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Molecular beam epitaxial growth and physical properties of AlN/GaN superlattices with an average 50% Al composition
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作者 Siqi Li Pengfei Shao +12 位作者 Xiao Liang Songlin Chen Zhenhua Li Xujun Su Tao Tao Zili Xie Bin Liu M.Ajmal Khan Li Wang T.T.Lin Hideki Hirayama Rong Zhang Ke Wang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第12期376-381,共6页
We report molecular beam epitaxial growth and electrical and ultraviolet light emitting properties of(AlN)m/(GaN)n superlattices(SLs),where m and n represent the numbers of monolayers.Clear satellite peaks observed in... We report molecular beam epitaxial growth and electrical and ultraviolet light emitting properties of(AlN)m/(GaN)n superlattices(SLs),where m and n represent the numbers of monolayers.Clear satellite peaks observed in XRD 2θ-ωscans and TEM images evidence the formation of clear periodicity and atomically sharp interfaces.For(AlN)m/(GaN)n SLs with an average Al composition of 50%,we have obtained an electron density up to 4.48×10^(19)cm^(-3)and a resistivity of 0.002Ω·cm,and a hole density of 1.83×10^(18)cm^(-3)with a resistivity of 3.722Ω·cm,both at room temperature.Furthermore,the(AlN)m/(GaN)n SLs exhibit a blue shift for their photoluminescence peaks,from 403 nm to 318 nm as GaN is reduced from n=11 to n=4 MLs,reaching the challenging UVB wavelength range.The results demonstrate that the(AlN)m/(GaN)n SLs have the potential to enhance the conductivity and avoid the usual random alloy scattering of the high-Al-composition ternary AlGaN,making them promising functional components in both UVB emitter and AlGaN channel high electron mobility transistor applications. 展开更多
关键词 ALGAN superlattices(SLs) molecular beam epitaxy(mbe)
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Plasma assisted molecular beam epitaxial growth of GaN with low growth rates and their properties 被引量:1
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作者 Zhen-Hua Li Peng-Fei Shao +13 位作者 Gen-Jun Shi Yao-Zheng Wu Zheng-Peng Wang Si-Qi Li Dong-Qi Zhang Tao Tao Qing-Jun Xu Zi-Li Xie Jian-Dong Ye Dun-Jun Chen Bin Liu Ke Wang You-Dou Zheng Rong Zhang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第1期618-625,共8页
