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Design of ultra-low-power readout circuit for 1 024×1 024 UV AlGaN focal plane arrays 被引量:2
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作者 Xie Jing Li Xiaojuan +1 位作者 Zhang Yan Li Xiangyang 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第5期163-169,共7页
A novel ultra-low-power readout integrated circuit(ROIC) for 1 024×1 024 ultraviolet(UV) AlGaN focal plane arrays(FPA) with 18 μm-pitch was presented. In order to optimize power consumption for UVFPA readout cir... A novel ultra-low-power readout integrated circuit(ROIC) for 1 024×1 024 ultraviolet(UV) AlGaN focal plane arrays(FPA) with 18 μm-pitch was presented. In order to optimize power consumption for UVFPA readout circuit these methods were adopted, which including single-terminal amplifier under subthreshold region as CTIA amplifier, common current source load for source follow(SF) buffer in column pixels and level shift circuits, and time-sharing tail current source for column buffer. The smallest operational current of CTIA in pixel unit is only 8.5 nA with 3.3 V power supply by using single-terminal amplifier. The ROIC has been fabricated in SMIC 0.18 μm 1P6M mixed signal process and also achieved better performances with the novel design of bias current adjustable. Furthermore, the overall power consumption of the chip is 67.3 mW at 2 MHz in 8-outputs mode by the above methods according to the experimental results. 展开更多
关键词 readout integrated circuit(roic) ultraviolet focal plane arrays(UVFPA) ultra-low-power CTIA
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一种高速全差分输出线列型读出电路设计方法 被引量:1
2
作者 王静 孟令伟 +2 位作者 刘伟 李冬冰 李敬国 《激光与红外》 北大核心 2025年第2期239-242,共4页
红外探测器发展进入第三代后,以大面阵、长线列应用为典型代表,其中长线列通常使用拼接结构实现。对于参与拼接的单片电路规模也在不断的扩展、行频不断的提升。阵列规格的增加带来信号传输链路延长,行频提升对读出速率提出新的要求,这... 红外探测器发展进入第三代后,以大面阵、长线列应用为典型代表,其中长线列通常使用拼接结构实现。对于参与拼接的单片电路规模也在不断的扩展、行频不断的提升。阵列规格的增加带来信号传输链路延长,行频提升对读出速率提出新的要求,这些还必须考虑探测器的低温应用,要求读出电路提出更加合理有效的应对措施。本文探索了一种新的输出机制,针对长线列的应用,可以通过全差分输出抑制传输噪声,同时差分模块转换模块独立于探测器主芯片,在不影响芯片整体热耗的前提下,显著的提升读出速率。依赖于这种设计,线列读出速率提升至20 MHz,对于1 k的规模,行频达到19 kHz。 展开更多
