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Frequency-selective microwave polarization rotator using substrate-integrated waveguide cavities 被引量:1
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作者 左钰 沈忠祥 冯一军 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第3期232-237,共6页
A frequency selective polarization rotator that can rotate the polarization angle of an incident electromagnetic wave at the microwave frequency by 45 is presented. The polarization rotator is based on a two-dimension... A frequency selective polarization rotator that can rotate the polarization angle of an incident electromagnetic wave at the microwave frequency by 45 is presented. The polarization rotator is based on a two-dimensional periodic array of substrate integrated waveguide cavities, realizing the polarization rotation by coupling the input signal to the output wave through three metallic slots. Two layers of frequency selective surfaces are cascaded by substrate and form the polarization rotator. A vertical slot on the top layer is used to select the horizontal polarization from the incident wave, the vertical and the horizontal slots on the bottom layer are, respectively, used to obtain horizontally and vertically polarized outgoing waves. The two orthogonal outgoing waves are combined to result in the 45~ polarized wave. Both full wave simulation and experimental measurement are carried out, together validating the proposed method. 展开更多
关键词 polarization rotator substrate integrated waveguide (siw frequency selective surface (FSS)
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Millimeter wave dielectric loaded exponentially tapered slot antenna array using substrate integrated waveguide for gigabit wireless communications
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作者 S Ramesh T Rama Rao 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期513-519,共7页
A new and upcoming application is the use of 60 GHz antennas for high date rate point-to-point connections to serve Gigabit(Gi-Fi)w ireless communications.The design of M illimeter w ave(M m W)antennas has to cope w i... A new and upcoming application is the use of 60 GHz antennas for high date rate point-to-point connections to serve Gigabit(Gi-Fi)w ireless communications.The design of M illimeter w ave(M m W)antennas has to cope w ith the unadorned influences of manufacturing tolerances and losses at 60 GHz.In this paper,the concept of Substrate Integrated Waveguide(SIW)and Exponentially Tapered Slot(ETS)antenna w ere used together to design a high gain,efficient planar dielectric loaded antenna for M m W Gi-Fi w ireless communications at 60 GHz.The SIW is used to feed the antenna and a dielectric is utilized in front of the antenna to increase the gain.The