A systematic investigation on PA-MBE grown GaN with low growth rates(less than 0.2μm/h)has been conducted in a wide growth temperature range,in order to guide future growth of sophisticated fine structures for quantu... A systematic investigation on PA-MBE grown GaN with low growth rates(less than 0.2μm/h)has been conducted in a wide growth temperature range,in order to guide future growth of sophisticated fine structures for quantum device applications.Similar to usual growths with higher growth rates,three growth regions have been revealed,namely,Ga droplets,slightly Ga-rich and N-rich 3D growth regions.The slightly Ga-rich region is preferred,in which GaN epilayers demonstrate optimal crystalline quality,which has been demonstrated by streaky RHEED patterns,atomic smooth surface morphology,and very low defect related yellow and blue luminescence bands.The growth temperature is a critical parameter to obtain high quality materials and the optimal growth temperature window(~700-760℃)has been identified.The growth rate shows a strong dependence on growth temperatures in the optimal temperature window,and attention must be paid when growing fine structures at a low growth rate.Mg and Si doped GaN were also studied,and both p-and n-type materials were obtained. 展开更多
关键词 GAN molecular beam epitaxy(mbe) low growth rate growth diagram
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Growth of high quality InSb thin films on GaAs substrates by molecular beam epitaxy method with AlInSb/GaSb as compound buffer layers 被引量:1
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作者 Yong Li Xiao-Ming Li +9 位作者 Rui-Ting Hao Jie Guo Yu Zhuang Su-Ning Cui Guo-Shuai Wei Xiao-Le Ma Guo-Wei Wang Ying-Qiang Xu Zhi-Chuan Niu Yao Wang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第2期573-577,共5页
A series of In Sb thin films were grown on Ga As substrates by molecular beam epitaxy(MBE).Ga Sb/Al In Sb is used as a compound buffer layer to release the strain caused by the lattice mismatch between the substrate a... A series of In Sb thin films were grown on Ga As substrates by molecular beam epitaxy(MBE).Ga Sb/Al In Sb is used as a compound buffer layer to release the strain caused by the lattice mismatch between the substrate and the epitaxial layer,so as to reduce the system defects.At the same time,the influence of different interface structures of Al In Sb on the surface morphology of buffer layer is explored.The propagation mechanism of defects with the growth of buffer layer is compared and analyzed.The relationship between the quality of In Sb thin films and the structure of buffer layer is summarized.Finally,the growth of high quality In Sb thin films is realized. 展开更多
关键词 compound buffers AlInSb/GaSb defect inhibition INSB molecular beam epitaxy(mbe)
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Electronic structure of molecular beam epitaxy grown 1T’-MoTe2 film and strain effect
