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The influence ofⅤ/Ⅲratio on electron mobility of the InAs_(x)Sb_(1-x)layers grown on GaAs substrate by molecular beam epitaxy
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作者 ZHANG Jing YANG Zhi +3 位作者 ZHENG Li-Ming ZHU Xiao-Juan WANG Ping YANG Lin 《红外与毫米波学报》 北大核心 2025年第1期25-32,共8页
This paper discusses the influence of Sb/In ratio on the transport properties and crystal quality of the 200 nm InAs_(x)Sb_(1-x)thin film.The Sb content of InAs_(x)Sb_(1-x)thin film in all samples was verified by HRXR... This paper discusses the influence of Sb/In ratio on the transport properties and crystal quality of the 200 nm InAs_(x)Sb_(1-x)thin film.The Sb content of InAs_(x)Sb_(1-x)thin film in all samples was verified by HRXRD of the symmetrical 004 reflections and asymmetrical 115 reflections.The calculation results show that the Sb component was 0.6 in the InAs_(x)Sb_(1-x)thin film grown under the conditions of Sb/In ratio of 6 and As/In ratio of 3,which has the highest electron mobility(28560 cm^(2)/V·s)at 300 K.At the same time,the influence ofⅤ/Ⅲratio on the transport properties and crystal quality of Al_(0.2)In_(0.8)Sb/InAs_(x)Sb_(1-x)quantum well heterostructures also has been investigated.As a result,the Al_(0.2)In_(0.8)Sb/InAs_(0.4)Sb_(0.6)quantum well heterostructure with a channel thickness of 30 nm grown under the conditions of Sb/In ratio of 6 and As/In ratio of 3 has a maximum electron mobility of 28300 cm^(2)/V·s and a minimum RMS roughness of 0.68 nm.Through optimizing the growth conditions,our samples have higher electron mobility and smoother surface morphology. 展开更多
关键词 molecular beam epitaxy InAs_(x)Sb_(1-x) Ⅴ/Ⅲratio high electron mobility
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MBE脱氧条件与InGaAs/InP APD性能的相关性 被引量:1
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作者 郭子路 王文娟 +7 位作者 曲会丹 范柳燕 诸毅诚 王亚杰 郑长林 王兴军 陈平平 陆卫 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期63-69,共7页
InP基InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)对近红外光具有高敏感度,使其成为微弱信号和单光子探测的理想光电器件。然而随着先进器件结构越来越复杂,厚度尺寸从量子点到几微米不等,性能越来越受材料中晶格缺陷的影响和工艺条件的制约。采用... InP基InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)对近红外光具有高敏感度,使其成为微弱信号和单光子探测的理想光电器件。然而随着先进器件结构越来越复杂,厚度尺寸从量子点到几微米不等,性能越来越受材料中晶格缺陷的影响和工艺条件的制约。采用固态源分子束外延(MBE)技术分别在As和P气氛保护下对InP衬底进行脱氧处理并外延生长晶格匹配的In_(0.53)Ga_(0.47)As薄膜和APD结构材料。实验结果表明,As脱氧在MBE材料质量方面比P脱氧具有明显的优势,可获得陡直明锐的异质结界面,降低载流子浓度,提高霍尔迁移率,延长少子寿命,并抑制器件中点缺陷或杂质缺陷引起的暗电流。因此,As脱氧可以有效提高MBE材料的质量,这项工作优化了InP衬底InGaAs/InP外延生长参数和器件制造条件。 展开更多