dielectric loaded ETS antenna and compact SIW feed w ere fabricated on a single substrate,resulting in low cost and easy fabrication.The antenna w ith elliptical shaped dielectric loaded w as fabricated using printed circuit board process.The measured gain of the single element antenna is 10.2 dB,w hile the radiation efficiency of 96.84%is obtained at 60 GHz.The Y-junction SIW pow er divider is used to form a 1×4 array structure.M easured gain of the 1×4 array antenna is 13.3 dB,w hile the measured radiation pattern and gain are almost constant w ithin the w ide bandw idth of the antenna. 展开更多
关键词 MILLIMETER WAVES 60 GHz EXPONENTIALLY tapered SLOT antenna dielectric loading substrate integrated waveguide
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Substrate Integrated Waveguide Based Monopulse Slot Antenna Arrays for 60 GHz Applications
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作者 ZHU Jianfeng XUE Quan LIAO Shaowei 《ZTE Communications》 2016年第B12期2-6,共5页
Monopulse slot antenna arrays based on substrate integrated waveguide (SIW) are proposed for the application of 60 GHz mono- pulse tracking systems in this paper. The sum-difference monopulse comparator can provide ... Monopulse slot antenna arrays based on substrate integrated waveguide (SIW) are proposed for the application of 60 GHz mono- pulse tracking systems in this paper. The sum-difference monopulse comparator can provide a high amplitude and phase balance over wide frequency band and no phase delay technique is required for the difference channel. Resonant slot antennas are adopted as the radiating elements since they can be integrated with the sum-difference monopulse comparator in a single layer with a compact size. Two monopulse arrays with 2× 4 and 4×4 slot elements are designed, fabricated, and measured. Measured results show that the proposed antenna arrays have wide bandwidth covering the unlicensed 60-GHz band. The peak sum beam gain is 13.85 dBi for the 2 ×4 element array and 16.24 dBi for the 4×4 element array. The peak difference beam gain is 11.20 dBi for the 2×4 element array and 12.11 dBi for the 4×4 element array and the maximum null depth can reach -40 dB. 展开更多
关键词 resonant slot antenna array MONOPULSE substrate integrated waveguide (siw millimeter-wave (mmWave)
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High gain and circularly polarized substrate integrated waveguide cavity antenna array based on metasurface
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作者 白昊 王光明 邹晓鋆 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第1期298-304,共7页