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作者 Xue Zhou Zeyu Jiang +5 位作者 Kenan Zhang Wei Yao Mingzhe Yan Hongyun Zhang Wenhui Duan Shuyun Zhou 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第10期210-214,共5页
Atomically thin transition metal dichalcogenide films with distorted trigonal(1T') phase have been predicted to be candidates for realizing quantum spin Hall effect. Growth of 1T' film and experimental investi... Atomically thin transition metal dichalcogenide films with distorted trigonal(1T') phase have been predicted to be candidates for realizing quantum spin Hall effect. Growth of 1T' film and experimental investigation of its electronic structure are critical. Here we report the electronic structure of 1T'-MoTe2 films grown by molecular beam epitaxy(MBE).Growth of the 1T'-MoTe2 film depends critically on the substrate temperature, and successful growth of the film is indicated by streaky stripes in the reflection high energy electron diffraction(RHEED) and sharp diffraction spots in the low energy electron diffraction(LEED). Angle-resolved photoemission spectroscopy(ARPES) measurements reveal a metallic behavior in the as-grown film with an overlap between the conduction and valence bands. First principles calculation suggests that a suitable tensile strain along the a-axis direction is needed to induce a gap to make it an insulator. Our work not only reports the electronic structure of MBE grown 1T'-MoTe2 films, but also provides insights for strain engineering to make it possible for quantum spin Hall effect. 展开更多
关键词 quantum spin HALL effect 1T'-MoTe2 molecular beam epitaxy(mbe) transition metal dichalcogenides(TMDCs)
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Molecular Beam Epitaxy Growth and Scanning Tunneling Microscopy Study of Pyrite CuSe2 Films on SrTiO3
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作者 彭俊平 张慧敏 +5 位作者 宋灿立 蒋烨平 王立莉 何珂 薛其坤 马旭村 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第6期180-183,共4页
We perform molecular beam epitaxy growth and scanning tunneling microscopy study of copper diselenide (CuSe2 ) films on SrTiO3 (001). Using a Se-rich condition, the single-phase pyrite CuSe2 grows in the Stranski-... We perform molecular beam epitaxy growth and scanning tunneling microscopy study of copper diselenide (CuSe2 ) films on SrTiO3 (001). Using a Se-rich condition, the single-phase pyrite CuSe2 grows in the Stranski-Krastanov (layer-plus-island) mode with a preferential orientation of (111). Our careful inspection of both the as-grown and post-annealed CuSe2 films at various temperatures invariably shows a Cu-terminated surface, which, depending on the annealing temperature, reconstructs into two distinct structures 2 ×√3 and √x ×√3-R30°. The Cu termi- nation is supported by the depressed density of states near the Fermi level, measured by in-situ low temperature scanning tunneling spectroscopy. Our study helps understand the preparation and surface chemistry of transition metal pyrite dichalcogenides thin films. 展开更多