关键词 线列读出电路 全差分输出 信号转换 拼接电路
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数字像元红外读出电路的比较器设计
3
作者 李晓飞 袁媛 喻松林 《激光与红外》 北大核心 2025年第3期382-387,共6页
红外探测器通常需要通过延长积分时间来积累更多红外信号,这就会使得传统的模拟域读出电路积分电容过早饱和,数字像元读出电路能够很好地解决该问题。目前脉冲频率调制型A/D转换结构被广泛应用于像素级ADC方案。比较器作为脉冲频率调制... 红外探测器通常需要通过延长积分时间来积累更多红外信号,这就会使得传统的模拟域读出电路积分电容过早饱和,数字像元读出电路能够很好地解决该问题。目前脉冲频率调制型A/D转换结构被广泛应用于像素级ADC方案。比较器作为脉冲频率调制型A/D转换单元的重要组成部分,其性能表现直接影响ADC的性能。本文设计了一款带有迟滞功能的比较器,应用于数字像元红外读出电路,具有低噪声、低功耗的特点,基于0.18μm CMOS工艺进行设计,通过仿真验证,与设计目标相比具有较好的符合度。 展开更多
关键词 数字像元 红外读出电路 低功耗 迟滞比较器
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适用于像素CZT辐射探测器ROIC的高精度S/H电路(英文) 被引量:1
4
作者 潘银松 李向全 +1 位作者 汪瑛 张流强 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1261-1265,共5页
为了提高像素CZT辐射探测器读出电路的精度,用Cadence的Spectre工具基于GSMC0.18μm工艺模型模拟仿真,设计了一种适用于像素CZT辐射探测器读出电路的高精度双相采样保持电路。首先,用两个电流脉冲信号源建立了前置放大器的输出信号模型... 为了提高像素CZT辐射探测器读出电路的精度,用Cadence的Spectre工具基于GSMC0.18μm工艺模型模拟仿真,设计了一种适用于像素CZT辐射探测器读出电路的高精度双相采样保持电路。首先,用两个电流脉冲信号源建立了前置放大器的输出信号模型,它包括高频噪声和幅度为0.28mV有用信号。然后,设计了一个用于高精度采样保持电路的高性能运算放大器。经过模拟仿真得到其共模输入范围为0.6~1.4V,直流增益为74~80dB,相位裕度大于60°。最后完成了高精度双相采样保持电路的设计,仿真结果显示它能很好的跟随输入信号的形状并且能在信号幅度达到相对误差为0.35%的采样保持精度。 展开更多
关键词 像素CZT探测器 读出电路 运放 采样保持电路
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线性APD焦平面多模式读出电路设计
5
作者 郑方舟 陈虓 +2 位作者 吴圣娟 申乐 李敏 《红外技术》 北大核心 2025年第3期281-288,共8页
线性雪崩光电二极管(Avalanche photodiode,APD)焦平面红外探测器有着广泛应用场景,APD探测器耦合具有多种模式的读出电路可在有限像元面积内实现多模式探测,提升探测系统集成度。本文设计了一种具有红外热成像模式、门控3D成像模式、... 线性雪崩光电二极管(Avalanche photodiode,APD)焦平面红外探测器有着广泛应用场景,APD探测器耦合具有多种模式的读出电路可在有限像元面积内实现多模式探测,提升探测系统集成度。本文设计了一种具有红外热成像模式、门控3D成像模式、激光测距模式和异步激光脉冲探测模式的APD读出电路,四种模式复用输入级电路。通过Krummenacher结构抑制背景辐射影响,扩展了光子飞行时间探测范围;提出一种改进型时刻鉴别电路,通过减小时刻鉴别误差提升距离测量精度。读出电路采用0.18μm 3.3 V CMOS工艺设计,阵列规模128×128、像元中心距30μm,最大电荷容量3.74 Me^(-)。仿真结果表明,激光测距模式,在积分电容13 f F、背景电流1~150 nA条件下,背景电流响应幅值≤1.35 m V,远小于激光响应电流500 nA时280 m V的响应幅值;异步激光脉冲探测模式的幅值灵敏度约110 nA、脉宽灵敏度约4 ns;改进型时刻鉴别电路对于150~500 nA的激光脉冲响应,时刻鉴别误差约4 ns。本文设计的多模式复用APD读出电路具有一定工程应用价值。 展开更多
