期刊文献+
共找到16篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
从MEMS到NEMS进程中的技术思考 被引量:2
1
作者 李昕欣 夏晓媛 张志祥 《微纳电子技术》 CAS 2008年第1期1-5,共5页
回顾和概括了MEMS机电器件进入μm/nm尺度后解决的几个关键性问题。结合微机电器件发展的典型事例进行分析,对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定。分析目前机电器件走向nm尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题。对机... 回顾和概括了MEMS机电器件进入μm/nm尺度后解决的几个关键性问题。结合微机电器件发展的典型事例进行分析,对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定。分析目前机电器件走向nm尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题。对机电器件从微到纳的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 微电子机械系统 纳电子机械系统 nm尺度效应
在线阅读 下载PDF
NEMS或将引发半导体组件微型化的下一场革命
2
《中国集成电路》 2010年第1期5-5,共1页
据新兴芯片技术领域的专家表示,纳米机电系统(nanoelectromechanical systems,简称NMES)虽然目前还默默无闻,但在未来可能成为半导体产业界的要角。
关键词 半导体组件 nems 微型化 systems 引发 纳米机电系统 半导体产业 芯片技术
在线阅读 下载PDF
低维纳米材料的力学性能测试技术研究进展 被引量:6
3
作者 张段芹 刘建秀 褚金奎 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第7期451-457,共7页
低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测。首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米压痕法、基于原子力显微镜(AFM)的纳米力学... 低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测。首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米压痕法、基于原子力显微镜(AFM)的纳米力学测试法、基于电子显微镜(EM)的原位纳米力学测试法与基于微机电系统(MEMS)技术的片上纳米力学测试法,并讨论了各种测试方法的优缺点与存在的挑战性。然后,详细介绍了低维纳米材料力学测试,特别是片上纳米力学测试中的关键技术,如低维微纳米试样的拾取、操纵与固定技术、片上微驱动技术、片上微位移与微力检测技术。最后,得出基于MEMS技术的片上力学测试方法有望成为低维纳米材料力学测试的发展方向,并指出此方法中存在的问题。 展开更多
关键词 低维纳米材料 力学性能 测试技术 片上测试 纳机电系统(nems)
在线阅读 下载PDF
基于微纳加工技术的生物传感器研究进展 被引量:8
4
作者 李杜娟 陈慧旖 +2 位作者 刘超然 樊凯 王高峰 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1228-1236,共9页
微/纳电子机械系统MEMS/NEMS(Micro/Nano Electro-Mechanical Systems)技术作为一种成熟的微结构制造技术,可实现硅基纳米级传感器器件的批量化、集成化制造,形成具有体积小、质量轻、性能高的微型传感器及其测试系统.生物传感技术可以... 微/纳电子机械系统MEMS/NEMS(Micro/Nano Electro-Mechanical Systems)技术作为一种成熟的微结构制造技术,可实现硅基纳米级传感器器件的批量化、集成化制造,形成具有体积小、质量轻、性能高的微型传感器及其测试系统.生物传感技术可以将生物敏感反应信号转化为光电等信号而被检测.与其他生物传感器相比,采用MEMS/NEMS技术制备的生物传感器,灵敏度更高、响应时间更短、检测性能更强,更为实现自动化高通量的医学诊断提供了有力的支持.本文着重探讨MEMS/NEMS生物传感器常见的器件类型和对应器件的制备工艺、材料、传感机理、分类及其传感局限,通过综述MEMS/NEMS生物传感器及其国内外研究进展,最后总结MEMS/NEMS生物传感器关键的技术难点与重点,并展望未来MEMS/NEMS生物传感技术的发展前景以及存在的挑战. 展开更多
关键词 MEMS/nems技术 生物传感技术 器件 传感机理 技术难点
在线阅读 下载PDF
石墨烯基电子学研究进展 被引量:7
5
作者 袁明文 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第10期589-594,共6页
