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高成品率DFB激光二极管的设计及制备
被引量:
3
1
作者
张晓光
赵润
+2 位作者
张坤伟
刘浩
焦梦丽
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017年第6期448-452,共5页
设计并制作了一种新型分布反馈(DFB)光栅激光二极管结构。采用传输矩阵法模拟得到了不同光栅耦合因子、不同结构下随机相位对归一化阈值增益差和性能参数分布的影响;对高于阈值增益情况下激光二极管的特性进行了分析,结果表明随着激光...
设计并制作了一种新型分布反馈(DFB)光栅激光二极管结构。采用传输矩阵法模拟得到了不同光栅耦合因子、不同结构下随机相位对归一化阈值增益差和性能参数分布的影响;对高于阈值增益情况下激光二极管的特性进行了分析,结果表明随着激光二极管偏置电流的增加,光场平坦因子和归一化阈值增益差几乎保持不变,激光二极管单模稳定性好;模拟得到了光谱随偏置电流的变化,不同偏置电流下光谱的边模抑制比均大于40 dB。采用全息光刻技术结合普通光刻技术制备了新型DFB光栅。相比于均匀光栅激光二极管,新型DFB光栅激光二极管性能参数一致性更好、成品率更高,成品率达到80%以上。
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关键词
激光二极管
光栅
分布反馈(DFB)
传输矩阵法
归一化阈值增益差
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职称材料
题名
高成品率DFB激光二极管的设计及制备
被引量:
3
1
作者
张晓光
赵润
张坤伟
刘浩
焦梦丽
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017年第6期448-452,共5页
文摘
设计并制作了一种新型分布反馈(DFB)光栅激光二极管结构。采用传输矩阵法模拟得到了不同光栅耦合因子、不同结构下随机相位对归一化阈值增益差和性能参数分布的影响;对高于阈值增益情况下激光二极管的特性进行了分析,结果表明随着激光二极管偏置电流的增加,光场平坦因子和归一化阈值增益差几乎保持不变,激光二极管单模稳定性好;模拟得到了光谱随偏置电流的变化,不同偏置电流下光谱的边模抑制比均大于40 dB。采用全息光刻技术结合普通光刻技术制备了新型DFB光栅。相比于均匀光栅激光二极管,新型DFB光栅激光二极管性能参数一致性更好、成品率更高,成品率达到80%以上。
关键词
激光二极管
光栅
分布反馈(DFB)
传输矩阵法
归一化阈值增益差
Keywords
laser diode
grating
distributed feedback (DFB)
transfer matrix method
normal- ized threshold gain margin model
分类号
TN248.4 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高成品率DFB激光二极管的设计及制备
张晓光
赵润
张坤伟
刘浩
焦梦丽
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017
3
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