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Surface Deformation Measurement by Phase-Shift Holographic Interferometry
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作者 Lu Yueguang Jiang Lingzhen Zou Lixun Hono Jing (Department of Physics) 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第3期15-19,共5页
In this paper, the principle of phase-shift interferometry is first briefly introduced. Then it is used as an illustration to measure small surface deformation, and the measurement accuracy of 0.02μis obtained. This ... In this paper, the principle of phase-shift interferometry is first briefly introduced. Then it is used as an illustration to measure small surface deformation, and the measurement accuracy of 0.02μis obtained. This demonstrates that the technology has great significance for strain analysis in experimental mechanics. 展开更多
关键词 相移全息干涉测量法 表面变形 振动分析 无损检验
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用于检测激光棒的变倾角马赫-曾德尔干涉仪 被引量:3
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作者 孔璐 陈磊 +3 位作者 丁煜 吴志飞 郑东晖 朱文华 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期52-59,共8页
为实现激光棒透射波前的测量,改善一般泰曼型或斐索型干涉仪测量小口径激光棒透射波前时的边缘衍射效应,研究了一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪。通过调整移相反射镜的倾斜姿态,改变入射到马赫-曾德尔干涉光路的光束倾角,参考光束与测... 为实现激光棒透射波前的测量,改善一般泰曼型或斐索型干涉仪测量小口径激光棒透射波前时的边缘衍射效应,研究了一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪。通过调整移相反射镜的倾斜姿态,改变入射到马赫-曾德尔干涉光路的光束倾角,参考光束与测试光束的光程差随之变化,从而在相干光之间引入相移,实现了相移干涉测量。利用该干涉仪测量一根口径为Ф6 mm、长度为60 mm激光棒(Nd:YAG)的透射波前,测量结果的峰谷值(PV)为0.391λ,均方根值(RMS)为0.056λ;使用ZYGO激光干涉仪测量同一根激光棒,其透射波前的峰谷值(PV)为0.370λ,均方根值(RMS)为0.064λ。对比结果表明该干涉仪能实现光学元件透射波前的高精度检测,测试结果的一致性验证了该方案的可行性。该变倾角移相方法具有较高的移相精度和较大的移相范围,且该变倾角干涉系统中光束仅一次透过待测激光棒,可有效抑制多光束干涉现象,改善小口径激光棒的边缘衍射效应。 展开更多
关键词 干涉测量 马赫-曾德尔干涉仪 变倾角移相 激光棒
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基于SVMD-HD去噪的白光干涉解调算法 被引量:1
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作者 邢伦 桑梅 +2 位作者 石珍曼 王双 刘铁根 《应用光学》 CAS 北大核心 2023年第4期816-825,共10页
