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测辐射热计微桥结构的形变分析
被引量：
2
1
作者
张一中
吴志明
+2 位作者
许向东
周影
蒋亚东
《红外技术》
CSCD
北大核心
2008年第9期516-519,523,共5页
采用微加工技术制作测辐射热计阵列时,部分微桥可能发生结构变形,使阵列的性能下降甚至无法正常工作。采用有限元分析方法,对在热膨胀和薄膜应力影响下的I型和L型两种微桥的变形进行了仿真分析,揭示了热膨胀和薄膜应力分别对微桥形变的...
采用微加工技术制作测辐射热计阵列时,部分微桥可能发生结构变形,使阵列的性能下降甚至无法正常工作。采用有限元分析方法,对在热膨胀和薄膜应力影响下的I型和L型两种微桥的变形进行了仿真分析,揭示了热膨胀和薄膜应力分别对微桥形变的影响。
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关键词
微桥结构
结构形变
热膨胀
薄膜应力
有限元分析
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职称材料
题名
测辐射热计微桥结构的形变分析
被引量：
2
1
作者
张一中
吴志明
许向东
周影
蒋亚东
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2008年第9期516-519,523,共5页
文摘
采用微加工技术制作测辐射热计阵列时,部分微桥可能发生结构变形,使阵列的性能下降甚至无法正常工作。采用有限元分析方法,对在热膨胀和薄膜应力影响下的I型和L型两种微桥的变形进行了仿真分析,揭示了热膨胀和薄膜应力分别对微桥形变的影响。
关键词
微桥结构
结构形变
热膨胀
薄膜应力
有限元分析
Keywords
micro-bridge
deformation
thermal expansion： film stress~ finite elementsanalysis
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
测辐射热计微桥结构的形变分析
张一中
吴志明
许向东
周影
蒋亚东
《红外技术》
CSCD
北大核心
2008
2
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