。为了提升硅片磨床进给系统的精度和稳定性,提出了采用上位机、运动控制卡、伺服驱动器、位置传感器进行闭环控制进给的技术方案。研究了伺服系统和机械系统两者之间的相互耦合关系,建立了动力学模型,搭建了基于PID控制的三闭环控制系统,采用MATLAB中Simulink模块对进给系统进行仿真分析。仿真结果表明,磨床进给系统速度波动量在1%以下满足硅片磨削对进给精度的要求。
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关键词
硅片磨床
伺服进给系统
三闭环控制
动力学模型
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Keywords
silicon wafer grinder
servo feed system
three-loop control
dynamical model
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TG58
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名基于准滑动模态的雷达伺服系统控制
被引量：3
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作者
王思明
张东云
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机构
兰州交通大学自动化与电气工程学院
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出处
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期455-458,464,共5页
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文摘
为了改善某跟踪雷达伺服系统的性能,以无刷直流电机(BLDCM)作为天线伺服驱动,在无刷直流电机模型的基础上,设计了雷达伺服系统的三闭环控制系统,电流环和速度环均采用PI控制,位置环采用准滑模控制。给出了电流环和速度环的开环频率特性,并绘出了伺服系统位置环的阶跃响应曲线和正弦信号跟踪曲线。结果表明,所设计的伺服系统电流回路和速度回路稳定,能够达到性能要求;位置环响应速度有所提高,对系统参数的不确定性及干扰有很强的鲁棒性,雷达伺服系统的跟踪速度、跟踪精度、稳定性都有所改善。
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关键词
雷达伺服控制系统
无刷直流电机
三闭环控制
准滑模控制
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Keywords
radar servo control system
BLDCM
three closed-loop control
quasi-sliding mode control
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分类号
TM301
[电气工程—电机]
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题名基于模糊PID的茄衣茄套备料设备控制系统
被引量：1
- 3
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作者
吴斌方
冯晨伟
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机构
湖北工业大学机械工程学院
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出处
《现代电子技术》
2022年第13期99-103,共5页
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文摘
为优化茄衣茄套备料设备控制流程,对其主要运行设备滑台的伺服系统采用三环控制,针对滑台伺服系统受扰动影响较大不满足改进要求,传统PID控制无法实现参数自整定,对茄衣茄套备料设备滑台伺服系统提出基于模糊PID的控制方法。以滑台伺服系统为研究对象建立数学模型,在Matlab/Simulink软件中设计模糊PID控制器,对该控制系统位置环采用PID控制和模糊PID控制进行仿真分析,结果表明相较于传统PID控制,模糊PID控制响应速度更快、超调量更小、抗干扰能力更强。对引入模糊PID控制的滑台伺服系统进行实验,结果表明模糊PID控制的引入可满足对工作流程的优化改进。将设备改进控制流程后的切片时间与改进前作比较,一轮切片时间节省约50 s,大大提高了工作效率。
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关键词
茄衣茄套备料设备
伺服系统
三环控制
系统建模
模糊PID
仿真
位置环
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Keywords
cigar wrapper and binder preparation equipment
servo system
three⁃loop control
system modeling
fuzzy PID
simulation
position loop
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分类号
TN876-34
[电子电信—信息与通信工程]
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题名粒子滤波在无人飞艇天线跟踪中的应用
被引量：1
- 4
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作者
郭锐
殷兴辉
徐立中
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机构
河海大学计算机与信息学院
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出处
《现代雷达》
CSCD
北大核心
2014年第9期49-53,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61374019
11173010)
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文摘
为缓解无人飞艇天线跟踪系统中的时间延迟对系统指向性能的影响,分析了粒子滤波预测在无人飞艇天线跟踪系统中的应用。天线跟踪系统应用粒子滤波对时延阶段内的飞艇运动状态进行预测,并由位置环、速度环和电流环组成的伺服随动单元在飞艇坐标系下对飞艇天线的对地姿态预测角进行伺服控制,以调节飞艇天线精确地指向地面站。文中对比仿真了基于预测滤波和延迟观测量的飞艇天线跟踪系统对地面站的指向性能。结果表明,基于粒子滤波预测的无人飞艇天线跟踪系统能够避免扩展Kalman滤波算法在非线性估计中的不足,并补偿时间延迟对系统指向精度的影响,有效提高无人飞艇与地面站之间的通信能力。
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关键词
无人飞艇
天线跟踪系统
时延补偿
粒子滤波
三环伺服控制
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Keywords
unmanned airship
antenna tracking system
time delay compensation
particle filtering
three loop servo control
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分类号
V274
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名某型运动控制平台三环控制系统设计与仿真
被引量：7
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作者
张宇
李岱若
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机构
解放军
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出处
《现代雷达》
CSCD
北大核心
2020年第3期57-62,共6页
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文摘
为了提高舰载某型运动控制平台伺服控制系统的运行效率和响应能力,以计算机建模和虚拟样机技术为基础,应用ADAMS和Matlab/Simulink协同仿真技术,建立了三环永磁同步电机矢量控制模型,并设计了一种同步电机驱动下的三环伺服控制器。仿真结果表明,该三环伺服控制器能够有效提高系统的动态响应性能和跟随定位能力,并且满足工程控制的相应稳定性要求。
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关键词
永磁同步电机
伺服控制系统
三环控制仿真
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Keywords
permanet magnet synchronous motor
servo control system
three-loop control simulation
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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