关键词 molecular beam Epitaxy Growth and Scanning Tunneling Microscopy Study of Pyrite CuSe2 Films on SrTiO3 mbe Cu
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利用P-MBE方法在(400)Si衬底上生长ZnO薄膜 被引量:12
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作者 梁红伟 吕有明 +4 位作者 申德振 刘益春 李炳辉 张吉英 范希武 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期275-278,共4页
利用等离子体辅助分子束外延(P MBE)方法在(400)Si衬底上生长ZnO薄膜。为改善生长后样品的质量,把样品解理成三块后,在不同温度下氧气气氛中退火。通过X射线衍射(XRD)谱和光致发光(PL)谱进行表征,讨论了用P MBE方法在Si基上生长的ZnO的... 利用等离子体辅助分子束外延(P MBE)方法在(400)Si衬底上生长ZnO薄膜。为改善生长后样品的质量,把样品解理成三块后,在不同温度下氧气气氛中退火。通过X射线衍射(XRD)谱和光致发光(PL)谱进行表征,讨论了用P MBE方法在Si基上生长的ZnO的室温光致发光发光峰的可能原因。 展开更多
关键词 P-mbe ZNO薄膜 氧化锌薄膜 等离子体辅助分子束外延 X射线衍射 光致发光 薄膜生长 硅衬底
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MBE生长的垂直堆垛InAs量子点及HFET存储器件的应用 被引量:1
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作者 李树玮 缪国庆 +5 位作者 蒋红 元光 宋航 金亿鑫 小池一步 矢野满明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期554-558,共5页
用MBE设备以Stranski Krastanov生长方式外延生长了5个周期垂直堆垛的InAs量子点,在生长过程中通过对量子点形状、尺寸的控制来提高垂直堆垛InAs量子点质量和均匀性。用原子力显微镜(AFM)进行表面形貌的表征,并利用光致发光(PL)和深能... 用MBE设备以Stranski Krastanov生长方式外延生长了5个周期垂直堆垛的InAs量子点,在生长过程中通过对量子点形状、尺寸的控制来提高垂直堆垛InAs量子点质量和均匀性。用原子力显微镜(AFM)进行表面形貌的表征,并利用光致发光(PL)和深能级瞬态谱(DLTS)对InAs量子点进行观测。所用Al0 5Ga0 5As势垒外延层,对镶嵌在其中的InAs量子点有很强的量子限制作用,并产生强量子限制效应,可以把InAs量子点的电子和空穴能级的热激发当作"深能级"的热激发来研究,这样可用DLTS方法进行测量。在垂直堆垛的InAs量子点的HFET器件中,由充电和放电过程的IDS VGS曲线可以看到阈值电压有非常大的移动,这样便产生存储效应。 展开更多
关键词 mbe 垂直堆垛 INAS量子点 HFET存储器件 分子束外延 深能级瞬态谱 场效应管 FET 非挥发存储器 半导体材料 外延生长 砷化铟
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MBE自组装量子点生长和结构形态研究 被引量:1
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作者 吴巨 金鹏 +4 位作者 吕小晶 王占国 曾一平 王宝强 姚然 《微纳电子技术》 CAS 2008年第8期435-439,457,共6页
综述了对自组装量子点形态和生长过程所做的探讨和研究。介绍了关于量子点成核和形态的热力学理论、量子点生长过程的计算机模拟及Ge/Si(001)和InAs/GaAs(001)量子点生长和形态的实验观察。鉴于InAs/GaAs(001)体系的复杂性,把对InAs量... 综述了对自组装量子点形态和生长过程所做的探讨和研究。介绍了关于量子点成核和形态的热力学理论、量子点生长过程的计算机模拟及Ge/Si(001)和InAs/GaAs(001)量子点生长和形态的实验观察。鉴于InAs/GaAs(001)体系的复杂性,把对InAs量子点的观察和研究分为"微观"和"宏观"两种。微观研究对象包括量子点原子尺度上的结构、量子点表面小晶面的晶体学的精确取向等,这些性质可能受热运动的影响比较大,在一定程度上是随机的,它们代表了量子点生长行为的复杂性;宏观研究的对象是指量子点密度、纳米尺度形态等大量粒子统计意义上的集体行为,这些性质和行为可能更具有实际意义。因此作者认为,目前研究量子点生长和形态更为有效的方法应该是探寻以量子点宏观行为所表征的简单性。重点介绍中科院半导体所半导体材料重点实验室最近所做的对InAs/GaAs(001)量子点生长过程的实验观察。结果表明,在一般生长条件下(富As,500℃,0.1ML/s),InAs量子点成核和生长应该都是连续的,没有经历被普遍认为的不连续(一级)相变。按照作者的观察,把InAs量子点成核看作是连续(二级)相变更为贴切。 展开更多