综述了石墨烯晶体的能带结构和独特的电子性质,如双极性电场效应、单双层石墨烯效应、衬底效应、石墨烯纳米带(GNR)带隙等特殊效应的研究现状。介绍了石墨剥落技术、外延生长和化学气相淀积(CVD)等石墨烯材料的制备以及表征方法。列举... 综述了石墨烯晶体的能带结构和独特的电子性质,如双极性电场效应、单双层石墨烯效应、衬底效应、石墨烯纳米带(GNR)带隙等特殊效应的研究现状。介绍了石墨剥落技术、外延生长和化学气相淀积(CVD)等石墨烯材料的制备以及表征方法。列举了石墨烯在电子、显示、太阳电池、传感器和氢存储等方面的应用,如在石墨烯场效应管、石墨烯纳米带场效应管(SET)、石墨烯单电子晶体管、石墨烯金属晶体管、石墨烯基纳米电子机械系统(NEMS)、石墨烯分子开关以及石墨烯基高电子迁移率晶体管(HEMT)制备方面的应用。人们已经研究出不同栅长的n/p型顶栅石墨烯场效应管(GFET),并采用标准的S参数直接表征器件的高频性能。理论和实验表明,所有石墨烯纳米带场效应管(GNRFET)在室温下工作的前提是GNR的带宽尺寸小于10nm,并具有半导体场效应管的性能。 展开更多
关键词 石墨烯 石墨烯纳米带(GNR) 场效应管(FET) 单电子晶体管(SET) 纳米电子机械系统(nems)
在线阅读 下载PDF
非局部因子和表面效应对微纳米材料振动特性的影响 被引量:6
6
作者 徐晓建 邓子辰 《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 2013年第1期10-17,共8页
基于非局部理论和表面效应模型,导出表面吸附物对微纳米材料的动力学方程,研究非局部因子和表面能对微纳米传感器振动特性的影响.结果显示,非局部因子、表面能、吸附物种类、附加刚度和基底种类对微纳米结构的振动特性有重要影响.
关键词 微纳米机电系统(MEMS nems)传感器 非局部理论 表面效应 振动特性 原子 分子吸附
在线阅读 下载PDF
MEMS技术发展现状及未来发展趋势 被引量:20
7
作者 秦雷 谢晓瑛 李君龙 《现代防御技术》 北大核心 2017年第4期1-5,23,共6页
MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿学科领域,在近些年来得到迅速发展,在航空、航天、生物技术等领域都有广泛的应用。该技术可实现优质高产低耗,大大提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域活跃的发展方向之一。论述了MEMS... MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿学科领域,在近些年来得到迅速发展,在航空、航天、生物技术等领域都有广泛的应用。该技术可实现优质高产低耗,大大提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域活跃的发展方向之一。论述了MEMS微系统技术的重要性,从微感知与微控制、微流动控制、微惯性测量装置、微型飞行器、可穿戴和可植入式装备、纳机电谐振器、扫描隧道显微镜等七大方面分别论述MEMS微系统技术发展现状,并对该技术进行了展望,以期对未来发展并应用该技术具有借鉴意义。 展开更多
关键词 微机电系统 微感知 微控制 微型飞行器 纳机电系统 惯性测量装置
在线阅读 下载PDF
基于晶格动力学的纳米薄膜热特性研究 被引量:3
8
作者 李圣怡 黄建平 《微纳电子技术》 CAS 2008年第5期249-254,共6页
针对分子动力学模拟存在的缺点,提出了基于晶格动力学模拟纳米薄膜热特性的新方法,并用该方法模拟了各种不同厚度的硅和氩纳米薄膜的比热、熔化温度、热膨胀系数和热传导系数等热特性参数。计算结果表明纳米薄膜具有与宏观晶体不同的热... 针对分子动力学模拟存在的缺点,提出了基于晶格动力学模拟纳米薄膜热特性的新方法,并用该方法模拟了各种不同厚度的硅和氩纳米薄膜的比热、熔化温度、热膨胀系数和热传导系数等热特性参数。计算结果表明纳米薄膜具有与宏观晶体不同的热特性,并且呈现随纳米薄膜厚度变化的尺寸效应:纳米薄膜越薄,则熔化温度越低、比热越大、面向热膨胀系数越大、法向热传导系数越小;当纳米薄膜厚度远小于相应的宏观晶体的声子平均自由程时,法向热传导系数远小于相应的宏观晶体的热传导系数,并与纳米薄膜厚度成正比。 展开更多
关键词 微/纳机电系统 纳米薄膜 晶格动力学 热特性 尺寸效应
在线阅读 下载PDF
纳电子技术 被引量:1
9
作者 徐毓龙 《现代电子技术》 2004年第7期1-6,共6页
纳电子技术涉及许多专门领域 ,是一门高度交叉的学科。本文把注意力集中在硅纳电子技术、 111V族化合物半导体纳电子技术、碳纳管电子技术和分子电子技术上 ,对这些领域的新进展也作简要评论。
关键词 纳电子学 碳纳管 分子电子技术 纳机电系统 分子自组装
在线阅读 下载PDF
移动互联网络时代MEMS技术的创新发展 被引量:7
10
作者 赵正平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第6期337-341,共5页