垂直扫描白光干涉法(VSWLI)是一种非接触式三维表面轮廓测量方法。蝙蝠翼作为VSWLI当中一种固有的缺陷,尤其在被测样品的台阶高度小于光源的相干长度时,台阶边缘处的蝙蝠翼尤为显著。相移干涉法不存在这种缺陷,但是存在相位模糊的问题... 垂直扫描白光干涉法(VSWLI)是一种非接触式三维表面轮廓测量方法。蝙蝠翼作为VSWLI当中一种固有的缺陷,尤其在被测样品的台阶高度小于光源的相干长度时,台阶边缘处的蝙蝠翼尤为显著。相移干涉法不存在这种缺陷,但是存在相位模糊的问题。提出一种将Carré等步长相移算法与快速傅里叶变换(FFT)相干峰值检测技术相结合的白光干涉解调算法。该算法基于逐次变分模态分解(SVMD)与Hausdorff距离(HD)联合去噪。分别以高度为500 nm和1200 nm的连续台阶器件和高度为10μm的标准台阶作为测试样品,进行实验测量验证。所提出的算法能够有效地抑制台阶高度跳变处的蝙蝠翼,克服相位模糊问题。 展开更多
关键词 垂直扫描白光干涉法 相移干涉法 逐次变分模态分解 蝙蝠翼 相位模糊
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A-bucket算法应用于表面形状检测的计算机仿真
4
作者 解振东 封君 潘英俊 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1998年第5期25-29,共5页
介绍了一种能直接从干涉图上鉴别出移相的实际大小,而不需先进行校准的新的相位测量方法,并对该算法进行了计算机仿真试验。
关键词 A-bucket算法 表面形状 计算机仿真 相位测量
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基于主成分分析和VU分解法的两步随机相移算法
5
作者 张宇 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期227-237,共11页
为了平衡相位计算的精度和速度,大量的两步随机相移算法发展起来。提出了一种基于主成分分析和VU分解法的快速、高精度两步随机相移算法。首先,采用两步主成分分析法对经过滤波的两幅相移干涉图进行计算求出迭代初始相位;然后,利用没有... 为了平衡相位计算的精度和速度,大量的两步随机相移算法发展起来。提出了一种基于主成分分析和VU分解法的快速、高精度两步随机相移算法。首先,采用两步主成分分析法对经过滤波的两幅相移干涉图进行计算求出迭代初始相位;然后,利用没有滤波的两幅相移干涉图进行VU分解、迭代求出最终相位。通过模拟和实验结果对比表明:与四种性能良好的两步随机相移算法相比,对于不同的条纹类型、噪声、相移值及条纹数量,提出的算法综合性能最好,其精度最高,有效相移范围和有效条纹数量范围最大,当干涉图像素数为401 pixel×401 pixel时,提出的算法仅比格兰-施密特正交化法和两步主成分分析法多花费0.035 s。在理想情况下,提出的算法可以得到完全正确的结果。如果需要得到较高精度,最好能够提前抑制噪声,同时设置相移值远离0和π,条纹数量大于2。主成分分析和VU分解法无需滤波,花费近似非迭代算法的时间获得迭代算法的精度,其打破了迭代算法花费时间较多的限制,适合高精度光学在线检测,有广泛的发展前景。 展开更多
关键词 测量 干涉 相移算法 迭代算法 主成分分析
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同步相移横向剪切干涉中偏振器件的误差建模
6
作者 张郁文 刘丙才 +3 位作者 王红军 田爱玲 任柯鑫 王凯 《中国光学(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期640-647,共8页
为了对同步相移横向剪切干涉系统中偏振器件的选型、装调以及误差补偿提供可靠的理论依据,本文根据琼斯矩阵原理,构建了系统中1/4波片和偏振片阵列误差对测量结果影响程度的误差模型,对四分之一波片的相位延迟误差、快轴方位角误差以及... 为了对同步相移横向剪切干涉系统中偏振器件的选型、装调以及误差补偿提供可靠的理论依据,本文根据琼斯矩阵原理,构建了系统中1/4波片和偏振片阵列误差对测量结果影响程度的误差模型,对四分之一波片的相位延迟误差、快轴方位角误差以及偏振片阵列透光轴方位角误差对测量结果的影响进行了定量分析。仿真结果表明:1/4波片的相位延迟误差在±1°以内时,波面测量误差为0.00002λ(PV)和0.000062λ(RMS);1/4波片的调整精度在±2°以内时,波面测量误差为0.0001λ(PV)和0.00006λ(RMS);偏振片阵列方位角误差在±1°以内时,测量误差为0.003λ(PV)和0.001λ(RMS)。根据仿真结果对测量系统中偏振元器件进行选型,同时选择两种不同精度的偏振元器件进行对比实验。实验结果的残差值与仿真结果的残差值的PV以及RMS值偏差均小于λ/20,可以在一定程度上验证模型的有效性。本文提出的数学模型可以为同步相移横向剪切干涉系统中偏振器件的选型提供可靠的理论依据。 展开更多