关键词 分子束外延 P/As切换 异质界面扩散 InGaAs/InP雪崩光电二极管
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Highly Stable,Antiferromagnetic MnN Films Grown by Molecular Beam Epitaxy
3
作者 JI Zhuang XIAO Dongdong +2 位作者 GU Minghui MENG Meng GUO Jiandong 《真空科学与技术学报》 2025年第8期664-672,共9页
High-quality antiferromagnetic(AFM)θ-phase manganese nitride(MnN)films were successfully grown on MgO(001)substrates by plasma-assisted molecular beam epitaxy.Structural analysis confirms the high-quality MnN film ha... High-quality antiferromagnetic(AFM)θ-phase manganese nitride(MnN)films were successfully grown on MgO(001)substrates by plasma-assisted molecular beam epitaxy.Structural analysis confirms the high-quality MnN film has a tetragonal distortion with a c/a ratio of~0.98.The film exhibits exceptional stability in both aqueous and ambient conditions,which is a crucial factor for practical applications.Electrical transport reveals its metallic behavior with an upturn at low temperatures,which could be attributed to the Kondo effect originated from nitrogen vacancy-induced magnetic impurities.Room temperature exchange bias has been demonstrated in a MnN/CoFeB heterostructure,verifying the AFM ordering of MnN.Considering its high Néel temperature~650 K,superior stability,and low-cost,this work highlights the epitaxial MnN films as a promising candidate for AFM spintronic applications. 展开更多
关键词 molecular beam epitaxy Antiferromagnetic MnN thin film Stability Kondo effect Exchange bias
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利用P-MBE方法在(400)Si衬底上生长ZnO薄膜 被引量:12
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作者 梁红伟 吕有明 +4 位作者 申德振 刘益春 李炳辉 张吉英 范希武 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期275-278,共4页
利用等离子体辅助分子束外延(P MBE)方法在(400)Si衬底上生长ZnO薄膜。为改善生长后样品的质量,把样品解理成三块后,在不同温度下氧气气氛中退火。通过X射线衍射(XRD)谱和光致发光(PL)谱进行表征,讨论了用P MBE方法在Si基上生长的ZnO的... 利用等离子体辅助分子束外延(P MBE)方法在(400)Si衬底上生长ZnO薄膜。为改善生长后样品的质量,把样品解理成三块后,在不同温度下氧气气氛中退火。通过X射线衍射(XRD)谱和光致发光(PL)谱进行表征,讨论了用P MBE方法在Si基上生长的ZnO的室温光致发光发光峰的可能原因。 展开更多