微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新,利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展,开创了MEMS新的领域。综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(加速度计、陀螺仪、微麦克风、数字微镜器件(DMD)... 微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新,利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展,开创了MEMS新的领域。综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(加速度计、陀螺仪、微麦克风、数字微镜器件(DMD)、喷墨头和RF MEMS)的技术发展现状和趋势,同时预测了MEMS新兴产品(光滤波器、微小电子鼻、微扬声器、微超声器、微能量采集器和纳机电系统(NEMS))的科研现状和面临的技术挑战。从当前世界MEMS技术发展的特点(系统集成、与CMOS工艺结合走向标准加工、纳米制造与微米、纳米融合和多应用领域扩展)出发,结合国内MEMS技术发展的现状,提出我国MEMS技术发展的建议。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 纳机电系统(nems) 加速度计 陀螺仪 微麦克风 数字微镜器件(DMD) 微能量采集器 喷墨头
在线阅读 下载PDF
基于轻敲模式AFM的纳米振动表征方法
11
作者 徐临燕 栗大超 +4 位作者 刘瑞鹏 邱晗 傅星 胡小唐 张文栋 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第4期677-681,共5页
针对纳米振动测量方法中存在的间接性、低分辨率、低带宽等局限性,建立了原子力显微镜(AFM)的轻敲模式下探针与振动样品间相互作用的振动系统模型,采用Runge-Kutta数值积分方法分析了AFM测振技术的可行性和工作带宽。使用静电激励的双... 针对纳米振动测量方法中存在的间接性、低分辨率、低带宽等局限性,建立了原子力显微镜(AFM)的轻敲模式下探针与振动样品间相互作用的振动系统模型,采用Runge-Kutta数值积分方法分析了AFM测振技术的可行性和工作带宽。使用静电激励的双端固支纳米梁作为测试结构,采用AFM轻敲模式测试了样品的幅频响应特性。同时采用显微激光多普勒测振系统进行了比对测试,测量结果与AFM轻敲力曲线模式的测量结果相符,也表现出AFM轻敲模式的测量误差具有与测试样品相关的频率特性。 展开更多
关键词 纳机电系统 纳米梁谐振器 离面振动 原子力显微镜(AFM) 轻敲模式
在线阅读 下载PDF
微机电系统的研究与展望 被引量:14
12
作者 陈勇华 《电子机械工程》 2011年第3期1-7,共7页
微机电系统(MEMS)是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术。文中介绍了MEMS... 微机电系统(MEMS)是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术。文中介绍了MEMS的范畴、分类、特点,综述了MEMS的发展历程和各国MEMS技术研发动态及产业现状,分析了MEMS技术目前存在的主要问题及关键技术瓶颈,探讨了MEMS技术的发展趋势及应用热点,对开展MEMS技术研究提供了有益的启示。 展开更多
关键词 微机电系统 纳电子机械系统 微传感器
在线阅读 下载PDF
纳机电系统阻尼及噪声研究进展 被引量:4
13
作者 王平 黄庆安 于虹 《电子器件》 CAS 2004年第3期527-532,共6页
在微机电系统 ( MEMS)领域 ,自 1 989年 Tang等人首次提出横向多晶硅谐振器结构以来 ,有关谐振器振动过程中阻尼问题的研究一直就是影响和推进谐振器发展的一个主要方面。近几年 ,随着器件尺寸的进一步缩小 ,器件尺寸进入亚微米级甚至... 在微机电系统 ( MEMS)领域 ,自 1 989年 Tang等人首次提出横向多晶硅谐振器结构以来 ,有关谐振器振动过程中阻尼问题的研究一直就是影响和推进谐振器发展的一个主要方面。近几年 ,随着器件尺寸的进一步缩小 ,器件尺寸进入亚微米级甚至是纳米级领域 ,阻尼及噪声问题更是成为影响器件工作特性的一个重要因素。本文就近几年微机电系统和纳机电系统中 ,相关 MEMS谐振器以及微悬臂梁的阻尼和噪声问题的研究 。 展开更多
关键词 微机电系统 纳机电系统 阻尼 噪声 品质因数Q 能量耗散
在线阅读 下载PDF
SiGe纳米环的制备与电磁特性研究进展 被引量:1
14
作者 丁澜 马锡英 黄仕华 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第11期668-673,共6页