Two substrate integrated waveguide(SIW) cavity antenna arrays based on metasurface are proposed in this paper. By rotating the metasurface element, circularly polarized and high gain antennas are achieved respectively... Two substrate integrated waveguide(SIW) cavity antenna arrays based on metasurface are proposed in this paper. By rotating the metasurface element, circularly polarized and high gain antennas are achieved respectively. Firstly, multi-mode resonance theory is employed to broaden the bandwidth of the slot antenna. And then, an SIW cavity composed of 4×4 cornercut elements is added on the top of the slot antenna to achieve the circular polarization and improve the front-to-back ratio. Thirdly, the metasurface elements are sequentially rotated and a high gain antenna with 2-dBi enhancement on average in the operation band is obtained. Based on the two antenna units, two 2×2 antenna arrays are designed. The circularly polarized and high gain antenna arrays are both fabricated to verify the correctness. Furthermore, the novel wideband phase shifter is employed in the circularly polarized antenna to obtain an operating bandwidth of 38%(4.05 GHz–5.95 GHz)and AR bandwidth of 24.9%(4.4 GHz–5.65 GHz). The bandwidth of the high gain antenna can reach 42.7%(3.95 GHz–6.1 GHz) and with the gain enhancement of 2 dBi compared with that of the circularly polarized antenna. The gain remains steady in most of operating band within a variation of 1 dBi. It is remarkable that the rotating of the metasurface element has a great influence on the antenna performance, which provides a new explication for the multi-function antenna design. 展开更多
关键词 substrate integrated waveguide(siw) cavity antenna metasurface high gain circularly polarized
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A multi-frequency circularly polarized metasurface antenna array based on quarter-mode substrate integrated waveguide for sub-6 applications
5
作者 Hao Bai Guang-Ming Wang +2 位作者 Xiao-Jun Zou Peng Xie Yi-Ping Shi 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第5期280-287,共8页
A miniaturized multi-frequency circularly polarized array is designed in this paper.The antenna array is composed of three independent sub-arrays employing modified quarter-mode substrate ntegrated aveguide(QMSIW)to a... A miniaturized multi-frequency circularly polarized array is designed in this paper.The antenna array is composed of three independent sub-arrays employing modified quarter-mode substrate ntegrated aveguide(QMSIW)to achieve three circularly polarized frequency bands.By introducing strip-slot,the impedance bandwidth of the antenna array is broadened while the dimension is decreased by 75%to realize miniaturization.Meanwhile,metasurface causes the impedance bandwidth of the sub-array to be further enhanced.Moreover,the metal vias are employed in the antenna array design to further achieve miniaturization.The antenna