关键词 分子束外延 SK生长模式 量子点 形态和生长 Ge/Si(001) InAs/GaAs(001)
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GS-MBE生长的GaP/Si的XPS研究
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作者 吴正龙 余金中 +3 位作者 成步文 于卓 李晓文 王启明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期109-116,共8页
利用X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对气体源分子束外延(GS-MBE)生长的GaP/Si异质结构进行了详细的分析.其结果表明:(1)外延层内Ga、P光电子峰与GaP相相符,且组份分布均匀,为正化学比GaP.(2... 利用X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对气体源分子束外延(GS-MBE)生长的GaP/Si异质结构进行了详细的分析.其结果表明:(1)外延层内Ga、P光电子峰与GaP相相符,且组份分布均匀,为正化学比GaP.(2)在不同富PH3流量条件下生长的样品,其表面富P量稍有不同,而GaP外延层内的测试结果相同.界面也未见有P的富集.(3)XPS剖析至GaP/Si界面附近,随外延层界面向衬底过渡,Si2p光电子峰向高结合能方向移动,且其结合能高于原衬底p型Si,接近于n型Si.但Ga、P光电子峰未发现有明显能移.(4)在XPS检测限内,外延层内和界面都未见有C、O等沾污.这一研究表明:无污染的本底超高真空、相对过剩的富PH3生长环境、成功的Si衬底清洗方法等措施保证了GS-MBE生长出正化学比GaP/Si外延异质结构. 展开更多
关键词 异质结 XPS 气体源 分子束外延 磷化镓
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锑化物半导体材料及其分子束外延生长研究进展
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作者 胡德鹏 王红真 +1 位作者 路云峰 贺训军 《半导体技术》 北大核心 2025年第3期229-240,共12页
锑化物半导体的带隙能量覆盖了整个红外区域,为开展材料的能带工程提供了很大的自由度和灵活性。分子束外延(MBE)是一种在超高真空环境下能够高度可控地生长高纯化合物薄膜材料的技术,在III-V族化合物半导体尤其是锑化物半导体材料生长... 锑化物半导体的带隙能量覆盖了整个红外区域,为开展材料的能带工程提供了很大的自由度和灵活性。分子束外延(MBE)是一种在超高真空环境下能够高度可控地生长高纯化合物薄膜材料的技术,在III-V族化合物半导体尤其是锑化物半导体材料生长中得到了广泛应用。通过对锑化物半导体材料的特性、实际应用的探讨,着重介绍了分子束外延技术在锑化物生长领域的最新研究进展。首先,阐述了二元、三元和四元锑化物半导体材料的物理特性;其次,总结了相关的红外探测器、激光器和热光伏电池等器件在低暗电流和高工作温度等研究方向的进展;最后,针对锑化物半导体的MBE生长工艺和过程中存在的问题,总结了一些切实可行的解决方案,并且展望了未来锑化物半导体材料分子束外延的发展趋势。 展开更多
关键词 锑化物 半导体 分子束外延(mbe) 能带结构 生长工艺
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低温缓冲层对MBE生长ZnTe材料性能的改善 被引量:1
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作者 张家奇 赵杰 +2 位作者 刘超 崔利杰 曾一平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期37-41,共5页
研究了低温缓冲层对在GaAs(001)衬底上用分子束外延(MBE)生长ZnTe薄膜晶体质量的影响。发现插入低温缓冲层后ZnTe的结晶质量、表面形貌和发光质量都得到了显著的提高,双晶X射线摇摆曲线(DCXRC)的ZnTe(004)衍射峰半峰宽(FWHM)从529 arcse... 研究了低温缓冲层对在GaAs(001)衬底上用分子束外延(MBE)生长ZnTe薄膜晶体质量的影响。发现插入低温缓冲层后ZnTe的结晶质量、表面形貌和发光质量都得到了显著的提高,双晶X射线摇摆曲线(DCXRC)的ZnTe(004)衍射峰半峰宽(FWHM)从529 arcsec减小到421 arcsec,表面均方根(RMS)粗糙度从6.05 nm下降到3.93 nm。而作为对比,插入高温缓冲层并不能对ZnTe薄膜的质量起到改善作用。基本上实现了优化工艺的目标并为研制ZnTe基光电器件微结构材料奠定了很好的实验基础。 展开更多
关键词 碲化锌 异质外延 低温缓冲层 高温缓冲层 分子束外延
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MBE制备GaN纳米柱阵列的光学特性 被引量:1
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作者 冉宏霞 王硕 +3 位作者 范滔 刘瑞峰 张雨阳 高向明 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第1期21-25,共5页