SiGe纳米环、纳米螺绕环具有优异的电学、力学等性质,已成为非常重要的三维半导体纳米材料,在传感器、纳米电子学及纳机电系统中具有广阔的应用前景。简单介绍了制备SiGe纳米环、纳米螺绕环的方法,包括化学气相沉积法、分子束外延法和... SiGe纳米环、纳米螺绕环具有优异的电学、力学等性质,已成为非常重要的三维半导体纳米材料,在传感器、纳米电子学及纳机电系统中具有广阔的应用前景。简单介绍了制备SiGe纳米环、纳米螺绕环的方法,包括化学气相沉积法、分子束外延法和脉冲激光法,并介绍了SiGe纳米环形成的主要原因和相关的应用。SiGe纳米环是在Si和Ge间的横向应力作用下形成的,这种纳米环的电导对纳米环的曲率和外加磁场非常敏感。在外加磁场恒定的情况下,电导随曲率的增大而逐渐减小;当达到某一临界点后,又随曲率的增大而逐渐增大。可以应用外加电压控制SiGe纳米环的弯曲程度,成为纳米尖、黏性探头、挂钩和原子力显微镜悬臂梁等应用于纳米传感器、纳米探头及纳米机电系统中。 展开更多
关键词 SiGe纳米环 纳米机电系统 异质薄膜卷膜 纳米螺旋器件 纳米传感器
在线阅读 下载PDF
微/纳米力学中的若干重要问题 被引量:2
15
作者 包广圭 《南京工业职业技术学院学报》 2002年第1期5-9,共5页
本文评述了微/纳米力学中的若干重要问题:1)微/纳米力学中的相似方法与尺度效应;2)微/纳米力学中的表面力;3)微/纳米机电系统的失效分析;4)微/纳米机电系统中的热应力与热疲劳;5)微/纳米机电系统的工艺力学。
关键词 微/纳米力学 微/纳米机电系统 尺度效应 表面力 失效分析 工艺力学
在线阅读 下载PDF
Optically manipulated nanomechanics of semiconductor nanowires
16
作者 Chenzhi Song Shize Yang +6 位作者 Xiaomin Li Xiao Li Ji Feng Anlian Pan Wenlong Wang Zhi Xu Xuedong Bai 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第5期117-121,共5页
Opto–electromechanical coupling at the nanoscale is an important topic in new scientific studies and technical applications. In this work, the optically manipulated electromechanical behaviors of individual cadmium s... Opto–electromechanical coupling at the nanoscale is an important topic in new scientific studies and technical applications. In this work, the optically manipulated electromechanical behaviors of individual cadmium sulfide(CdS) nanowires are investigated by a customer-built optical holder inside transmission electron microscope, wherein in situ electromechanical resonance took place in conjunction with photo excitation. It is found that the natural resonance frequency of the nanowire under illumination becomes considerably lower than that under darkness. This redshift effect is closely related to the wavelength of the applied light and the diameter of the nanowires. Density functional theory(DFT) calculation shows that the photoexcitation leads to the softening of CdS nanowires and thus the redshift of natural frequency, which is in agreement with the experimental results. 展开更多
关键词 opto–electromechanical coupling nano-electromechanical systems (nems) IN-SITU transmission electron MICROSCOPY (TEM) SEMICONDUCTOR NANOWIRES
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部