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高成品率DFB激光二极管的设计及制备 被引量:3
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作者 张晓光 赵润 +2 位作者 张坤伟 刘浩 焦梦丽 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第6期448-452,共5页
设计并制作了一种新型分布反馈(DFB)光栅激光二极管结构。采用传输矩阵法模拟得到了不同光栅耦合因子、不同结构下随机相位对归一化阈值增益差和性能参数分布的影响;对高于阈值增益情况下激光二极管的特性进行了分析,结果表明随着激光... 设计并制作了一种新型分布反馈(DFB)光栅激光二极管结构。采用传输矩阵法模拟得到了不同光栅耦合因子、不同结构下随机相位对归一化阈值增益差和性能参数分布的影响;对高于阈值增益情况下激光二极管的特性进行了分析,结果表明随着激光二极管偏置电流的增加,光场平坦因子和归一化阈值增益差几乎保持不变,激光二极管单模稳定性好;模拟得到了光谱随偏置电流的变化,不同偏置电流下光谱的边模抑制比均大于40 dB。采用全息光刻技术结合普通光刻技术制备了新型DFB光栅。相比于均匀光栅激光二极管,新型DFB光栅激光二极管性能参数一致性更好、成品率更高,成品率达到80%以上。 展开更多
关键词 激光二极管 光栅 分布反馈(DFB) 传输矩阵法 归一化阈值增益差
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