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题名薄膜体声波谐振器温度-频率漂移特性分析
被引量：3
- 1
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作者
周斌
高杨
何移
李君儒
何婉婧
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机构
西南科技大学信息工程学院
中国工程物理研究院电子工程研究所
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第2期171-175,共5页
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基金
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2012CJMZZ00009)
西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题基金资助项目(11ZXZK03)
+2 种基金
西南科技大学研究生创新基金资助项目(13ycjj31
13ycjj36)
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金资助项目(2013MS04)
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文摘
薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个典型Mo-AlN-Mo结构的FBAR进行温度-频率漂移特性的仿真,在-50^+150℃温度范围内得到其温度频率系数为-33.6×10-6/℃。通过在FBAR结构中添加一层正温度系数的补偿层,分析了补偿层厚度对FBAR温度-频率漂移特性、谐振频率和机电耦合特性的影响。设计的温度补偿FBAR其温度频率系数为0.872×10-6/℃,比未添加补偿层时有很大改善。
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关键词
薄膜体声波谐振器
温度-频率漂移
温度频率系数
谐振频率
机电耦合
有限元分析
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Keywords
film bulk acoustic resonator （FBAR）
temperature-frequency drift
temperature coefficient of fre-quency （tcf）
resonant frequency
electromechanical coupling
finite element analysis （FEA）
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分类号
TN713
[电子电信—电路与系统]
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题名高性能温补型薄膜体声波滤波器的研制
被引量：1
- 2
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作者
刘娅
陈凤
黄晶
黄龙
吕峻豪
孙明宝
马晋毅
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机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第6期795-799,共5页
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文摘
该文研制了一种高性能温补型薄膜体声波谐振(TC-FBAR)滤波器。采用COMSOL软件对高性能温补型结构的谐振器进行建模和仿真,在常规一维Mason等效电路模型的基础上进行修正,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的TC-FBAR滤波器。采用空腔型结构并制备出温补型FBAR滤波器芯片,同时在常规TC-FBAR基础上制备空气桥和凸起层结构,得到双空气桥结构的高性能TC-FBAR滤波器。测试结果表明,滤波器的中心频率为2.43 GHz,最小插损为1.02 dB,1 dB带宽为70.5 MHz,频率温度系数为1.82×10^(-6)/℃。
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关键词
温补型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR)
滤波器
温补层
频率温度系数(tcf)
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Keywords
temperature compensation thin-film bulk acoustic resonator(TC-FBAR)
filter
temperature compensation layer
frequency temperature coefficient(tcf)
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
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题名基于ZnO/AlN/金刚石温补结构的研究
- 3
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作者
文武
刘传浩
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机构
重庆邮电大学通信与信息工程学院
重庆邮电大学通信新技术应用研究中心
重庆信科设计有限公司
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2019年第6期802-805,共4页
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文摘
使用COMSOL软件对ZnO/AlN/金刚石温度补偿结构进行建模分析,计算了该结构Love波模式0和模式1的频率温度系数(TCF)、声速(v)和机电耦合系数(k^2),且讨论了ZnO薄膜厚度hZnO和AlN薄膜厚度hAlN对这些参数的影响。结果表明,当hZnO=1μm,hAlN=1.88μm时,温度补偿结构Love波模式1的TCF=0,v=9208m/s,k^2=3.84%,说明这种温度补偿结构能应用在高频和温度补偿声表面波器件中。
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关键词
频率温度系数(tcf)
机电耦合系数(k^2)
COMSOL
LOVE波
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Keywords
frequency temperature coefficient(tcf)
electromechanical coupling coefficient(k^2)
COMSOL
Love wave
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
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题名基于重掺杂的谐振式传感器频率温度系数补偿研究
被引量：2
- 4
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作者
杨力建
游卫龙
张磊
杨恒
李昕欣
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机构
复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第2期39-41,45,共4页
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文摘
MEMS谐振式传感器具有精度高、准数字输出、抗干扰能力强等特点,高精度压力传感器、应力传感器等多采用谐振式工作原理。频率温度系数补偿是实现高精度谐振式传感器的关键技术。通过实验研究了利用重掺杂改善硅频率温度系数的技术。实验表明:P型掺杂浓度达到7×1019/cm3时,〈110〉晶向频率温度系数降低到-11.68×10-6/K;N型掺杂浓度达到6×1019/cm3时,〈100〉晶向谐振频率是温度的二次函数,在80℃左右频率温度系数有过零点。首次实验演示了利用低功耗加热控制结合N型重掺杂,当环境温度由30℃变化到40℃时,谐振频率温度漂移仅为1.13×10-7/℃。利用该技术可实现超高温度稳定性的谐振式传感器。
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关键词
谐振式传感器
振荡器
频率温度系数
温度补偿
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Keywords
resonant sensor
oscillator
temperature coefficient of frequency（tcf）
temperature compensation
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名乐甫波器件温度特性实验研究
- 5
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作者
陈桂
谢晓
王文
何世堂
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机构
中国科学院声学研究所
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2015年第2期193-196,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(11074268
11274340)
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文摘
研究了基于ST-90°X石英基片和SU-8波导层的乐甫波器件的温度特性。采用电极宽度控制单向单相（EWC/SPUDT）结构和铝电极,设计制作了具有单一模式控制功能和低插入损耗的150 MHz剪切型声表面波（SH-SAW）延迟线器件,并在其表面涂覆不同膜厚的SU-8声波导层构成系列乐甫波器件。由于SU-8波导层与石英基片温度系数的相反极性特性,SU-8膜厚直接影响到了乐甫波器件的温度特性。实验发现,覆盖不同膜厚的SU-8的乐甫波器件的中心频率随温度呈非线性变化,且在60~80℃内,SU-8膜厚为0.95μm时,其频率温度系数约为0.830×10^-6/℃。
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关键词
乐甫波
SU-8
频率温度系数
ST-90°X石英
波导层厚度
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Keywords
Love wave
SU-8
temperature coefficient of frequency（tcf）
ST-90°X quartz
thickness of guiding layer
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分类号
TM131.4
[电气工程—电工理论与新技术]
TB212.2
[一般工业技术—工程设计测绘]
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