关键词 P-mbe ZNO薄膜 氧化锌薄膜 等离子体辅助分子束外延 X射线衍射 光致发光 薄膜生长 硅衬底
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束源炉结构及布局对分子束外延薄膜材料均匀性影响的仿真
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作者 陶先童 段莹瑞 +8 位作者 李壮壮 宋立媛 杨春章 杨晋 李艳辉 孔金丞 赵俊 姬荣斌 王善力 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第6期461-468,共8页
亿像素红外探测器是下一代红外探测器发展的重要方向,8英寸高均匀碲镉汞薄膜成为实现该技术的最重要一环。分子束外延系统中束源炉结构及布局是影响分子束外延碲镉汞薄膜材料组分及厚度均匀性的关键因素之一。文章从满足大尺寸高均匀碲... 亿像素红外探测器是下一代红外探测器发展的重要方向,8英寸高均匀碲镉汞薄膜成为实现该技术的最重要一环。分子束外延系统中束源炉结构及布局是影响分子束外延碲镉汞薄膜材料组分及厚度均匀性的关键因素之一。文章从满足大尺寸高均匀碲镉汞外延薄膜材料的要求出发,对束源炉的束流产生和出射分布做了理论分析,模拟计算了束源炉布局和坩埚内源材料状态对衬底上外延薄膜材料膜厚均匀性的影响。使用多物理场仿真软件COMSOL,以圆柱形坩埚的束源炉为模型,模拟了束源炉装料量对到达衬底表面束流的影响,以束源炉到衬底平面的间距和束源炉与衬底平面的夹角两个维度的变化进行了仿真,计算了到达衬底表面的束流均匀性。结果显示,随着源材料的使用,到达衬底表面的束流接近线性下降;在束源炉与衬底平面角度为46°时,衬底平面的束流均匀性最好;随束源炉到衬底平面中心间距的增加衬底平面的束流均匀性逐渐变好,当距离大于300 mm时,束流均匀性在±1.5%以内,保障了8英寸高均匀碲镉汞薄膜材料的制备。 展开更多
关键词 束源炉 均匀性 分子束外延 束流变化
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高质量InSb薄膜的MBE同质和异质外延生长 被引量:3
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作者 尚林涛 周翠 +4 位作者 沈宝玉 周朋 刘铭 强宇 王彬 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期352-357,共6页
InSb是3~5μm中波红外波段具有重要研究意义的材料。本文以单位内部生产的InSb(100)衬底为基础,通过摸索InSb(100)衬底的脱氧、生长温度和Ⅴ/Ⅲ束流比,获得了高质量的InSb同质外延样品,1.5μm样品的表面粗糙度RMS≈0.3 nm(10μm×10... InSb是3~5μm中波红外波段具有重要研究意义的材料。本文以单位内部生产的InSb(100)衬底为基础,通过摸索InSb(100)衬底的脱氧、生长温度和Ⅴ/Ⅲ束流比,获得了高质量的InSb同质外延样品,1.5μm样品的表面粗糙度RMS≈0.3 nm(10μm×10μm),FWHM≈7 arcsec;采用相同的生长温度和Ⅴ/Ⅲ束流比并采用原子层外延缓冲层的方法在GaAs(100)衬底上异质外延生长本征InSb层,获得了较高质量的异质外延InSb样品,1.5μm样品的室温电子迁移率高达6.06×10~4cm^2V^(-1)s^(-1),3μm的样品最好的FWHM低至126 arcsec。InSb材料的同质和异质外延优化生长可为高温工作掺Al的InSb器件结构的优化生长提供重要参考依据。 展开更多
关键词 INSB InSb/GaAS 分子束外延 同质外延 异质外延
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L-MBE法生长ZnO薄膜的退火研究 被引量:9
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作者 杨晓东 张景文 +2 位作者 王东 毕臻 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期996-1000,共5页
研究了空气退火对于激光分子束外延(L-MBE)法制备的ZnO薄膜光学及结构特性的影响,报道了采用小角度X射线分析(GIXA)技术对于ZnO薄膜退火前后的表面及界面状况的定量分析结果.RHEED衍射图样表明,薄膜经过380℃及600℃原位退火后,其表面... 研究了空气退火对于激光分子束外延(L-MBE)法制备的ZnO薄膜光学及结构特性的影响,报道了采用小角度X射线分析(GIXA)技术对于ZnO薄膜退火前后的表面及界面状况的定量分析结果.RHEED衍射图样表明,薄膜经过380℃及600℃原位退火后,其表面仍然较为粗糙.而XRD在面(in-plane)Φ扫描结果显示出经过800℃空气退火之后,薄膜具有更好的外延取向性.GIXA分析结果表明,800℃退火后ZnO薄膜的表面方均根粗糙度从退火前的1.13nm下降为0.37nm;同时ZnO/Al2O3界面粗糙度从2.10nm上升为2.59nm.ZnO室温PL结果显示,退火后薄膜紫外近带边发光强度比退火前增大了40倍,并出现了源于电子-空穴等离子体(EHP)复合的N带受激发射峰,激发阈值约为200kW/cm2. 展开更多