array is manufactured and measured to verify the design.Both the measured and simulated results display that the array achieves the impedance bandwidths of 10%,11.7%,and 14.8%and axial ratio bandwidths of 8.8%,8.0%,and 8.5%at 2.5,3.5,and 4.8 GHz,respectively.The gain is stable in the operating band within an uncertainty of 0.7 d Bi.The whole dimension is 0.92λ×0.63λ×0.04λ,whereλ_(0) is the wavelength at the lowest resonant frequency.Furthermore,the simple structure and miniaturization provides great convenience in sub-6 applications. 展开更多
关键词 substrate integrated waveguide circularly polarized quarter-mode ANTENNA
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Metamaterial beam scanning leaky-wave antenna based on quarter mode substrate integrated waveguide structure
6
作者 Guo-Cheng Wu Guang-Ming Wang +2 位作者 Xiao-Long Fu Jian-Gang Liang Wei-Xiong Bai 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第2期200-205,共6页
In this paper, we first propose a metamaterial structure by etching the same two interdigital fingers on the upper ground of quarter mode substrate integrated waveguide(QMSIW). The simulated results show that the pr... In this paper, we first propose a metamaterial structure by etching the same two interdigital fingers on the upper ground of quarter mode substrate integrated waveguide(QMSIW). The simulated results show that the proposed QMSIWbased metamaterial has a continuous phase constant changing from negative to positive values within its passband. A periodic leaky-wave antenna(LWA), which consists of 11 QMSIW-based metamaterial unit cells, is designed, fabricated,and measured. The measured results show that the fabricated antenna achieves a continuous beam scanning property from backward-43° to forward +32° over an operating frequencyrange of 8.9 GHz–11.8 GHz with return loss better than 10 d B.The measured antenna gain keeps consistent with the variation of less than 2 d B over the operating frequency range with a maximum gain of 12 d B. Besides, the measured and simulated results are in good agreement with each other, indicating the significance and effectiveness of this method. 展开更多
关键词 metamaterial leaky-wave antenna quarter mode substrate integrated waveguide(QMsiw) continuous beam scanning property
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SIW-SSPP集成混合电路小型化圆极化漏波天线设计
7
作者 姜雄飞 韩坤霖 +4 位作者 王勇 毛著章 鲍秀娥 孙厚军 司黎明 《遥测遥控》 2025年第1期16-22,共7页
基片集成波导(Substrate integrated waveguide,SIW)具有低插入损耗、高品质因数等优点,已被广泛应用于微波电路和系统的设计中。然而,SIW横向尺寸较大,限制了其在小型化紧凑型微波电路和系统中的应用。本文提出了一种人工表面等离激元(... 基片集成波导(Substrate integrated waveguide,SIW)具有低插入损耗、高品质因数等优点,已被广泛应用于微波电路和系统的设计中。然而,SIW横向尺寸较大,限制了其在小型化紧凑型微波电路和系统中的应用。本文提出了一种人工表面等离激元(Spoof Surface Plasmon Polariton,SSPP)与SIW技术相结合的设计思路,实现小型化的集成混合电路。通过混合由金属化盲孔和金属贴片组成的三维集成SSPP结构,代入慢波效应,显著降低了单元结构的上限和下限截止频率。通过色散特性理论分析和全波电磁场仿真,证明了该SIW-SSPP集成混合电路可实现传输线30%的横向长度和50%的纵向长度缩减。进一步,通过在SIW-SSPP混合电路结构顶部蚀刻正交辐射结构,设计了小型化超宽带圆极化漏波天线。结果表明:该天线在11.2~17 GHz的工作频带内,回波损耗小于-10 dB,S21小于-6 dB,11.2~16.2 GHz频段内轴比小于3 dB,增益范围在10~15 dBic,具有从后向空间(-27°)到前向空间(+30°)的连续扫描性能。该设计方法为高性能、紧凑型微波、毫米波和太赫兹系统的开发设计提供了新思路。 展开更多