关键词 横向剪切干涉 同步相移 偏振器件 误差建模 琼斯矩阵
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移相干涉测量术及其应用 被引量:38
7
作者 朱日宏 陈磊 +2 位作者 王青 高志山 何勇 《应用光学》 CAS CSCD 2006年第2期85-88,共4页
为了对移相式数字干涉仪在光学元件测量中的应用有全面了解,介绍了移相干涉术的基本原理。结合激光数字波面干涉仪,阐述移相干涉术的四步重叠平均算法、压电晶体移相器(PZT)的结构、3 PZT的组合方法、移相器的标定误差和非线性误差的校... 为了对移相式数字干涉仪在光学元件测量中的应用有全面了解,介绍了移相干涉术的基本原理。结合激光数字波面干涉仪,阐述移相干涉术的四步重叠平均算法、压电晶体移相器(PZT)的结构、3 PZT的组合方法、移相器的标定误差和非线性误差的校正方法、波面相位解包的自适应种子算法、波面相位的评价指标等内容。结合移相数字波面干涉仪,叙述了移相干涉测量技术在普通光学元件、红外光学元件、大口径光学元件、非球面光学元件等测量中的应用并指出了应用过程中的注意事项。最后明确指出光干涉技术正沿着高相位分辨率、高空间分辨率、宽波段和瞬态高速测量的方向发展,并将会在瞬态波前测量、微机械的微结构动态分析等方面有着越来越广泛的应用。 展开更多
关键词 移相干涉术 光学测量 干涉仪
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微小球面曲率半径的测量研究 被引量:23
8
作者 徐永祥 陈磊 +1 位作者 朱日宏 李新华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1159-1162,共4页
验证了测量平面面形误差的重叠四步平均算法(OAF)应用于测量微小球面曲率半径的可行性。采用Linnik显微移相干涉装置,测量了光纤连接器端面的曲率半径,给出了测量数据及处理结果;通过对已知曲率半径的标准微小凸球面样板的测量,得到相... 验证了测量平面面形误差的重叠四步平均算法(OAF)应用于测量微小球面曲率半径的可行性。采用Linnik显微移相干涉装置,测量了光纤连接器端面的曲率半径,给出了测量数据及处理结果;通过对已知曲率半径的标准微小凸球面样板的测量,得到相对误差为0.093%。同时,从理论上对OAF和其他算法对PZT位移误差的抑制能力作了分析比较。结果表明,OAF算法可用于微小球面曲率半径的测量,且相对于其他算法而言,其对PZT位移误差具有更强的抑制能力。 展开更多
关键词 显微干涉 移相干涉术 算法 曲率半径 光纤连接器
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相移干涉测量中相移误差的自修正 被引量:14
9
作者 赵智亮 夏伯才 +2 位作者 陈立华 张志华 郑万国 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1116-1121,共6页
分析了相移干涉测量过程中相移误差产生的原因,研究了基于迭代最小二乘算法的相移误差修正法,实现了任意两幅干涉图间相对移相量的计算和自适应校正。基于光、机、电、算四系统,实现任意步长的3幅以上干涉图像的采集,用迭代最小二乘法... 分析了相移干涉测量过程中相移误差产生的原因,研究了基于迭代最小二乘算法的相移误差修正法,实现了任意两幅干涉图间相对移相量的计算和自适应校正。基于光、机、电、算四系统,实现任意步长的3幅以上干涉图像的采集,用迭代最小二乘法计算任意两幅干涉图间的相对移相量,然后将其闭环反馈至硬件相移系统,自动修正相移步长为给定量的特征相移值,从而完成干涉仪相移误差的自修正。构建了相移误差自校正系统,通过实际干涉测量验证了算法的正确性和相移误差自修正系统的可行性。结果表明,自适应修正后相移量相对误差<5%,面形RMS测量重复性<λ/1 000,实现了高精度、高效率的相移误差自适应修正。 展开更多
关键词 相移干涉测量 相移量计算 相移误差 误差自修正
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基于两步正交相移干涉的振幅图像光学加密技术 被引量:15
10
作者 曾大奎 马利红 +1 位作者 刘健 金伟民 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期72-76,共5页