使用U-4100紫外可见光光度计和QM40稳态/瞬态荧光光谱仪分别对不同V/Ⅲ比分子束外延(MBE)制备的GaN纳米柱阵列进行了测试,分析了V/Ⅲ比对GaN纳米柱表面形貌及发光特性的影响。反射光谱、透射光谱和室温稳态光致发光光谱结果表明:MBE制备... 使用U-4100紫外可见光光度计和QM40稳态/瞬态荧光光谱仪分别对不同V/Ⅲ比分子束外延(MBE)制备的GaN纳米柱阵列进行了测试,分析了V/Ⅲ比对GaN纳米柱表面形貌及发光特性的影响。反射光谱、透射光谱和室温稳态光致发光光谱结果表明:MBE制备的GaN纳米柱阵列其V/Ⅲ比直接影响纳米柱的带边发光、黄带发光、蓝带发光和光吸收等光学特性。当波长为480 nm蓝光段时,纳米柱有最强的反射能力。纳米柱V/Ⅲ比为6∶1时反射率峰值最大,约为55%,且峰值随V/Ⅲ比的变化交替变化。纳米柱V/Ⅲ比为8∶1时透射率最大。纳米柱V/Ⅲ比为10∶1时黄带发光几乎消失,且365 nm附近的带边发光和440 nm附近的蓝带发光增强。拟合结果中370 nm为主要的带边发光峰。 展开更多
关键词 分子束外延(mbe) GaN纳米柱阵列 反射光谱 光致发光光谱 V/Ⅲ比
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MBE法制备VO_2薄膜及其中红外调制深度测量 被引量:1
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作者 刘志伟 路远 +1 位作者 侯典心 邹崇文 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期942-947,共6页
为了给VO_2薄膜在定向红外对抗系统防护方面的应用提供理论依据,我们用透过率调制深度表征VO_2薄膜在中红外波段的相变特性。本实验利用分子束外延法(MBE)制备VO_2外延单晶薄膜,经XRD、AFM表征,发现其具有(020)择优取向、纯度较高,薄膜... 为了给VO_2薄膜在定向红外对抗系统防护方面的应用提供理论依据,我们用透过率调制深度表征VO_2薄膜在中红外波段的相变特性。本实验利用分子束外延法(MBE)制备VO_2外延单晶薄膜,经XRD、AFM表征,发现其具有(020)择优取向、纯度较高,薄膜表面平整、均匀且致密。经VU-Vis-IR测量发现其近红外透过率相变特性显著,但在紫外和可见光范围内透过率相变特性较不明显。然后我们对制备时间为30 min、40min的两组薄膜分别进行25~70℃的升温和降温实验,观察其对波长为3 459 nm、脉宽50 ns、重频50 k Hz、功率密度0.14 W/cm2的中红外激光的透过率变化,并比较两组薄膜的温滞曲线特性。实验发现它们对中红外透过率的调制深度均可达60%以上,前者比后者对中红外的调制深度高出约4%。这说明利用分子束外延法制备的VO_2单晶薄膜具有良好的中红外调制特性,且调制深度和膜厚有关。进一步表明了利用VO_2薄膜实现中红外激光防护具有一定的可行性。 展开更多
关键词 分子束外延 VO2薄膜 透过率调制深度 中红外激光防护
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MBE生长高功率列阵激光器的研究
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作者 李忠辉 王玲 +2 位作者 王玉霞 杨进华 张兴德 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期430-432,共3页
利用V8 0型MBE生长GaAlAs/GaAs梯度折射率分别限制单量子阱 (GRIN SCH SQW )结构。测试结果表明 ,该结构晶格和光学质量符合设计要求。制成激光器列阵 ,室温连续输出功率达7 2W ,峰值波长为 80 7~ 80 9nm ,经柱透镜光纤耦合后的光强远... 利用V8 0型MBE生长GaAlAs/GaAs梯度折射率分别限制单量子阱 (GRIN SCH SQW )结构。测试结果表明 ,该结构晶格和光学质量符合设计要求。制成激光器列阵 ,室温连续输出功率达7 2W ,峰值波长为 80 7~ 80 9nm ,经柱透镜光纤耦合后的光强远场分布为θ∥ =8° ,θ⊥ =3.5° . 展开更多
关键词 mbe 生长 分子束外延 列阵激光器 分别限制 量子阱
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图形化衬底对高In组分InGaN材料分子束外延(MBE)生长的影响
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作者 李宝吉 吴渊渊 +1 位作者 陆书龙 张继军 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第16期31-34,54,共5页
研究了不同衬底上MBE技术生长的InGaN的光学和结构特征。结果表明,在相同生长条件下,用图形化衬底生长的InGaN材料比用普通衬底生长的材料有较低的表面粗糙度和背景载流子浓度及较强的发光强度。通过透射电子显微镜(TEM)观察,发现普通... 研究了不同衬底上MBE技术生长的InGaN的光学和结构特征。结果表明,在相同生长条件下,用图形化衬底生长的InGaN材料比用普通衬底生长的材料有较低的表面粗糙度和背景载流子浓度及较强的发光强度。通过透射电子显微镜(TEM)观察,发现普通衬底生长的InGaN内部原子错排现象严重,而采用图形化衬底生长的InGaN原子排列清晰规则。这主要是因为图形化衬底材料外延初期为横向生长模式,这种生长模式可有效地抑制穿透位错在GaN材料体系中的纵向延伸,降低GaN缓冲层中的位错密度,进而抑制外延InGaN材料中穿透位错和V型缺陷的产生。 展开更多
关键词 INGAN 图形化衬底 分子束外延 晶体质量
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高Al组分AlGaN的MBE生长及表面活性机理
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作者 贾浩林 杨文献 +1 位作者 陆书龙 丁孙安 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第9期701-706,736,共7页