关键词 线性APD 多模式读出电路 光子飞行时间 时刻鉴别误差
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基于CTIA的红外读出电路相关双采样实现方法
6
作者 丁健华 袁媛 《激光与红外》 北大核心 2025年第4期562-568,共7页
读出电路作为红外探测器组件的关键组成部分,其噪声特性对信号读出以及整个成像系统的性能影响重大。噪声在信号传递的过程中是不可避免的,但可以通过降噪技术以及合理的设计来优化噪声性能。本文从分析红外探测器读出电路噪声入手,基于... 读出电路作为红外探测器组件的关键组成部分,其噪声特性对信号读出以及整个成像系统的性能影响重大。噪声在信号传递的过程中是不可避免的,但可以通过降噪技术以及合理的设计来优化噪声性能。本文从分析红外探测器读出电路噪声入手,基于CTIA输入级仿真对比了两种相关双采样技术:像素级相关双采样和列级相关双采样。旨在根据不同的红外探测器的需求特点,选择更适合的相关双采样技术,以降低读出电路的开关复位噪声、MOS管噪声、FPN噪声,同时兼顾动态范围、线性度和功耗等要求。 展开更多
关键词 红外读出电路 低噪声 相关双采样技术 CTIA
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基于负电容电路的高速列总线读出方法
7
作者 许睿明 郭仲杰 +1 位作者 刘绥阳 余宁梅 《电子学报》 北大核心 2025年第4期1192-1200,共9页
针对超大面阵CMOS图像传感器列总线建立时间过长的问题,本文提出了一种高速列总线信号读出方法.该方法基于负电容技术,将负电容电路集成到列级读出电路中,抵消列总线寄生电容对列总线信号建立时间的负面影响.同时,基于动态环路稳定性调... 针对超大面阵CMOS图像传感器列总线建立时间过长的问题,本文提出了一种高速列总线信号读出方法.该方法基于负电容技术,将负电容电路集成到列级读出电路中,抵消列总线寄生电容对列总线信号建立时间的负面影响.同时,基于动态环路稳定性调节技术,平衡了读出速度与环路稳定性的设计矛盾.本文基于55 nm 1P4M CMOS工艺对提出的高速列总线读出方法完成了详细电路设计和全面仿真验证.在像素尺寸10μm×10μm,尾电流为5μA,列总线输出电压摆幅为1.2 V的设计条件下,列总线信号上升建立时间从1.721μs减少至1.204μs,降低了30.04%.列总线信号下降建立时间从5.780μs降低至2.816μs,降低了51.28%.此外,行固定模式噪声从1.30%降低到0.01%.在1.6 W的功耗下,本文设计的大面阵CMOS图像传感器的帧率和动态范围分别达到了27帧每秒和85 dB,为大面阵高速低功耗CMOS图像传感器的设计提供了一定的理论支撑. 展开更多
关键词 CMOS图像传感器 超大面阵 高速读出 列并行 负电容电路
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基于自适应积分电容的高动态像素结构
8
作者 刘绥阳 郭仲杰 +1 位作者 余宁梅 许睿明 《北京航空航天大学学报》 北大核心 2025年第6期2051-2059,共9页
由于红外图像传感技术具备不受环境影响、目标识别度好、抗干扰能力强等优点而受到广泛关注,但随着红外焦平面集成度的提升,光电系统的动态范围、噪声和满阱之间的制约关系尤为突出。为解决弱光下噪声和强光下满阱容量的矛盾,在5T红外... 由于红外图像传感技术具备不受环境影响、目标识别度好、抗干扰能力强等优点而受到广泛关注,但随着红外焦平面集成度的提升,光电系统的动态范围、噪声和满阱之间的制约关系尤为突出。为解决弱光下噪声和强光下满阱容量的矛盾,在5T红外像素电路中,利用反型MOS电容在特定电压区间内电容值和电压的关系,使红外图像传感器积分电容从6.5 fF到37.5 fF自动变化,提出一种基于自适应积分电容的高动态像素结构,并基于55 nm CMOS工艺技术,在12288×12288像素规模的红外图像传感器中研究其性能参数。结果表明:5.5μm×5.5μm的小尺寸像素具有1.31 Me^(-)的大满阱容量和可变的转换增益,噪声电子数小于0.43 e^(-),动态范围超过130 dB。 展开更多