关键词 基片集成波导 人工表面等离激元 漏波天线
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基于CPWG馈电结构的D频段SIW缝隙天线研究
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作者 邢成浩 刘昊 +1 位作者 祝大龙 马同礼 《遥测遥控》 2025年第2期137-142,共6页
提出了一种工作在D频段的基片集成波导缝隙天线,信号从共面波导端口馈入,通过一段CPWG-SIW(Coplanar Waveguide-Substrate Integrated Waveguide,共面波导-基片集成波导)结构实现宽带低损耗的准TEM(横电磁)模和准TE10(横电10)模式转换,... 提出了一种工作在D频段的基片集成波导缝隙天线,信号从共面波导端口馈入,通过一段CPWG-SIW(Coplanar Waveguide-Substrate Integrated Waveguide,共面波导-基片集成波导)结构实现宽带低损耗的准TEM(横电磁)模和准TE10(横电10)模式转换,经过矩形窗耦合垂直过渡、传输和功率分配,最终在SIW(Substrate Integrated Waveguide,基片集成波导)缝隙天线阵列实现高增益辐射,这种结构可以实现天线辐射场与馈电端口的良好隔离。仿真结果显示,在120 GHz频点处实现了1×4阵列天线,主瓣宽度为24°(E面)和10°(H面),天线增益≥18.29 dBi,驻波比≤2.0,天线尺寸为18.73 mm×5.83 mm×0.55 mm。 展开更多
关键词 基片集成波导 缝隙天线 带地共面波导 D频段
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一种新型的高增益SIW漏波天线的设计与仿真
9
作者 章盈 《无线通信技术》 2025年第1期31-35,共5页
本文提出了一种具有宽角度波束扫描的基于基片集成波导的周期性漏波天线,以减轻开阻带(OSB)的影响。该天线的单元由一对中心对称的缝隙阵列结构组成,采用色散曲线进行色散特性分析。利用全波分析法分析天线的阻抗带宽和辐射特性,仿真结... 本文提出了一种具有宽角度波束扫描的基于基片集成波导的周期性漏波天线,以减轻开阻带(OSB)的影响。该天线的单元由一对中心对称的缝隙阵列结构组成,采用色散曲线进行色散特性分析。利用全波分析法分析天线的阻抗带宽和辐射特性,仿真结果表明天线在8.6GHz~14.5GHz工作频带内,天线的回波损耗低于-10dB,主波束具备从-46°到+58°的从后象限到前象限的连续波束扫描能力,边射波束方向的增益为13.8dBi,没有明显的下降,成功抑制了开阻带现象。工作频段下天线的增益变化较小,平均增益为13.7dBi,平均辐射效率为65%。 展开更多
关键词 基片集成波导 周期性漏波天线 连续波束扫描
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基于HMSIW的小型化三模带通滤波器设计 被引量:4
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作者 周鹏程 程勇 裔尧 《微波学报》 CSCD 北大核心 2024年第1期83-86,92,共5页
传统的多模谐振器引入多个谐振器,并利用其中两个甚至多个谐振模式来组合构建滤波器通带,但由于其谐振器个数较多而在射频系统中占用了较大的空间。为此,本文提出了基于半圆形半模基片集成波导(HMSIW)的三模带通滤波器,通过引入金属化... 传统的多模谐振器引入多个谐振器,并利用其中两个甚至多个谐振模式来组合构建滤波器通带,但由于其谐振器个数较多而在射频系统中占用了较大的空间。为此,本文提出了基于半圆形半模基片集成波导(HMSIW)的三模带通滤波器,通过引入金属化过孔来扰动半圆形HMSIW谐振腔的谐振模式的电场分布,使得对应的谐振模式的频率也会随之发生偏移,进而使原本谐振频率相差较大的三个谐振模式的频率逐渐靠近,最终组合形成滤波器的通带。该设计无需引入额外的谐振器,能够实现滤波器尺寸减半甚至成倍减少,从而达成小型化的目的。 展开更多
关键词 半模基片集成波导 三模带通滤波器 谐振模式 金属化过孔 小型化
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适用于WLAN 5G频段的SIW带通滤波器设计 被引量:1
11
作者 余国林 刘峰 +1 位作者 徐小强 何葵 《微波学报》 CSCD 北大核心 2024年第S1期128-131,共4页
射频前端设备作为无线局域网(WLAN)的组建设备之一,其上采用的传统腔体滤波器体积大,质量重,不利于设备的小型化及轻量化发展。本文根据基片集成波导(SIW)理论,设计并实现了一款SIW带通滤波器,其不仅结合了共面波导的微带转换结构来降... 射频前端设备作为无线局域网(WLAN)的组建设备之一,其上采用的传统腔体滤波器体积大,质量重,不利于设备的小型化及轻量化发展。本文根据基片集成波导(SIW)理论,设计并实现了一款SIW带通滤波器,其不仅结合了共面波导的微带转换结构来降低损耗,且在背面蚀刻了四个哑铃型的缺陷地结构(DGS)来改善性能,可用于WLAN的5G频段且体积仅有一枚硬币大小,弥补了腔体滤波器的不足,实物测试结果验证了设计的有效性及可行性。 展开更多
关键词 基片集成波导带通滤波器 缺陷地结构 微带转换结构
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一种基于SIW技术的滤波天线设计方法