关键词 氧化锌 激光分子束外延 退火 光致发光 在面Φ扫描 小角度X射线分析
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衬底温度对Si(111)衬底上MBE异质外延3C-SiC薄膜的影响 被引量:6
8
作者 刘金锋 刘忠良 +2 位作者 武煜宇 徐彭寿 汤洪高 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期720-724,共5页
利用固源分子束外延(SSMBE)技术,在Si(111)衬底上异质外延生长3C-SiC单晶薄膜,通过RHEED、XRD、AFM、XPS等实验方法研究了衬底温度对薄膜结构、形貌和化学组分的影响.研究结果表明,1000℃生长的样品具有好的结晶质量和单晶性.在更高的... 利用固源分子束外延(SSMBE)技术,在Si(111)衬底上异质外延生长3C-SiC单晶薄膜,通过RHEED、XRD、AFM、XPS等实验方法研究了衬底温度对薄膜结构、形貌和化学组分的影响.研究结果表明,1000℃生长的样品具有好的结晶质量和单晶性.在更高的衬底温度下生长,会导致大的孔洞形成,衬底和薄膜间大的热失配使降温过程中薄膜内形成更多位错,从而使晶体质量变差.在低衬底温度下生长,由于偏离理想的化学配比也会导致薄膜的晶体质量降低. 展开更多
关键词 碳化硅薄膜 硅衬底 固源分子束外延 衬底温度
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晶圆键合GaAs/InGaAs双结太阳电池
9
作者 蒋卓宇 李娟 +2 位作者 孔祥力 代盼 孙强健 《半导体技术》 北大核心 2025年第4期365-371,共7页
为了避免直接外延生长引起晶格失配问题,利用晶圆键合技术开发了GaAs/InGaAs双结太阳电池。采用金属固态源分子束外延(MBE)生长方法,在GaAs衬底上生长GaAs顶电池,在InP衬底上生长InGaAs底电池。通过晶圆键合技术将这些子电池键合在一起... 为了避免直接外延生长引起晶格失配问题,利用晶圆键合技术开发了GaAs/InGaAs双结太阳电池。采用金属固态源分子束外延(MBE)生长方法,在GaAs衬底上生长GaAs顶电池,在InP衬底上生长InGaAs底电池。通过晶圆键合技术将这些子电池键合在一起,制备了晶圆键合GaAs/InGaAs双结太阳电池。测试结果显示,通过晶圆键合技术制备的双结太阳电池具有较低的电损耗,在聚光下获得了超过31.7%的光电转换效率。双结太阳电池的晶圆键合技术改善了常规直接材料生长方法因晶格失配造成的位错问题,可以更灵活地实现双结太阳电池的优化设计。 展开更多
关键词 分子束外延(mbe) INGAAS GAAS 晶圆键合 双结太阳电池
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MBE方法在GaAs(001)衬底上外延生长GaSb膜 被引量:3
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作者 郝瑞亭 申兰先 +5 位作者 邓书康 杨培志 涂洁磊 廖华 徐应强 牛智川 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期734-736,共3页
利用分子束外延方法(MBE)在GaAs(001)衬底上外延生长了GaSb薄膜,利用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、原子力显微镜(AFM)、Hall效应(HallEffect)和低温光荧光谱(LTPL)等手段对薄膜的晶体质量、电学性能和光学质量进行了研究。发现直接生长... 利用分子束外延方法(MBE)在GaAs(001)衬底上外延生长了GaSb薄膜,利用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、原子力显微镜(AFM)、Hall效应(HallEffect)和低温光荧光谱(LTPL)等手段对薄膜的晶体质量、电学性能和光学质量进行了研究。发现直接生长的GaSb膜表面平整,空穴迁移率较高。引入GaSb/AlSb超晶格可有效阻断进入GaSb外延层的穿通位错,对应的PL谱强度增强,材料的光学质量变好。 展开更多
关键词 GASB GAAS 分子束外延(mbe)
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MBE梯度掺杂GaAs光电阴极激活实验研究 被引量:8
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作者 邹继军 常本康 杜晓晴 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期401-404,共4页