关键词 CMOS红外图像传感器 自适应积分电容 高动态范围 大满阱容量 像素读出电路
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BDI型多波段IFPA读出电路的应用与设计
9
作者 张露漩 李敬国 《激光与红外》 北大核心 2025年第5期720-723,共4页
介绍了多波段红外探测器的应用开发进展,并且针对多波段信号同时探测的红外器件特点进行了读出电路设计。其中,Pixel输入级为多波段红外探测器读出电路设计的核心关键模块之一。本文设计采用了缓冲直接注入型(Buffered Direct Injection... 介绍了多波段红外探测器的应用开发进展,并且针对多波段信号同时探测的红外器件特点进行了读出电路设计。其中,Pixel输入级为多波段红外探测器读出电路设计的核心关键模块之一。本文设计采用了缓冲直接注入型(Buffered Direct Injection,BDI)像素输入级电路结构,具有高稳定性、低等效输入阻抗的特点,有效提高长波器件的注入效率,并且为光电探测器件提供了稳定的工作条件。以CMOS 0.18μm 5 V标准工艺基础,完成了全电路设计与模拟仿真。结果表明:70 K低温下电路功能正常,40μm间距内含有短、中、长4波段像素输入级,输入级积分信号输出线性度达到99.7%,噪声不超过0.3 mV。 展开更多
关键词 多色 红外探测器 读出电路 像素单元
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具有逻辑处理及存储功能的数字像素读出电路
10
作者 张露漩 于艳 喻松林 《激光与红外》 北大核心 2025年第6期901-904,共4页
未来先进红外探测感知系统,以提升光场维度特征、探测目标距离、空间分辨率等性能为主要目标。片上智能化探测,需采用特定图像处理功能算法将探测信息融合成像,读出电路片上集成智能化自主识别与控制算法电路。成熟的智能化控制功能实... 未来先进红外探测感知系统,以提升光场维度特征、探测目标距离、空间分辨率等性能为主要目标。片上智能化探测,需采用特定图像处理功能算法将探测信息融合成像,读出电路片上集成智能化自主识别与控制算法电路。成熟的智能化控制功能实现路线基于数字域完成,读出电路数字化设计是智能化的前提和基础,像素阵列数据与算法处理模块之间以具有逻辑处理功能的数字信号进行数据交互。本文设计实现具有逻辑处理及存储功能的数字像素读出电路,配合图像处理算法功能实现智能化片上盲元替代、非均匀性校正、像元重构和运动目标轨迹探测等。 展开更多
关键词 智能化 红外探测器 像素级数字化 读出电路
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天文应用红外焦平面读出电路研究 被引量:3
11
作者 梁清华 魏彦峰 +2 位作者 陈洪雷 郭晶 丁瑞军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期55-67,共13页
成功设计了一款天文应用的640×512短波红外焦平面读出电路。由于红外天文观测具有极低背景辐射、光子通量低的特点,为了实现探测器的高信噪比,需要降低器件的暗电流和电路噪声。电路采用有效的功耗管理策略,在保证电路正常工作的... 成功设计了一款天文应用的640×512短波红外焦平面读出电路。由于红外天文观测具有极低背景辐射、光子通量低的特点,为了实现探测器的高信噪比,需要降低器件的暗电流和电路噪声。电路采用有效的功耗管理策略,在保证电路正常工作的前提下尽可能地降低电路功耗以减小电路辉光对器件暗电流的影响。同时,研究非破坏性读出的数字功能,实现了超长的积分时间和信号的多帧累积,并作为一种斜坡采样的策略有效地降低读出噪声。短波HgCdTe焦平面的测试结果符合理论设计预期,开启电路非破坏性读出功能,设置6 000 s的积分时间,当电路功耗调低至14.04 mW时暗电流为0.9 e-·pixel^(-1)·s^(-1)。读出噪声在两档增益下分别为50 e-(10 fF)和27 e-(5 fF),非线性度低于0.1%。 展开更多