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作者 周涛 纪真楠 +1 位作者 俞意 华昌洲 《微波学报》 CSCD 北大核心 2024年第4期11-14,共4页
文中基于基片集成波导(SIW)技术提出了一种滤波天线设计方法。首先根据传统耦合矩阵综合法设计出SIW滤波器,然后结合半模基片集成波导(HMSIW)技术设计出滤波天线。该方法简单有效,并且能够额外引入一个传输零点,使滤波天线的频率选择性... 文中基于基片集成波导(SIW)技术提出了一种滤波天线设计方法。首先根据传统耦合矩阵综合法设计出SIW滤波器,然后结合半模基片集成波导(HMSIW)技术设计出滤波天线。该方法简单有效,并且能够额外引入一个传输零点,使滤波天线的频率选择性得以提高。文中以三阶滤波天线为例,验证该方法的有效性。基于TE 101模式,使用两个SIW腔和一个HMSIW腔形成三阶滤波响应,SIW谐振腔用作高Q谐振器,HMSIW谐振腔同时作为辐射腔。实测的中心频率为6.52 GHz,-10 dB带宽为7.4%(6.26 GHz~6.74 GHz)。通带内实测增益基本处于5 dBi,且在下阻带产生了一个传输零点,有效地提高了滤波天线在低频处的频率选择性。实测结果与仿真结果吻合较好,验证了设计方法的有效性。 展开更多
关键词 基片集成波导 半模基片集成波导 滤波天线 传输零点
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基于齿状缺陷地的宽阻带交叉耦合SIW滤波器
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作者 佘金川 吴志强 +4 位作者 王凯 陈耀忠 陈言 李正雄 张胜 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第2期179-183,共5页
提出了一种齿状缺陷地低通传输线结构,该低通传输线由多级齿状缺陷地构成,通过调节齿状缺陷地枝节长度,可以有效调节低通和阻带频率范围。利用该齿状缺陷地结构,级联交叉耦合扇形基片集成波导(SIW)滤波器,该文设计了一款高带外抑制的宽... 提出了一种齿状缺陷地低通传输线结构,该低通传输线由多级齿状缺陷地构成,通过调节齿状缺陷地枝节长度,可以有效调节低通和阻带频率范围。利用该齿状缺陷地结构,级联交叉耦合扇形基片集成波导(SIW)滤波器,该文设计了一款高带外抑制的宽阻带滤波器,与传统SIW带通滤波器相比,其矩形系数K 40 dB=2,阻带范围大于2倍的中心频率,具有较好的通带和阻带选择特性。测试结果表明,滤波器的中心频率为10.35 GHz,3 dB和40 dB带宽分别为507 MHz和1.05 GHz,插入损耗优于1.47 dB,与仿真结果基本一致。 展开更多
关键词 缺陷地结构 基片集成波导 交叉耦合 滤波器 宽阻带
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硅基双层SIW结构毫米波MEMS滤波器 被引量:7
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作者 杨志 杨拥军 +2 位作者 李倩 胡小东 徐永青 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第6期376-379,390,共5页
基于MEMS工艺设计并制作了一种小型化毫米波滤波器,该滤波器采用硅基双层SIW的结构形式。理论分析计算了滤波器的结构参数,并使用三维电磁场分析软件HFSS对该结构进行了模拟仿真。设计得到了中心频率f0为31.2 GHz、插入损耗为1.1 dB、1... 基于MEMS工艺设计并制作了一种小型化毫米波滤波器,该滤波器采用硅基双层SIW的结构形式。理论分析计算了滤波器的结构参数,并使用三维电磁场分析软件HFSS对该结构进行了模拟仿真。设计得到了中心频率f0为31.2 GHz、插入损耗为1.1 dB、1 dB带宽大于1 GHz、中心频率f0±3 GHz处抑制大于40 dB、芯片尺寸为4.6 mm×3.1 mm×0.8 mm的MEMS毫米波滤波器。给出了一套基于MEMS工艺的双层SIW结构毫米波MEMS滤波器的制作流程,实现了硅基双层SIW结构毫米波MEMS滤波器的工艺制作及测试。测试结果表明,获得的MEMS毫米波滤波器的测试结果与仿真结果基本一致。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 滤波器 毫米波 双层 基片集成波导(siw)
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基于基片集成波导(SIW)的双模带通滤波器 被引量:11
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作者 张胜 王子华 +1 位作者 肖建康 李英 《微波学报》 CSCD 北大核心 2007年第2期55-58,62,共5页
首先介绍了基片集成波导(SIW)这一新技术,并用表面电流理论解释了电磁波在SIW中的传输模式。同时,通过使用凹型过渡和接地共面波导过渡两种转换方式,解决了基片集成波导与微带线的过渡问题,从而解决了滤波器和有源微波电路的集成问题。... 首先介绍了基片集成波导(SIW)这一新技术,并用表面电流理论解释了电磁波在SIW中的传输模式。同时,通过使用凹型过渡和接地共面波导过渡两种转换方式,解决了基片集成波导与微带线的过渡问题,从而解决了滤波器和有源微波电路的集成问题。文章用这两种过渡方式,分别设计了中心频率在5.63GHz和5.45GHz的双模带通滤波器。实验表明:这两种滤波器在通带内的反射损耗S11均优于-21dB,-3dB带宽都在50MHz以上。 展开更多
关键词 基片集成波导 双模谐振器 传输零点 转换器
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半模基片集成波导(HMSIW)三分贝功率分配器 被引量:6
16
作者 刘冰 洪伟 +1 位作者 陈继新 汤红军 《微波学报》 CSCD 北大核心 2008年第1期52-55,60,共5页