本文首次利用分子束外延(MBE)生长了多种由体内到表面掺杂浓度由高到低的梯度掺杂反射式GaAs光电阴极材料,并进行了激活实验,结果表明,表面低掺杂浓度适中,外延层厚度2μm^3μm以及衬底为重掺杂p型GaAs的梯度掺杂GaAs光电阴极能够获得... 本文首次利用分子束外延(MBE)生长了多种由体内到表面掺杂浓度由高到低的梯度掺杂反射式GaAs光电阴极材料,并进行了激活实验,结果表明,表面低掺杂浓度适中,外延层厚度2μm^3μm以及衬底为重掺杂p型GaAs的梯度掺杂GaAs光电阴极能够获得较高灵敏度。在优化激活工艺的条件下,梯度掺杂GaAs光电阴极获得了1798μA/lm的最高积分灵敏度,比采用同样方法制备的均匀掺杂GaAs光电阴极高30%以上。梯度掺杂GaAs光电阴极表面掺杂浓度较均匀掺杂的低,第一次给Cs时间较长,第一次Cs、O交替时要调整好Cs/O比,并在整个激活过程中保持不变。一个高量子效率梯度掺杂GaAs光电阴极的获得依赖于梯度掺杂结构和激活工艺两个方面的优化。 展开更多
关键词 分子束外延 梯度掺杂 GAAS光电阴极 量子效率 激活
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CdZnTe(211)B衬底对MBE外延碲镉汞材料的影响分析 被引量:3
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作者 吴亮亮 侯晓敏 +3 位作者 王丛 王经纬 刘铭 周立庆 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期650-655,共6页
碲锌镉CdZnTe(211)B衬底广泛应用于碲镉汞(HgCdTe)分子束外延生长,其性能参数在很大程度上决定了碲镉汞分子束外延材料的质量。主要讨论了CdZnTe(211)B衬底几个关键性能参数对碲镉汞外延材料的影响,包括Zn组分及均匀性、缺陷(位错、孪... 碲锌镉CdZnTe(211)B衬底广泛应用于碲镉汞(HgCdTe)分子束外延生长,其性能参数在很大程度上决定了碲镉汞分子束外延材料的质量。主要讨论了CdZnTe(211)B衬底几个关键性能参数对碲镉汞外延材料的影响,包括Zn组分及均匀性、缺陷(位错、孪晶及晶界和碲沉淀)以及表面状态(粗糙度和化学组成),并且分析了对CdZnTe(211)B衬底进行筛分时各性能参数的评价方法和指标。 展开更多
关键词 碲锌镉 碲镉汞 分子束外延 表面状态 筛分
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束源杂质引发的MBE HgCdTe表面缺陷 被引量:3
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作者 傅祥良 王伟强 +6 位作者 于梅芳 乔怡敏 魏青竹 吴俊 陈路 巫艳 何力 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第B09期915-918,共4页
研究了利用GaAs作为衬底的HgCdTe MBE薄膜的表面缺陷,发现其中一类缺陷与Hg源中杂质有关。采用SEM对这类缺陷进行正面和横截面的观察,并采用EDX对其正面和横截面进行成分分析。并设计了两个实验:其一,在CdTe/GaAs衬底上,低温下用Hg源照... 研究了利用GaAs作为衬底的HgCdTe MBE薄膜的表面缺陷,发现其中一类缺陷与Hg源中杂质有关。采用SEM对这类缺陷进行正面和横截面的观察,并采用EDX对其正面和横截面进行成分分析。并设计了两个实验:其一,在CdTe/GaAs衬底上,低温下用Hg源照射20min,再在其上继续高温生长CdTe;其二,在CdTe/GaAs衬底上,一直用Hg源照射下高温生长CdTe。两个实验后CdTe表面都出现与HgCdTe表面相比在形状和分布上类似的表面缺陷,采用光学显微镜和SEM对CdTe表面缺陷进行了观察,通过CdTe表面缺陷和HgCdTe表面缺陷的比较,我们证实了这类表面缺陷的成核起源于Hg源中杂质。 展开更多
关键词 HGCDTE 表面缺陷 分子束外延
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Si(111)衬底上3C-SiC的固源MBE异质外延生长 被引量:9
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作者 刘金锋 刘忠良 +2 位作者 王科范 徐彭寿 汤洪高 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期5-9,共5页
国内首次利用固源分子束外延(MBE)技术,在衬底温度为1100℃时,以Si(111)为衬底成功地外延生长出了3C-SiC单晶薄膜。通过X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)以及原位反射高能电子衍射(RHEED)等手段研究了外延薄膜的晶型、结晶质量、外延膜... 国内首次利用固源分子束外延(MBE)技术,在衬底温度为1100℃时,以Si(111)为衬底成功地外延生长出了3C-SiC单晶薄膜。通过X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)以及原位反射高能电子衍射(RHEED)等手段研究了外延薄膜的晶型、结晶质量、外延膜与衬底的外延取向关系,并考察了薄膜制备过程中衬底的碳化对薄膜质量的影响。结果表明,外延膜与衬底晶格取向完全一致;碳化可以减小SiC和衬底Si之间的晶格失配、释放应力、引入成核中心,有利于薄膜单晶质量的提高;碳化温度存在最佳值,这一现象与成核过程有关。 展开更多