提出一种基于两步正交相移干涉的光学图像加密技术.这种相移干涉数字全息只要记录两幅干涉图,不需要记录物光波和参考光波的强度信息,就可以再现没有零级像和共轭像的再现像.物光波对应的光路经过两次菲涅尔变换,并结合双随机相位编码.... 提出一种基于两步正交相移干涉的光学图像加密技术.这种相移干涉数字全息只要记录两幅干涉图,不需要记录物光波和参考光波的强度信息,就可以再现没有零级像和共轭像的再现像.物光波对应的光路经过两次菲涅尔变换,并结合双随机相位编码.参考光分别引入0和π/2相位,用数字化记录介质记录两幅数字全息图作为加密图像.解密时只要获得正确的密钥,经过简单的计算就可以重建清晰的原始图像.模拟实验验证了它的可行性和有效性,分析了抗裁剪和噪音的鲁棒性. 展开更多
关键词 加密 相移干涉 数字全息 菲涅尔变换 随机相位
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用矩阵条件数求解相移最佳采样方式 被引量:6
11
作者 惠梅 王东生 +2 位作者 邓年茂 李庆祥 徐毓娴 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期477-480,共4页
应用相移干涉术测量物体相位时 ,相移量与相移帧数存在着最佳取值问题 ,即最佳采样方式 ,它决定着系统抗扰动和降低误差的能力 用系数矩阵的条件数衡量相位测量误差矩阵与强度探测误差矩阵方程的性态 ,即光强方程组对扰动的敏感程度 ,... 应用相移干涉术测量物体相位时 ,相移量与相移帧数存在着最佳取值问题 ,即最佳采样方式 ,它决定着系统抗扰动和降低误差的能力 用系数矩阵的条件数衡量相位测量误差矩阵与强度探测误差矩阵方程的性态 ,即光强方程组对扰动的敏感程度 ,经数学推导及论证 ,得出结论 :当系数矩阵为正交矩阵时 ,相位计算的误差最小 ,或者说在等间距满周期采样情况下 ,具有最强的抗噪音能力 在推导出最佳采样方式后 ,对系数矩阵的条件数与采样方式之间的关系进行了计算机模拟 。 展开更多
关键词 矩阵条件数 相移干涉术 最佳采样方式 相位测量 干涉图 误差矩阵
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基于干涉显微原理的表面形貌测量系统 被引量:11
12
作者 王海珊 史铁林 +2 位作者 廖广兰 刘世元 张文栋 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期84-89,共6页
根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂... 根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。 展开更多
关键词 相移干涉法 垂直扫描干涉法 林尼克干涉结构 五步相移算法 SEST算法
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被测件随机移相干涉面形测量方法 被引量:8
13
作者 赵维谦 李文宇 +2 位作者 赵齐 邱丽荣 王允 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期2167-2172,共6页
针对光学元件的面形测量,提出了一种被测件随机移相干涉面形测量法,用于降低移相干涉仪的成本,避免移相器老化产生的移相误差对面形检测精度的影响。该方法利用微位移驱动器驱动被测件在摩擦气浮复合导轨上移动进行随机移相并用相机采... 针对光学元件的面形测量,提出了一种被测件随机移相干涉面形测量法,用于降低移相干涉仪的成本,避免移相器老化产生的移相误差对面形检测精度的影响。该方法利用微位移驱动器驱动被测件在摩擦气浮复合导轨上移动进行随机移相并用相机采集若干幅干涉图;然后利用最小二乘迭代算法处理干涉图数据进而迭代出被测表面相位分布;最后进行一系列数据处理求解出被测件的面形结果。为了验证该方法的可行性,在实验室搭建了改进的斐索移相干涉系统,并选用一个凹面镜和一个平面镜作为被测件在搭建的系统上进行了实验测试,同时与同台仪器上的传统移相方法得到的测量结果进行了比对。结果表明:在激光光源波长λ为632.8nm的情况下,凹球面镜面形PV值和RMS值与传统移相方式测量结果相差0.001λ,和0.002λ;平面镜面形PV值和RMS值与传统移相方式的测量结果相差0.002λ和0.003λ,面形数据基本一致。该方法避免了移相器老化引入移相误差,降低了仪器成本,测量精度高。 展开更多
关键词 干涉测量 面形测量 被测件 移相器 随机移相 最小二乘迭代
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载波相移云纹干涉法研究 被引量:10