关键词 红外天文观测 红外焦平面读出电路 低功耗 非破坏性读出 读出噪声
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基于磁性传感器的低失调温度补偿接口电路设计 被引量:1
12
作者 樊华 常伟鹏 +5 位作者 王策 李国 刘建明 李宗霖 魏琦 冯全源 《电子与信息学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期1521-1528,共8页
面向磁性传感器在物联网(IoT)技术中的广泛应用,该文基于180 nm CMOS工艺设计了一种具有低失调电压,低温度漂移特性的霍尔传感器接口电路。针对霍尔传感器灵敏度的温度漂移特性,该文设计了一种感温电路并与查表法相结合,调节可编程增益... 面向磁性传感器在物联网(IoT)技术中的广泛应用,该文基于180 nm CMOS工艺设计了一种具有低失调电压,低温度漂移特性的霍尔传感器接口电路。针对霍尔传感器灵敏度的温度漂移特性,该文设计了一种感温电路并与查表法相结合,调节可编程增益放大器(PGA)的增益有效地降低了霍尔传感器的温度系数(TC)。在此基础上,通过在信号主通路中使用相关双采样(CDS)技术,极大程度上消除了霍尔传感器的失调电压。仿真结果表明,在–40°C~125°C温度范围内,霍尔传感器的TC从966.4 ppm/°C减小到了58.1 ppm/°C。信号主通路的流片结果表明,霍尔传感器的失调电压从25 mV左右减小到了4 mV左右,霍尔传感器的非线性误差为0.50%。芯片的总面积为0.69 mm^(2)。 展开更多
关键词 霍尔传感器 接口电路 温度补偿 低失调电压
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激光3维成像线性焦平面探测器读出电路研究进展 被引量:1
13
作者 李雨欣 李潇 +2 位作者 杨赟秀 郑博仁 刘永 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期726-733,共8页
激光焦平面探测器是一种新型的光电成像器件,它利用半导体内部载流子的雪崩倍增效应实现高速、高灵敏度、纳秒级时间分辨探测,用于凝视型激光3维成像系统。探测器主要分为线性和盖革两大类,其中线性模式探测器具有响应速度快、无死时间... 激光焦平面探测器是一种新型的光电成像器件,它利用半导体内部载流子的雪崩倍增效应实现高速、高灵敏度、纳秒级时间分辨探测,用于凝视型激光3维成像系统。探测器主要分为线性和盖革两大类,其中线性模式探测器具有响应速度快、无死时间和后脉冲、可实现单脉冲瞬时成像等优点。首先介绍了在不同应用场景下,线性模式焦平面读出电路的两种架构并简述其原理,然后阐述像素单元的关键电路模块,比较了其优缺点,最后分析了两种减小行走误差的双阈值时刻鉴别方法。为相关领域的研究者提供了一些有益的参考和借鉴。 展开更多
关键词 探测器 线性模式焦平面读出电路 3维成像 光子飞行时间
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高光谱应用的带可调复位时间CDS的低噪声红外焦平面读出电路
14
作者 吴双 梁清华 +1 位作者 陈洪雷 丁瑞军 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期268-278,共11页
低辐射量的高光谱应用对红外焦平面读出电路(ROIC)提出了低噪声的设计要求。相关双采样(CDS)是常用的减少噪声的结构。本文通过调节钳位和采样保持之间的时间间隔来改进CDS,可灵活消除低频噪声。采用180 nm CMOS工艺设计和制造了640... 低辐射量的高光谱应用对红外焦平面读出电路(ROIC)提出了低噪声的设计要求。相关双采样(CDS)是常用的减少噪声的结构。本文通过调节钳位和采样保持之间的时间间隔来改进CDS,可灵活消除低频噪声。采用180 nm CMOS工艺设计和制造了640×512规模、15μm像元中心距的读出电路。输入级集成了低噪声CTIA与本文提出的可调复位时间CDS(AICDS),所设计的时序产生器使CDS复位时间可以延长0~270个时钟周期。通过延长复位时间减少这个时间间隔,噪声电子数可以由39 e^(-)减少到18.3 e^(-)。SPECTRE仿真结果和实验测试结果证实了提出的AICDS结构可以提升高光谱应用读出电路的噪声性能,因此可以广泛应用。 展开更多