关键词 碳化硅 碳化 固源分子束外延 反射高能电子衍射
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MBE生长的垂直堆垛InAs量子点及HFET存储器件的应用 被引量:1
15
作者 李树玮 缪国庆 +5 位作者 蒋红 元光 宋航 金亿鑫 小池一步 矢野满明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期554-558,共5页
用MBE设备以Stranski Krastanov生长方式外延生长了5个周期垂直堆垛的InAs量子点,在生长过程中通过对量子点形状、尺寸的控制来提高垂直堆垛InAs量子点质量和均匀性。用原子力显微镜(AFM)进行表面形貌的表征,并利用光致发光(PL)和深能... 用MBE设备以Stranski Krastanov生长方式外延生长了5个周期垂直堆垛的InAs量子点,在生长过程中通过对量子点形状、尺寸的控制来提高垂直堆垛InAs量子点质量和均匀性。用原子力显微镜(AFM)进行表面形貌的表征,并利用光致发光(PL)和深能级瞬态谱(DLTS)对InAs量子点进行观测。所用Al0 5Ga0 5As势垒外延层,对镶嵌在其中的InAs量子点有很强的量子限制作用,并产生强量子限制效应,可以把InAs量子点的电子和空穴能级的热激发当作"深能级"的热激发来研究,这样可用DLTS方法进行测量。在垂直堆垛的InAs量子点的HFET器件中,由充电和放电过程的IDS VGS曲线可以看到阈值电压有非常大的移动,这样便产生存储效应。 展开更多
关键词 mbe 垂直堆垛 INAS量子点 HFET存储器件 分子束外延 深能级瞬态谱 场效应管 FET 非挥发存储器 半导体材料 外延生长 砷化铟
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蒸发速率对Si衬底上SSMBE外延SiC薄膜的影响 被引量:2
16
作者 刘忠良 刘金锋 +1 位作者 任鹏 徐彭寿 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期299-302,共4页
采用固源分子束外延(SSMBE)生长技术,用不同的蒸发速率,在Si(111)衬底上生长SiC薄膜。利用反射式高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等实验技术,对生长的样品的形貌和结构进行研究。结果表明,在优化的蒸发速率(1.0... 采用固源分子束外延(SSMBE)生长技术,用不同的蒸发速率,在Si(111)衬底上生长SiC薄膜。利用反射式高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等实验技术,对生长的样品的形貌和结构进行研究。结果表明,在优化的蒸发速率(1.0 nm.min-1)下,所生长的薄膜质量最好。低的蒸发速率(0.25 nm.min-1)难以抑制孔洞的形成,衬底的Si原子可通过这些孔洞扩散到样品表面,导致结晶质量变差。在高的蒸发速率(1.8 nm.min-1)下,以岛状方式生长甚至以团簇聚集,表面的原子难以迁移到最佳取向的平衡位置,导致样品表面粗糙度变大,薄膜的结晶质量变差,甚至出现多晶。 展开更多
关键词 蒸发速率 碳化硅 硅衬底 固源分子束外延
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热裂解源应用及模拟的研究进展
17
作者 于广琛 王俊莉 王晓冬 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第5期349-358,共10页
裂解源是分子束外延设备(MBE)及表面处理设备中的关键及核心,目前其以广泛应用于化合物半导体芯片制造行业。随着对半导体性能的要求逐步提高,半导体制造设备也需要不断发展。对于具有催化作用的热裂解源,由于其内部复杂流态的分布以及... 裂解源是分子束外延设备(MBE)及表面处理设备中的关键及核心,目前其以广泛应用于化合物半导体芯片制造行业。随着对半导体性能的要求逐步提高,半导体制造设备也需要不断发展。对于具有催化作用的热裂解源,由于其内部复杂流态的分布以及存在壁面催化化学反应,应用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC)进行模拟及结构优化。文章以砷/磷(固体),氢(气体)热裂解源为例,介绍了裂解源的基本构造和原理,以及其模拟方法。 展开更多
关键词 裂解源 分子束外延 应用及模拟 直接模拟蒙特卡洛法
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硅碳比对Si(111)表面SSMBE异质外延SiC薄膜的影响 被引量:2
18
作者 刘忠良 任鹏 +1 位作者 刘金锋 徐彭寿 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期549-552,共4页
