期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于聚偏氟乙烯的扫描探针显微镜系统
1
作者
魏晋鹏
黄强先
+1 位作者
张昔峰
盛秀丽
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第23期2839-2843,共5页
采用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜和压电陶瓷(PZT),并结合由电化学研磨得到的钨探针,研制了一种具有对称结构的新型轻敲模式扫描测头。在该测头中,PVDF压电薄膜作为振动梁,其下方中间位置固定有钨探针,在PZT的驱动下,PVDF和探针处于谐振振...
采用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜和压电陶瓷(PZT),并结合由电化学研磨得到的钨探针,研制了一种具有对称结构的新型轻敲模式扫描测头。在该测头中,PVDF压电薄膜作为振动梁,其下方中间位置固定有钨探针,在PZT的驱动下,PVDF和探针处于谐振振动状态,同时,PVDF作为微力传感器检测探针顶端原子与试样表面原子间的作用力。所构建测头结合三维纳米定位台、控制程序等构成了新型扫描探针显微镜系统。介绍了测头的构成、工作原理、特性以及SPM系统的整体结构、测量原理、三维工作台的定位控制、信号处理过程和整系统特性测试,并以一维标准光栅为试样进行三维图像扫描,证明了该新型扫描探针显微镜系统的可行性和有效性。
展开更多
关键词
PVDF振动梁
钨探针
定位控制
扫描探针显微镜
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于聚偏氟乙烯的扫描探针显微镜系统
1
作者
魏晋鹏
黄强先
张昔峰
盛秀丽
机构
合肥工业大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第23期2839-2843,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50975075)
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20100111110011)
文摘
采用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜和压电陶瓷(PZT),并结合由电化学研磨得到的钨探针,研制了一种具有对称结构的新型轻敲模式扫描测头。在该测头中,PVDF压电薄膜作为振动梁,其下方中间位置固定有钨探针,在PZT的驱动下,PVDF和探针处于谐振振动状态,同时,PVDF作为微力传感器检测探针顶端原子与试样表面原子间的作用力。所构建测头结合三维纳米定位台、控制程序等构成了新型扫描探针显微镜系统。介绍了测头的构成、工作原理、特性以及SPM系统的整体结构、测量原理、三维工作台的定位控制、信号处理过程和整系统特性测试,并以一维标准光栅为试样进行三维图像扫描,证明了该新型扫描探针显微镜系统的可行性和有效性。
关键词
PVDF振动梁
钨探针
定位控制
扫描探针显微镜
Keywords
PVDF（polyvinilidene fluoride） vibrating beam
tungsten tip
positio
ning
control
scan- ning probe microscopy（spm）
分类号
TH71 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TH89 [机械工程—精密仪器及机械]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于聚偏氟乙烯的扫描探针显微镜系统
魏晋鹏
黄强先
张昔峰
盛秀丽
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