14
作者 王冬梅 方如华 张修银 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1376-1380,共5页
通过对载波技术研究 ,提出载波相移云纹干涉法 .采用该方法可以实现云纹干涉条纹信息的自动识别 .给出了灵敏度和载波频率的定量关系式 ;同时 。
关键词 载波相移云纹干涉法 灵敏度 载波技术 载波频率 测试精度
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基于扩展平均的多步相移算法及误差抑制特性比较 被引量:8
15
作者 高芬 蒋庄德 +1 位作者 李兵 田爱玲 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期147-154,共8页
为满足移相干涉测量中纳米甚至亚纳米高准确度检测要求,需采用对误差敏感度更低的相移算法.基于扩展平均技术,在传统4步和3步算法的基础上分别推导了A类和B类5~13步相移算法公式,以5、6、7和13步算法为例,通过仿真及数值计算,比较了两... 为满足移相干涉测量中纳米甚至亚纳米高准确度检测要求,需采用对误差敏感度更低的相移算法.基于扩展平均技术,在传统4步和3步算法的基础上分别推导了A类和B类5~13步相移算法公式,以5、6、7和13步算法为例,通过仿真及数值计算,比较了两类算法对相移器移相误差及CCD非线性误差的抑制特性.结果表明:同类算法下,步数越多的算法,对这两项误差的抑制效果越好,但达到一定步数后对测量的影响可以忽略;B类算法具有增强的移相误差抑制能力,在相移不准情况下可优先选用B类算法;A类算法对CCD非线性误差几乎完全免疫,而B类算法受一定CCD非线性误差影响,但对大多数高准确度CCD来说,其在常规检测中的影响可以忽略;由相移噪音引入的随机性测量误差的极大值要略大于相移噪音本身,且不同算法对相移噪音的抑制效果差别不大,因此相移噪音对测量的影响不可忽略.文中给出了不同误差影响下各算法引入波面检测误差的比较数据,研究结果可为实际干涉测量中最适相移算法的使用和选用提供理论指导及数据参考. 展开更多
关键词 移相干涉测量 扩展平均技术 相移算法 波面检测误差 误差分析
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基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 被引量:15
16
作者 于长淞 齐克奇 +1 位作者 张春雷 向阳 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2013年第11期1099-1104,共6页
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪具有很高的检测精度,为满足相移的需要,光栅移相装置需要拥有较大的行程,是干涉仪的关键器件之一。根据干涉仪需求设计了基于柔性铰链及桥式放大机构并利用压电陶瓷驱动的光栅移相装置,利用有限元分析方法... 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪具有很高的检测精度,为满足相移的需要,光栅移相装置需要拥有较大的行程,是干涉仪的关键器件之一。根据干涉仪需求设计了基于柔性铰链及桥式放大机构并利用压电陶瓷驱动的光栅移相装置,利用有限元分析方法对其受力和形变特性进行了分析。利用PI公司的电容传感器及数字压电控制器搭建了测试平台对其进行了测试,获得了开环条件下迟滞特性曲线,在输出电压为100 V时,光栅移相装置的行程可达225μm。实验结果表明,光栅移相装置的行程与理论设计指标接近,满足设计要求。 展开更多
关键词 剪切干涉 光栅移相 压电陶瓷 有限元
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波长移相干涉仪的算法研究(英文) 被引量:7
17
作者 于瀛洁 张本好 焦云芳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第6期560-566,共7页
叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围。以美国NewFocus公司的可调谐半导体激光器为例,简述了实现波长调谐的硬件。文中将波长移相干涉仪算法分... 叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围。以美国NewFocus公司的可调谐半导体激光器为例,简述了实现波长调谐的硬件。文中将波长移相干涉仪算法分成三类:加权多步波长移相算法、基于傅里叶变换的波长移相算法和多波长算法,对这三类算法进行了较详细的叙述和分析,指出了各自的优缺点和应用范围。基于傅里叶变换的波长移相算法,提出了结合差分运算的适合于台阶测量的新算法,克服了已有算法中需要参考基准和参考面的缺点,提高了算法的实用性。 展开更多