利用固源分子柬外延(SSMBE)生长技术,在不同的硅碳蒸发速率比(Si/C)条件下,在Si(111)衬底上生长SiC单晶薄膜.利用反射式高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)等实验技术,对生长的样品形... 利用固源分子柬外延(SSMBE)生长技术,在不同的硅碳蒸发速率比(Si/C)条件下,在Si(111)衬底上生长SiC单晶薄膜.利用反射式高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)等实验技术,对生长的样品形貌和结构进行了研究.结果表明,在Si/C比(1.1:1.0)下生长的薄膜样品,XRDω扫描得到半高宽为2.1°;RHEED结果表明薄膜具有微弱的衍射环,有孪晶斑点.在Si/C比(2.3:1.0)下生长的薄膜,XRDω扫描得到的半高宽为1.5°,RHEED显示具有Si的斑点和SiC的孪晶斑点.AFM显示在这两个Si/C比下生长的样品表面都有孔洞或者凹坑,表面比较粗糙.从红外光谱得出薄膜存在着比较大的应力.但在Si/C比(1.5:1.0)下生长的薄膜样品,XRDω扫描得到的半高宽仅为1.1°;RHEED显示出清晰的SiC的衍射条纹,并可看到SiC的3×3表面重构,无孪晶斑点;AFM图像表明,没有明显的空洞,表面比较平整.FTIR谱的位置显示,在此Si/C比下生长的薄膜内应力比较小.因此可以认为,存在着一个优化的Si/C比(1.5:1.0),在这个Si/C比下,生长的薄膜质量较好. 展开更多
关键词 硅碳比 碳化硅 硅衬底 固源分子束外延
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预沉积Ge对Si(111)衬底上SSMBE外延生长SiC薄膜的影响 被引量:1
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作者 刘忠良 任鹏 +2 位作者 刘金锋 唐军 徐彭寿 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1160-1164,共5页
利用固源分子束外延(SSMBE)生长技术,在Si(111)衬底上预沉积不同厚度(0、0.2、1nm)Ge,在衬底温度900℃,生长SiC单晶薄膜.利用反射式高能电子衍射仪(RHEED)、原子力显微镜(AFM)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)等实验技术,对生长的样品进行了... 利用固源分子束外延(SSMBE)生长技术,在Si(111)衬底上预沉积不同厚度(0、0.2、1nm)Ge,在衬底温度900℃,生长SiC单晶薄膜.利用反射式高能电子衍射仪(RHEED)、原子力显微镜(AFM)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)等实验技术,对生长的样品进行了研究.结果表明,预沉积少量Ge(0.2nm)的样品,SiC薄膜表面没有孔洞存在,AFM显示表面比较平整,粗糙度比较小,FTIR结果表明薄膜内应力比较小.这说明少量Ge的预沉积抑制了孔洞的形成,避免衬底Si扩散,因而SiC薄膜的质量比较好.没有预沉积Ge的薄膜,结晶质量比较差,SiC薄膜表面有孔洞且有Si存在.然而预沉积过量Ge(1nm)的样品,由于Ge的岛状生长,导致生长的SiC表面粗糙度变大,结晶质量变差,甚至导致多晶产生. 展开更多
关键词 预沉积 碳化硅 硅衬底 固源分子束外延
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利用P-MBE在Si(111)衬底上生长氧化锌薄膜及其光学性质的研究 被引量:1
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作者 颜建锋 梁红伟 +5 位作者 吕有明 刘益春 李炳辉 申德振 张吉英 范希武 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期103-106,共4页
在Si( 111)衬底上利用等离子体辅助分子束外延 (P MBE)生长氧化锌 (ZnO)薄膜 ,研究了在不同衬底生长温度下 ( 35 0~ 75 0℃ )制备的ZnO薄膜的结构和光学性质 .随着衬底温度的升高 ,样品的X射线及光致发光的半高宽度都是先变小后变大 ,... 在Si( 111)衬底上利用等离子体辅助分子束外延 (P MBE)生长氧化锌 (ZnO)薄膜 ,研究了在不同衬底生长温度下 ( 35 0~ 75 0℃ )制备的ZnO薄膜的结构和光学性质 .随着衬底温度的升高 ,样品的X射线及光致发光的半高宽度都是先变小后变大 ,衬底温度为 5 5 0℃样品的结构及光学性质都比较好 ,这表明 5 5 0℃为在Si( 111)衬底上生长ZnO薄膜的最佳衬底温度 ;同时 ,我们还通过 5 5 0℃样品的变温光致发光谱 ( 81~ 30 0K)研究了ZnO薄膜室温紫外发光峰的来源 。 展开更多
关键词 氧化锌薄膜 等离子体辅助分子束外延法 光致发光 半导体材料 X射线衍射分析
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