关键词 高光谱成像 读出电路 可调时间间隔 CTIA CDS 低噪声
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基于带隙基准的改进型像元共享CTIA红外读出电路设计
15
作者 王坤 关晓宁 +5 位作者 康智博 张凡 张焱超 邓旭光 周峰 芦鹏飞 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期816-821,共6页
为了提高红外读出电路动态范围、增强红外成像质量,加入暗电流抑制模块电路,设计了一种四像元分时共享的电容反馈跨阻放大器(CTIA)和带隙基准源相互配合的高性能红外读出电路。通过带隙基准源产生两个基准电压586 mV和293 mV,其中293 m... 为了提高红外读出电路动态范围、增强红外成像质量,加入暗电流抑制模块电路,设计了一种四像元分时共享的电容反馈跨阻放大器(CTIA)和带隙基准源相互配合的高性能红外读出电路。通过带隙基准源产生两个基准电压586 mV和293 mV,其中293 mV基准电压值的温漂系数达到1.49×10-6/℃,可对分流管的栅极和源极提供稳定的电压偏置,实现对暗电流的精准撇除。结果表明,该电路可实现电流信号从10 pA~10 nA宽动态范围的积分电压读出,读出数据通过线性拟合,拟合优度R 2达到0.9992,说明电路性能良好。此研究未来可应用到线列和面阵的红外探测器中。 展开更多
关键词 探测器 读出电路 暗电流抑制 像元共享 带隙基准
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消除CDS折叠效应的增益自适应红外焦平面读出电路
16
作者 吴双 张健怡 +1 位作者 陈洪雷 丁瑞军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第5期83-94,共12页
高动态范围是红外焦平面探测技术的先进发展方向之一。高集成度像元读出电路的动态范围受到小电荷存储容量和噪声的限制。所设计的增益自适应像元读出电路,小信号下为电容反馈跨阻放大器(CTIA),大信号下自动转换为变阻抗电阻反馈跨阻放... 高动态范围是红外焦平面探测技术的先进发展方向之一。高集成度像元读出电路的动态范围受到小电荷存储容量和噪声的限制。所设计的增益自适应像元读出电路,小信号下为电容反馈跨阻放大器(CTIA),大信号下自动转换为变阻抗电阻反馈跨阻放大器(RTIA),实现小信号大增益、大信号小增益的自动切换,将集成3.86 fF积分电容的CTIA电荷容量拓展到1.63 Me^(–)。在15μm像元中心距的像元内集成相关双采样(CDS)结构,大幅减小噪声。对CDS大信号注入产生的折叠效应进行理论分析,并设计抗折叠结构。采用180 nm 3.3V CMOS工艺,完成640×512规模的读出电路的设计、仿真、流片、测试。测试结果显示,该电路可消除CDS折叠效应,噪声电子数17 e^(–),动态范围拓展到99.66 dB。 展开更多
关键词 红外焦平面读出电路 增益自适应 抗折叠CDS CTIA 高动态范围 低噪声
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一款多色叠层量子阱红外探测器的读出电路设计
17
作者 张露漩 于艳 李敬国 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期746-749,共4页
一款完整的红外焦平面探测器主要包含探测器件、读出电路、封装结构和制冷组件。目前根据不同应用场景,探测波段范围不断变宽、探测灵敏度需求提高、成像速度要求加快,对探测器设计提出了更严格、更复杂的指标要求。其中,读出电路将探... 一款完整的红外焦平面探测器主要包含探测器件、读出电路、封装结构和制冷组件。目前根据不同应用场景,探测波段范围不断变宽、探测灵敏度需求提高、成像速度要求加快,对探测器设计提出了更严格、更复杂的指标要求。其中,读出电路将探测光信号转换为电信号传输至系统,是探测器组件的关键核心模块。本文设计了一款对应多色叠层量子阱型器件的红外焦平面探测器读出电路,能够实现同时间、同空间对四波段信号进行探测,并且同时读出,四波段信号的探测积分与读出之间没有互相干扰。探测器规格640×512,像元间距50μm(四波段),各波段信号可实现分时积分、分别可调,采用边积分边读出工作模式,读出帧频可达到四波段探测时≥50 Hz,电路噪声≤0.5 mV,动态范围≥70 dB,电功耗≤600 mW,是一款超大规模低噪声高帧频的高性能读出电路。 展开更多
