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题名一种基于多孔硅微腔光学特性的气体传感器的研究
被引量：4
- 1
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作者
李志全
张冉
张乐欣
杨红艳
朱丹丹
白志华
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机构
燕山大学仪器科学与工程系
燕山大学材料科学与工程学院亚稳材料国家重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期54-57,共4页
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基金
国家自然科学基金资助(60377002)
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文摘
当有机物分子吸附到多孔硅表面时,由于有机物分子在多孔硅的孔内的毛细冷凝作用,将引起多孔硅层有效折射率的变化,从而导致多孔硅微腔反射谱吸收峰峰位的变化.本文主要利用Bruggeman介电常数近似理论与传输矩阵的方法,建立了多孔硅微腔的传感模型.使用多孔硅微腔的反射谱实验装置对多孔硅微腔进行了传感实验,结果证明多孔硅微腔传感元件可以实现对有机物蒸汽的检测,且分辨率较高,响应时间和恢复时间短,可重复性好.
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关键词
多孔硅微腔
种类辨别
传输矩阵
Bruggeman介电常数近似理论
毛细冷凝
反射谱
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Keywords
porous silicon microcavities（psms）
species detecting
transfer matrix
Bruggeman effective medium approximation theory
capillary condensation
reflectivity spectra
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分类号
TN304.52
[电子电信—物理电子学]
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题名一种缺陷态光子晶体的气敏传感理论研究
被引量：3
- 2
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作者
张乐欣
张冉
李志全
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机构
燕山大学材料科学与工程学院亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室
燕山大学仪器科学与工程系
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期1475-1478,共4页
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文摘
利用Bruggeman介电常数近似理论,毛细冷凝作用以及一维光子晶体传输矩阵的理论分析方法,对多孔硅微腔被一定浓度的有机物蒸汽吸附时的传感特性进行了深入地研究,建立了其光学传感模型,并用计算机数值模拟的方法对多孔硅微腔的传感模型进行了理论仿真,得出了饱和情况下有机物蒸汽折射率与峰位漂移量间的线性关系以及乙醇蒸汽浓度与微腔反射谱透射峰峰位漂移量间的函数关系曲线,为多孔硅微腔传感元件的设计和应用提供了理论基础.
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关键词
蒸汽传感
多孔硅微腔
Bruggeman介电常数近似
传输矩阵
数值模拟
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Keywords
vapor sensing
porous silicon microcavities （psms）
Bruggeman effective medium approximation theory
transfer matrix
numerical calculating
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分类号
TN304.52
[电子电信—物理电子学]
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题名基于微腔光学晶体生物传感器的研究进展
被引量：1
- 3
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作者
李莎
时喜喜
蔡林涛
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机构
中国科学院深圳先进技术研究院生物医学与健康工程研究所生物医学信息与健康工程学重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009年第12期1-4,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(20875062)
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文摘
多孔硅(PS)与多孔硅微腔晶体(PSM)作为新型功能材料,其独特的光学特性、微电子相容性、滤过性、纳米微孔生长可控性及大的比表面积为生物信号传感提供了一个较为理想的平台,已制备成多种生物传感器应用于血液,细菌,病毒,DNA等的快速检测中。在分析了PS与PSM的结构和性能的基础上,重点介绍了PS与PSM生物传感器的研究现状,并提出开发微型芯片、集成器件和市场化产品将是PS与PSM生物传感器的发展趋势。
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关键词
生物传感器
多孔硅
多孔硅微腔晶体
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Keywords
biosensor
porous silicon（PS）
porous silicon microcavity（psm）
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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