基片集成波导(SIW)具有损耗低、性能好、易于集成等优点,作为一种新型的导波技术已经被广泛地用于微波与毫米波电路。但是对于微波低频段,基片集成波导器件的尺寸偏大。最近,一种新的导波结构——半模基片集成波导(HMSIW)被提出。与基... 基片集成波导(SIW)具有损耗低、性能好、易于集成等优点,作为一种新型的导波技术已经被广泛地用于微波与毫米波电路。但是对于微波低频段,基片集成波导器件的尺寸偏大。最近,一种新的导波结构——半模基片集成波导(HMSIW)被提出。与基片集成波导相比,半模基片集成波导保留了基片集成波导的优点,同时在尺寸上缩小近一半,损耗也更低。本文提出了两种结合半模基片集成波导与基片集成波导技术的三分贝功率分配器,仿真结果与实验结果一致。 展开更多
关键词 基片集成波导 半模基片集成波导 三分贝功率分配器
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基于SIW-CSRR的固体物质介电常数测试件设计 被引量:3
17
作者 郝宏刚 王德戌 +2 位作者 汪竹 尹波 阮巍 《微波学报》 CSCD 北大核心 2020年第3期15-19,共5页
为满足当前固体物质介电常数的检测需求,在基片集成波导(SIW)的基础上加载互补开口谐振环(CSRR),设计了一款固体物质介电常数测试件,讨论了利用测试件谐振频率的偏移检测固体物质介电常数的可行性。仿真与测试结果表明,当检测物质相对... 为满足当前固体物质介电常数的检测需求,在基片集成波导(SIW)的基础上加载互补开口谐振环(CSRR),设计了一款固体物质介电常数测试件,讨论了利用测试件谐振频率的偏移检测固体物质介电常数的可行性。仿真与测试结果表明,当检测物质相对介电常数从1变化至10时,测试件谐振频点从7.56 GHz偏移至6.28 GHz,偏移量达1.28 GHz。利用谐振频点与测试样品介电常数的关系,测量了5种常见电路板材的相对介电常数,其相对误差均低于3%。 展开更多
关键词 介电常数 基片集成波导(siw) 互补开口谐振环(CSRR)
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深刻蚀方法对硅基SIWF通孔显微结构的影响 被引量:2
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作者 杜林 蒲石 +2 位作者 史永贵 张进城 郝跃 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期41-46,共6页
硅基集成波导滤波器通孔的显微结构和阵列精度对硅基集成波导滤波器的电磁性能和可靠性至关重要.采用KOH溶液刻蚀、皮秒紫外激光刻蚀以及感应耦合等离子体刻蚀3种方法在晶向为[100]的高阻硅单晶衬底上加工了通孔阵列,并采用线宽测量仪... 硅基集成波导滤波器通孔的显微结构和阵列精度对硅基集成波导滤波器的电磁性能和可靠性至关重要.采用KOH溶液刻蚀、皮秒紫外激光刻蚀以及感应耦合等离子体刻蚀3种方法在晶向为[100]的高阻硅单晶衬底上加工了通孔阵列,并采用线宽测量仪和扫描电镜对通孔尺寸、阵列精度以及通孔侧壁的显微结构进行了表征,对比研究了不同深刻蚀方法对硅基集成波导滤波器通孔侧壁显微结构的影响.结果表明,采用感应耦合等离子体刻蚀方法得到的硅基集成波导滤波器通孔阵列的显微结构最佳,精度最高,且通孔侧壁的粗糙度最低.由此可见,在目前工艺设备和技术水平的情况下,感应耦合等离子体刻蚀是最适合加工高性能、高精度和高可靠性硅基集成波导滤波器通孔阵列的方法. 展开更多
关键词 基片集成波导滤波器 通孔 深刻蚀 显微结构
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基于叠层SIW滤波器的高集成硅基毫米波收发前端 被引量:2
19
作者 李智鹏 钟伟 +2 位作者 曾荣 吕立明 赵永志 《微波学报》 CSCD 北大核心 2023年第3期55-59,共5页
提出了一种基于硅基晶圆级封装技术的小型化Ka频段收发前端,实现了接收通道、发射通道与本振产生电路的一体集成。该收发前端采用嵌入叠层型基片集成波导(SIW)滤波器结构实现高选择性预选滤波与低损耗垂直互连过渡的一体化设计。测试结... 提出了一种基于硅基晶圆级封装技术的小型化Ka频段收发前端,实现了接收通道、发射通道与本振产生电路的一体集成。该收发前端采用嵌入叠层型基片集成波导(SIW)滤波器结构实现高选择性预选滤波与低损耗垂直互连过渡的一体化设计。测试结果表明,该Ka频段滤波器中心损耗1 dB,1 dB带宽4.02 GHz,中心频偏5 GHz处抑制度优于35 dB,仿真与测试结果吻合良好。在前端模组设计中,通过采用硅基微腔屏蔽实现紧凑尺寸下各功能单元的隔离,通过采用1/4波长短路传输线结构抑制电源、控制等低频信号对接收中频的干扰,最终实现了该毫米波收发前端的小型化集成,其尺寸仅为20 mm×20 mm×1.25 mm,主要电性能满足设计要求。 展开更多
关键词 晶圆级封装 毫米波 收发前端 基片集成波导 滤波器
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对角馈电的SIW单腔体双极化领结形缝隙天线 被引量:2
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作者 邹雄 何缓 +1 位作者 钱欢 艾盼 《电讯技术》 北大核心 2022年第5期663-670,共8页
多极化天线能够有效利用电磁波的空间维度,使无线通信或雷达系统容量得到很大提高。从对角馈电的基片集成波导腔体的场分布出发,分析其传输模式。通过在腔体表面设置正交缝隙,可以实现两种相互垂直的极化方式。在分析正交矩形缝隙和领... 多极化天线能够有效利用电磁波的空间维度,使无线通信或雷达系统容量得到很大提高。从对角馈电的基片集成波导腔体的场分布出发,分析其传输模式。通过在腔体表面设置正交缝隙,可以实现两种相互垂直的极化方式。在分析正交矩形缝隙和领结形缝隙的尺寸对天线性能影响的基础上,获取了TE120模谐振频率的经验计算公式,从而设计了两种双极化天线并比较了两者的工作性能。测试和分析结果表明,双极化领结形缝隙天线具有更大的带宽和更小的缝隙尺寸,测试的工作带宽为200 MHz,天线增益为5.2 dBi,具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 缝隙天线 单腔体双极化 基片集成波导(siw) 对角馈电 领结形缝隙
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