关键词 多色 量子阱 红外探测器 读出电路
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边积分边读出低噪声红外焦平面读出电路研究 被引量:13
18
作者 黄张成 黄松垒 +2 位作者 张伟 陈郁 方家熊 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期297-300,304,共5页
设计了一款低噪声InGaAs焦平面读出电路.提出一种新型相关双采样电路结构,可在边积分边读出模式下有效抑制积分电容(0.15 pF)的KTC噪声.电路经0.5μm 5 V Nwell CMOS工艺流片,测试结果符合设计目标,在高帧频边积分边读出模式下工作状态... 设计了一款低噪声InGaAs焦平面读出电路.提出一种新型相关双采样电路结构,可在边积分边读出模式下有效抑制积分电容(0.15 pF)的KTC噪声.电路经0.5μm 5 V Nwell CMOS工艺流片,测试结果符合设计目标,在高帧频边积分边读出模式下工作状态良好,电路噪声约1.7×10-4 V,动态范围大于80 dB. 展开更多
关键词 红外焦平面 读出电路 边积分边读出 相关双采样
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一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片 被引量:7
19
作者 尹韬 杨海钢 +3 位作者 张翀 吴其松 焦继伟 宓斌玮 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第1期203-209,共7页
读出电路位于微传感器系统信号通路的最前端,是决定系统性能的关键因素。本文针对音叉式体硅微陀螺的具体应用,提出了一种低噪声电容读出电路,芯片采用斩波技术降低了电路的低频1/f噪声、失调电压以及参考电压失配的影响,提高了读出电... 读出电路位于微传感器系统信号通路的最前端,是决定系统性能的关键因素。本文针对音叉式体硅微陀螺的具体应用,提出了一种低噪声电容读出电路,芯片采用斩波技术降低了电路的低频1/f噪声、失调电压以及参考电压失配的影响,提高了读出电路的分辨率和动态范围;提出一种噪声电荷转移的分析方法,用于分析和预测读出电路的噪声性能;建立一种简化的微陀螺传感器仿真模型,用于模拟读出电路对微传感器的响应。读出电路在0.35μm 2P4 M标准CMOS工艺下设计流片,并与微传感器进行了联合应用,芯片面积为2×2.5mm2,在5V电源电压,100kHz的时钟频率下,实现了4aF/Hz的电容分辨率和94dB的动态范围。 展开更多
关键词 微陀螺 读出电路 低噪声 斩波
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一种适用于MEMS陀螺仪的高性能电容读出电路 被引量:12
20
作者 吴其松 杨海钢 +1 位作者 张翀 尹韬 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期937-943,共7页
针对音叉式体硅MEMS陀螺仪传感器,提出了一种新颖的电容读出电路结构,该结构对共模电压漂移不敏感,能消除电容不匹配引入的误差。相关双采样(CDS)技术有效降低了电路的低频噪声和电压失调的影响。采用了一种简化的微陀螺传感器仿真模型... 针对音叉式体硅MEMS陀螺仪传感器,提出了一种新颖的电容读出电路结构,该结构对共模电压漂移不敏感,能消除电容不匹配引入的误差。相关双采样(CDS)技术有效降低了电路的低频噪声和电压失调的影响。采用了一种简化的微陀螺传感器仿真模型,用于读出电路与微传感器的联合仿真。读出电路在0.35μm2P4M标准CMOS工艺下设计流片,芯片面积为2.5mm×2.5mm,5V电源电压,电路工作在500kHz的时钟频率下,实现了1.5aF/Hz1/2的电容分辨率和大于100dB的动态范围。 展开更多
关键词 MEMS陀螺仪 电容读出电路 相关双采样
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