关键词 相移干涉术 波长调谐 移相算法 波长移相干涉仪
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偏转角空间载波相位检测技术 被引量:7
18
作者 刘佩 王永红 +3 位作者 冯家亚 孙建飞 李骏睿 杨连祥 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期39-43,共5页
针对传统数字散斑干涉难以实现简便快速的动态测量的问题,本文提出一种基于偏转角的空间载波相位检测技术。该方法根据散斑干涉测量中反射镜的偏转实现空间载波,物光与偏转参考光干涉形成干涉光场,记录了载波信息。干涉光照射到CCD靶面... 针对传统数字散斑干涉难以实现简便快速的动态测量的问题,本文提出一种基于偏转角的空间载波相位检测技术。该方法根据散斑干涉测量中反射镜的偏转实现空间载波,物光与偏转参考光干涉形成干涉光场,记录了载波信息。干涉光照射到CCD靶面,采用CCD阵列上相邻三个像素计算得到光干涉场的相位信息,从而通过单幅散斑干涉图像解算光干涉场的相位信息。实验结果表明,与传统的相位检测技术相比节省了测量和计算时间,简化了测量系统结构,算法相对简单,达到快速相位检测的目的。 展开更多
关键词 偏转角 空间载波 时间相移 相位测量 数字散斑干涉
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多表面干涉下的光学元件面形检测 被引量:12
19
作者 任寰 马力 +3 位作者 刘旭 何勇 郑万国 朱日宏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1144-1150,共7页
为了消除平行平板类光学元件的多表面干涉效应对元件面形测量的影响,提出了基于波长移相调谐技术与傅里叶变换原理的多表面干涉条纹检测技术。首先,根据波长移相原理和被测元件的厚度,按照推算出的被测腔长与元件厚度间的比例关系正确... 为了消除平行平板类光学元件的多表面干涉效应对元件面形测量的影响,提出了基于波长移相调谐技术与傅里叶变换原理的多表面干涉条纹检测技术。首先,根据波长移相原理和被测元件的厚度,按照推算出的被测腔长与元件厚度间的比例关系正确摆放被测元件的测试位置。然后,通过波长移相技术采集一组干涉图。最后,对这组多表面干涉图进行离散傅里叶变换,提取带有被测元件前后表面面形的频率信息以及厚度变化的频率信息,通过重构算法得到准确的面形信息和厚度信息。实验结果表明:与传统的13步移相算法相比,得到的前表面PV值和RMS值分别相差0.003和0.001,而后表面PV值与RMS值分别相差0和0.001。这些结果基本满足平行平板类光学元件面形的高精度测量与洁净测量的要求。 展开更多
关键词 光学元件 面形检测 多表面干涉检测 波长移相 平行平板 傅里叶变换
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基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量方法 被引量:13
20
作者 石一磊 苏俊宏 +1 位作者 杨利红 徐均琪 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期76-79,83,共5页
为解决薄膜厚度的高精度测量问题,提出一种基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量新方法,利用该方法对一个实际SiO2薄膜样片进行测试,通过对所获取的干涉图进行相位解包及数据分析处理,实现对薄膜样片厚度的精确测试。结果表明:该方法具有... 为解决薄膜厚度的高精度测量问题,提出一种基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量新方法,利用该方法对一个实际SiO2薄膜样片进行测试,通过对所获取的干涉图进行相位解包及数据分析处理,实现对薄膜样片厚度的精确测试。结果表明:该方法具有非接触和测量精度高等优点,所测薄膜厚度的峰谷值为0.162μm,均方根值为0.043μm,为薄膜工艺的进一步研究提供了检测方法上的技术保障。 展开更多
关键词 相位偏移干涉法 干涉图 薄膜 薄膜厚度测量
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