采用分子束外延(MBE)方法制备了高质量的高Al组分AlGaN薄膜,在室温下获得了266 nm波长的深紫外发光。利用原位监控系统,结合原子力显微镜(AFM)和变温光致发光(PL)谱研究了生长前端的Ga原子的表面活性作用对AlGaN薄膜的生长模式、表面形... 采用分子束外延(MBE)方法制备了高质量的高Al组分AlGaN薄膜,在室温下获得了266 nm波长的深紫外发光。利用原位监控系统,结合原子力显微镜(AFM)和变温光致发光(PL)谱研究了生长前端的Ga原子的表面活性作用对AlGaN薄膜的生长模式、表面形貌和光学性质的影响,并通过二次离子质谱仪(SIMS)探究了生长温度与p型AlGaN Mg掺杂浓度的变化关系及内在机理。结果显示,Ga原子不仅参与AlGaN的结晶,而且在薄膜生长和Mg掺杂中发挥着表面活性剂的作用,能够促进Al原子的迁移与并入。Ga原子作为表面活性剂有利于AlGaN薄膜进行二维层状生长,改善AlGaN薄膜的表面形貌和光学特性;它还能够提高Al原子的并入效率,使AlGaN薄膜具有更短的发光波长。此外,适当降低p型AlGaN薄膜的生长温度,能减少Mg原子脱吸附并增强Ga原子的表面活性剂作用,从而提高Mg的掺杂浓度。 展开更多
关键词 AlGaN薄膜 光致发光(PL) Ga表面活性剂 分子束外延(mbe) 深紫外 光学特性
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量子阱半导体激光器材料的MBE生长研究
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作者 刘国军 张千勇 +8 位作者 杨晗 曲轶 夏伟 张兴德 李梅 王晓华 李学谦 薄报学 张宝顺 《长春光学精密机械学院学报》 1998年第3期15-17,22,共4页
本文阐述了分子束外延( MBE) 技术的特点以及在实现大面积均匀的超薄外延层生长中的应用。利用进口MBE 设备, 实现了单量子阱(SQW) 和多量子阱( MQW) 半导体激光器外延片的生长, 并对外延片的电学和光学特性进行了... 本文阐述了分子束外延( MBE) 技术的特点以及在实现大面积均匀的超薄外延层生长中的应用。利用进口MBE 设备, 实现了单量子阱(SQW) 和多量子阱( MQW) 半导体激光器外延片的生长, 并对外延片的电学和光学特性进行了测试和分析。 展开更多
关键词 分子束外延 量子阱激光器 半导体 激光器材料
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光调制反射谱作为MBE生长中原位检测手段的应用
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作者 刘兴权 陆卫 +5 位作者 万明芳 陈效双 查访星 严立平 史国良 沈学础 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第11期67-68,74,共3页
本文介绍了光调制光谱(PR)在MBE生长中原位光谱检测中的应用.利用了光调制光谱(PR)本身特有的在室温下有很高的灵敏度,并进一步与MBE系统有效结合,为MBE生长原位光谱检测增添了一种可行的手段.
关键词 光调制反射射谱 mbe 原位检测 半导体材料
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InAs/GaSb超晶格中波焦平面材料的分子束外延技术 被引量:7
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作者 徐庆庆 陈建新 +3 位作者 周易 李天兴 吕翔 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期406-408,438,共4页
报道了InAs/GaSb超晶格中波材料的分子束外延生长技术研究.通过改变GaSb衬底上分子束外延InAs/GaSb超晶格材料的衬底温度,以及界面的优化等,改善超晶格材料的表面形貌和晶格失配,获得了晶格失配Δa/a=1.5×10-4,原子级平整表面的InA... 报道了InAs/GaSb超晶格中波材料的分子束外延生长技术研究.通过改变GaSb衬底上分子束外延InAs/GaSb超晶格材料的衬底温度,以及界面的优化等,改善超晶格材料的表面形貌和晶格失配,获得了晶格失配Δa/a=1.5×10-4,原子级平整表面的InAs/GaSb超晶格材料,材料77 K截止波长为4.87μm. 展开更多
关键词 INAS/GASB 超晶格 分子束外延
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InAs/GaSbⅡ类超晶格中波红外探测器 被引量:5
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作者 徐庆庆 陈建新 +4 位作者 周易 李天兴 金巨鹏 林春 何力 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第1期7-9,42,共4页
InAs/GaSb II类超晶格探测器是近年来国际上发展迅速的红外探测器,其优越性表现在高量子效率和高工作温度,以及良好的均匀性和较低的暗电流密度,因而受到广泛关注。报道了InAs/GaSb超晶格中波材料的分子束外延生长和器件性能。通过优化... InAs/GaSb II类超晶格探测器是近年来国际上发展迅速的红外探测器,其优越性表现在高量子效率和高工作温度,以及良好的均匀性和较低的暗电流密度,因而受到广泛关注。报道了InAs/GaSb超晶格中波材料的分子束外延生长和器件性能。通过优化分子束外延生长工艺,包括生长温度和快门顺序等,获得了具原子级表面平整的中波InAs/GaSb超晶格材料,X射线衍射零级峰的双晶半峰宽为28.8″,晶格失配Δa/a=1.5×10-4。研制的p-i-n单元探测器在77 K温度下电流响应率达到0.48 A/W,黑体探测率为4.54×1010cmHz1/2W,峰值探测率达到1.75×1011cmHz1/2W。 展开更多
关键词 INAS/GASB 超晶格 红外探测器 分子束外延
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